洁净室空气处理过程图.pdf

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七个典型的洁净空气处理系统

即空气处理过程

七个典型的空气处理系统即空气处理过程

3.1.5.1净化和空调合一的方案其净化空调机组(AHU)集中设置在空调机房内,全部的送风均在净化空调机组内进行过滤和热、湿处理,然后由庞大的送风管将全部的送风输送到洁净室的吊顶上部,再经过设在洁净室吊顶上的终端高效过滤器或高效过滤器送风口送到洁净室内,来实现洁净室工艺生产所需要的温度、湿度、洁净度和房间的压差,洁净室的回风经回风口、回风管再接回到空调机房的空调机组内与新风混合后重复进行过滤和热、湿处理.

净化和空调合一的方案又可分为全新风方案(直流系统);一次回风方案;一、二次回风方案和(MAU)加(RAU)方案等四种不同的净化空调送风型式.

这些送风方案是当前洁净室特别是非单向流洁净室中应用最广泛的净化空调送风方案.这些送风方案的系统划分明确,风量和温、湿度控制调节都比较单一

但当洁净度级别较高、送风量较大时,存在着空调机房占面积大,送、回风管体积大占面积和占空间大,送、回风管道长,送风机的压力高,噪音大,风量输送耗电量大等问题.因此,这些送风方案较适用在低级别的非单向流洁净室的送风,对5级以上的单向流洁净室送风就不太经济合理了.

一、AHU全新风的净化空调送风方案 (直流系统)

全新风净化空调送风方案是用于特殊的不允许回风的洁净室的送风方案中.如:洁净室内工艺生产类别为甲、乙类火灾危险等级或工艺过程产生有剧毒等有害物不允许回风的洁净送风系统中.其原理图和湿图如下.

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