中华人民共和国国家标准
GB/T 18867-2025代替GB/T 18867-2014
电子气体 六氟化硫
Electronic gas-Sulphur hexaflouride
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
更改了范围（见第1章，2014年版的第1章）；更改了六氟化硫应符合的技术要求（见第4章，2014年版的第3章）；更改了采样的要求（见第5章，2014年版的4.1.3、4.1.5）；更改了纯度计算方法（见6.1，2014年版的4.2）： 更改了氧氯、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定方法（见6.2，2014年版的4.3) ;增加了氢、六氟乙烷和八氟丙烷含量的测定方法（见6.2）：一增加了尾气处理的要求（见6.6）：更改了检验规则（见第7章，2014年版的4.1）； 一更改了标志、包装、运输及贮存的要求（见8.1、8.2，2014年版的5.1）；更改了安全信息的内容（见8.3，2014年版的5.2）.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
福建永晶科技股份有限公司、上海上芃电气有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、南大光电（淄博）有 本文件起草单位：吴华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、浙江省化工研究院有限公司、限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建恒申电子材料科技有限公司、吴华气体有限公司西南分公司、中吴光明化工研究设计院有限公司、大连大特气体有限公司、科金压力容器有限公司、宿州伊维特新材料有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、广东电网有限责 上海华爱色谱分析技术有限公司联肆投资（上海）有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳中复任公司电力科学研究院、国网山东省电力公司电力科学研究院、深圳供电局有限公司、国网湖南省电力有限公司电力科学研究院、上海凡伟仪器设备有限公司、西南化工研究设计院有限公司.
本文件主要起草人：陈兴龙、汤月贞、陈施华、林德荣、史婉君、钟卉菲、刘春花、李文、陈凯、史兰、黄秀荣、张艳志、张露露、陈艳珊、吕磊、谢世鹏、郭琼、孙福楠、依俊廷、杜雨桐、方华、黄解、杨金山、 鲍光强、王大为、李明、谈益强、尹乐乐、赵洁、唐念、李丽、齐国栋、唐峰、吴俊杰、何波、唐中伟、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅.
本文件于2002年首次发布，2014年第一次修订，本次为第二次修订.
电子气体六氟化硫
1范围
本文件规定了电子用六氟化硫的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存，描述了相应的试验方法，提供了六氟化硫的安全信息.
本文件适用于以工业六氟化硫为原料提纯制得的电子用六氟化硫.
2规范性引用文件
件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文本文件.
GB190危险货物包装标志GB/T4844纯氮、高纯氮和超纯氮GB/T5099（部分）钢质无缝气瓶 GB/T5832.3气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T7144气瓶颜色标志GB/T11640铝合金无缝气瓶GB/T12022工业六氟化硫GB/T14193液化气体气瓶充装规定GB/T16804气瓶警示标签 GB15258化学品安全标签编写规定GB/T28726气体分析氮离子化气相色谱法GB/T33145大容积钢质无缝气瓶GB/T34528气瓶集束装置充装规定GB/T43306气体分析采样导则 TSG07特种设备生产和充装单位许可规则TSG23气瓶安全技术规程TSGR0005移动式压力容器安全技术监察规程
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4技术要求
六氟化硫的技术要求应符合表1的规定.
