半导体厂房洁净空调系统要点分析
发表时间：2018-06-22T09:18:47.043Z来源：《防护工程》2018年第4期作者：冯晓娜[导读]当前洁净室为高科研、高技术等产业的发展提供了物质基础，为这些行业生产和加工提供了必要的压力
冯晓娜
中国电子系统工程第二建设有限公司江苏无锡214028
摘要：：当前洁净室为高科研、高技术等产业的发展提供了物质基础，为这些行业生产和加工提供了必要的压力、温度、湿度、洁净度等.文章以半导体厂房为例，首先分析了半导体厂房的自动控制系统及空调、净化系统的相关设计方案，且结合笔者自身多年从事厂关键词：半导体厂房；空调系统：洁净空调
一、引言
生产与加工的过程中，非常强调可靠性、高质量、高纯化、精密化，所以对洁净室的要求越来越高.通过对半导体厂房的空调、净化系统 随着我国科学技术的不断进入，我国在半导体产业等相关的高科技产业取得了长足发展，微电子技术日新月异，但是半导体产品在设计进行分析，找寻出一条更为系统化、合理有效的设计方案.
二、半导体厂房空调、净化系统分析
空调、净化空调系统的设计工作，乃与生产的流程及工艺布局之间存在紧密关联.对于用途不同及类型不同的厂房空调及净化系统而言，其自身特点也存有差异性.现对某半导体工厂处于生产工序的净化及空调系统方案作以分析.
1、前工序空调净化系统分析
对于前工序而言，其对于室内空气的品质，具有较高的要求，不仅对房间的湿、温度具有较高要求，而且对于整个方面的洁净度更高的要求.针对此种要求的房间，可将其要求划分为两种，分别为对房间洁净度等级的要求及对空调送风品质的要求.
用方式的相应选用方面，可选择新风集中处理并与循环空调机组相结合的使用方式.对于新风机组功能段.其流程为：新风入口、中效过 （1）针对后段工艺、生产区及无尘区而言，在工艺上，要求空调送风达到一定品质，即为iSO7级，粒径需大于0.5um，在空调应等.其中，对于存在有加热管的空调机组而言，其被用在与外围护结构相近且具有不大设备发热量房间.对于此厂房相关生产区域而言，引起在吊顶高度方面比较高，为了在气流组织能够比较合理，并为此给予保障，需要对工艺流程相配合，在可行性区域内，完成回风夹道的相应设置工作，另外，在下部位置处，需设置回风固定百叶风口，对于另外一些区域而言，则可依据实际需要，选择顶部单层百叶风口 回风，另外，在具体的吊顶高度方面，针对高度小于5m区域，在选择送风形式方面，可采用顶部直片散流器风口，以此进行送风操作，对于小于8.5m的，在气流形式上，可依据实际情况及技术相关要求，设置成顶部旋流风口送风，此外，针对百叶风口下侧部，需固定其回风.
（2）对于生产前区及无尘区而言，空气品质的要求为ISO7级，从工艺要求层级来分析，此种类型的房间，需采取ISO7级的标准，设置成净化洁净室.在净化空调系统的选用方面，需为末端高效过滤器风口、循环空调机组及新风集中处理相结合的空调方式.新风合、送风管、风机、洁净区、房间侧下百叶同风口、回风管及新回风混合.因在工艺设备的维护及安装等方面的要求，其中的生产前区及 机组功能段：新风入口、中效过滤器、一级、二级表冷盘管及新风出口等.而循环机组的气流形式，以及其功能段操作步骤则为：回风混后区见在布置回风夹道，存有相应因难，可在两区域相应中间位置处，也就是地面与隔墙中间，预留些许缝隙，然后则依据压力要求，计算缝隙高度，针对生产前区相应送风而言，则经过此缝隙，将其送入至相应后区，然后，所送入的风则通过回风口，输送至回风管，再将 其向循环空凋机组送回.
（3）新风空调系统原理，新风空调系统原理图如图1所示.针对其他而言，则对于送风品质具有比较高的要求，另外，在工艺方面，选用图1所示的空调原理.针对与洁净区相应空调原理较为相似的，可参照图1当中生产前区的空调原理.
图1空调系统原理图
2、后段工艺空调净化系统分析
针对后段工艺房间而言，其往往在湿度及温度上具有较高的空调要求，工艺对于有些特殊方面的要求为达到SO06级.在工艺的后段，即净化要求ISO7级，湿度区间40%~60%，温度区间19～25C，设计了干盘管、FFU及新风空调的综合系统，新风空调箱对空气效过滤器、一级表冷盘管、送风机、加热盘管、送风管、高效过滤器送风口、洁净区夹层内、与夹层空气混合、FFU过滤循环及干盘管降边相对湿度也就会较高，针对此种房间，需将房间的门窗数量及房间吊顶等，给予充分考虑；此外，由于工艺生产线经过墙壁后，要想做到全部封堵是难以实现的，因此，针对所存有的空隙面积，需对房间湿度渗透量，实施详细化计算.依据计算结果，最终便可得到房间的需对低湿房问所需要的房间正压及洁
净室需要的正压综合考虑的情况下，取最大值.
三、半导体厂房空调系统的自动控制
1、半导体厂房的新风空调机组自动控制
施有效控制的目的.在各个台循环机组上，当将新风风管接入完成后，用此对房间的正压值及相对湿度进行控制.将电动调节阀设置在每 （1）针对整个新风空调机组来讲，可依据实际需要，选择变频风机，在总送风管上，安装静压探头，利用此种方式，达到对风机变频器实台循环机组相应新风风管上，通过各个房间所存有的相应正压值，调节调节阀开度，促使厂房内的正压值，不随设备排风量等的变化，而出现随之改变的情况.对于电动调节阀而言，如若其在开度方面发生相应改变，则会造成位于总送风管上的静压，出现较大程度的变化， 至此，可在总管上，设置静压探头，且设定具体的数值，然后，还需要调节新风空调机组的风机频率，通过综合作用，实现有效控制.
（2）针对具有湿度要求的半导体厂房而言，则利用新风机组，调节厂房内的相对湿度，运用新风空调机出口温度，对表冷器进行调控，另外，还可对加热器水管上的电动两通阀实施控制，通过对二通阀开度调节，达到调节冷热水水量的目的，促使温度达到符合厂房
（3）新风机组防冻.当关闭风机时，如若加热器后温度超过5°℃，则将加热器管道设置的电动两通阀自动启动.便可达到防冻效
2、生产房间的温及湿度的控制
（1）新风机组负责保证生产厂房的相对湿度及正压值.
制，对热水量及冷冻水量进行调节，获取室内温度参数.
3、半导体厂房后段工艺的温湿度控制
（1）运用温度传感器，对位于冷水管道上所安装的电动二通阀的开度，实施有效控制，利用对冷水量所实施的相应调节，来设定上，尽可能处理新风湿度，使其降至到最低，针对本项目而言，所采用的一级表冷后的新风处理温度，在处理要求方面，与冷水回水温度相同.
（2）可采用室内温度传感器，对干盘管道上的电动阀进行控制，以此达到室内事先设定的温度参数.
（3）运用室内湿度传感器，对除湿机组内再生电加热器施加控制，以此达到除湿机组内再生电加热器既定的相对湿度参数.
四、结束语
洁净室净化空调系统所产生的能耗是非常大的，所以，在进行净化空调系统设计、施工及管理的过程中，应当尽可能的采取措施来实现降耗节能.同时，对于净化空调系统的节能降耗方案进行多对比.对于正压漏风量与排放量进行合理控制，实现新风量的优化，此 外，对于风机温度升高不能忽视，要选用高效节能的设备，降低风机温升的负荷.
参考文献：
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