中华人民共和国国家标准
GB/T 30901-2025代替GB/T30901-2014
高纯氟化铵溶液
High purity ammonium fluoride solution
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
shc
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件代替GB/T30901-2014《高纯氟化铵溶液》，与GB/T30901-2014相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：
a）增加了EL级、UP级和UP-SSS级产品等级和指标要求（见第5章）；b）更改了氟化铵含量（见6.2，2014年版的5.2）；c）更改了UP-SS级氟硅酸铵含量（见6.2，2014年版的5.2）；e）更改了氟化铵含量测定方法为自动电位滴定法（见7.3.2014年版的6.3）； d）增加了银、金、秘等14个指标项目（见6.2）；f）更改了氟硅酸铵含量测定方法为电感耦合等离子体质谱法（见7.4，2014年版的6.4）；g）更改了氯化物等阴离子含量测定方法中试验步骤（见7.7.4，2014年版的6.7.4）；h）更改了银、铝等35项杂质元素含量测定方法中试验步骤（见7.8.4，2014年版的6.8.4）；i）删除了安全条款（见2014年版的第10章）.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国石油和化学工业联合会提出.
本文件由全国化学标准化技术委员会（SAC/TC63）归口.
司、中巨芯（湖北）科技有限公司、贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司、湖北兴力电子材料有限公司、贵州 本文件起草单位：中巨芯科技股份有限公司、多氟多新材料股份有限公司、浙江凯圣氟化学有限公胜威凯洋化工有限公司、湖北宜化氟化工有限公司、福建省建阳金石氟业有限公司、瑞土万通中国有限公司、梅特勒托利多科技（中国）有限公司、福建永晶科技股份有限公司、青岛盛瀚色诺技术有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司.
刘春花、田海峰、郭风鑫、程文海、叶文豪、杨建成、蒋梁疏、陈维、王雪梅、李海艳、应韵进、李柚、郝赫、 本文件主要起草人：张学良、薛旭金、赵晓亚、付铁柱、张楠、彭飞、马磊、杨博、吴震球、刘斌华、袁春伟、刘世鹏、冀然、赵美敬、李霞.
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为：
2014年首次发布，本次为第一次修订.
高纯氟化铵溶液
1范围
贮存. 本文件规定了高纯氟化铵溶液的分类、要求、试验方法、检验规则、标志和随行文件、包装、运输和
本文件适用于高纯氟化铵溶液.
注：该产品主要应用于太阳能光伏电范、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于 本文件.
HG/T3696.1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分：标准滴定溶液的制备
HG/T3696.2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分：杂质标准溶液的制备
的制备 HG/T3696.3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分：制剂及制品
3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4分子式和相对分子质量
分子式：NHF.
相对分子质量：37.04（按2022年国际相对原子质量）.
5分类
高纯氟化铵溶液按用途分为5个等级：
