GB/T 33555-2025 洁净室及相关受控环境 静电控制技术要求.pdf

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中华人民共和国国家标准

GB/T 33555-2025代替GB/T33555-2017

洁净室及相关受控环境 静电控制技术要求

Cleanrooms and associated controlled environmentsTechnicalrequirements ofelectrostatic control

国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布

目次

前言引言1范围2规范性引用文件3术语和定义4静电来源和危害5技术要求附录A(资料性)静电来源与控制要素 附录B(资料性)技术措施附录C(资料性)防静电地面类型 13附录D(资料性)EPA分级或分类附录E(资料性)防静电设备和工具性能 15参考文献 16

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.

2017相比,除结构性调整和编辑性改动外,主要技术内容变化如下: 本文件代替GB/T33555-2017《洁净室及相关受控环境静电控制技术指南》,与GB/T33555一

a)更改了适用范围(见第1章,2017年版的第1章):3.4、3.5 和 3.1) ;c)删除了静电场等术语(见2017年版的3.2、3.3、3.6和3.7);3.3 、3.5 、3.6、3.7 、3.8 、3.9 、3.10 、3.11 、3.12、3.14) ;e)更改“静电控制”为“静电来源和危害"(见第4章,2017年版的第4章);g)删除了“控制”(见2017年版的4.2);i)更改“培训与规范"为"技术要求"(见第5章,2017年版的第5章);

b)更改了术语“静电控制”静电放电”"静电耗散材料”的定义(见3.1、3.4和3.13,2017年版的2)f)更改了“静电来源、危害及监测"中有关内容(见4.1、4.2.2017年版的4.1);h)删除了“控制措施”(见2017年版的4.3):)Y 2017年版的5.1、5.2、5.3、5.4):

k)增加了“设备及工具”ESDS产品包装、转运和储存监测和检测"(见5.5、5.6、5.7).

请注意本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别专利的责任.

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口.

测技术有限公司、深圳市中明科技股份有限公司、中国标准化协会、中电投工程研究检测评定中心有限 本文件起草单位:中国电子工程设计院股份有限公司、中冶天工集团有限公司、深圳市中测计量检公司、中国电子技术标准化研究院、深圳凯仕德科技有限公司、北京东方计量测试研究所、中国电子系统工程第二建设有限公司、中国电子系统工程第四建设有限公司、北京戴纳实验科技股份有限公司、中国电子系统工程第三建设有限公司、亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司、厦门永平堂建筑材料有限公司、北京中邦兴业科技有限公司、河北科华防静电地板制造有限公司、惠瑞净化科技(江苏)有限公司、 柏诚系统科技股份有限公司、仲恺农业工程学院、TCL华星光电技术有限公司、合肥晶合集成电路股份有限公司、长鑫集电(北京)存储技术有限公司.

本文件主要起草人:谭军、王天羿、杨光明、孙思字、高志良、郝版博、马全丽、郭凯、徐巍巍、张志坚、丁力行、奚晓鹏、青曙萍、许京哲、霍金鹏、韩辉、修东升、孙硕、韩金贵、韩玲玲、向炜、吕光帅、杨楚鹏、叶为、张志麒、黄家洋.

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:

2017年首次发布为GB/T33555-2017;

一本次为第一次修订.

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