中华人民共和国国家标准
GB/T 46173-2025
电子气体 惰性稀有气体
Electronic gas-Noble gas
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
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目次
前言..1范围2规范性引用文件3术语和定义4技术要求.5采样6试验方法6.2氨中氢、氧氯、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量 6.1情性稀有气体纯度的测定...6.3氨中非甲烷总烃含量的测定6.4氯中氮含量的测定.6.5氛中氢、氧氯、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定6.6氯中总烃含量的测定6.7氙中氢、氧氢、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氮、四氯化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的测定6.8氙中非甲烷总烃含量的测定6.10水分含量的测定 6.9氙中一氧化氮、二氧化氮及氧化亚氮含量的测定117检验规则. 6.11尾气处理 118标志、包装、运输、贮存及安全信息 118.1标志 11 118.2包装、运输及贮存 118.3安全信息附录A（资料性）气路流程示意图 12A.1测定氨中氢、氧十氯、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氢、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化疏含量的气路流程示意图A.2测定氛中氮含量的气路流程示意图 13A.3测定氛中氢、氧十氢、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的气路流程示意图 13A.4测定氙中氢、氧氯、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氨、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化A.5测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图 硫含量的气路流程示意图15
附录B（资料性）安全信息B.1基本信息.. 17B.2危险性说明 17B.3操作注意事项 17B.4紧急情况应对措施 17B.5泄漏处理处置 18B.6存储注意事项. 18B.7废弃处置说明. 18参考文献 61
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
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本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
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本文件主要起草人：胡迎、汪晗、陈桂淋、郭英阁、崔增涛、戚芮甲、曹素英、潘振环、江罗、方强、宋飞、樊超、马卫东、陈利斌、侯鹏、钱吉、傅铸红、陈艳珊、吴长江、侯秀华、魏昕、江月军、金星屹、史兰、刘军航、 王露、谢磊、滕鑫胜、郑阳光、马彬淇、廖鸿昌、赵光明、李晓、尹冬梅、王漫、赵跃、蔡长青、孙福楠、王飞华、兰锋、吴宁捷、张琦炎、方华、郑新蕊、程欣、张金波、张静、杨扬仲夫、黄辉、高静、曲强、何波、黄小强、房嵩、殷吴、李明、宫兵、任希辉、谈益强、尹乐乐、李建浩、程化鹏、周鹏云、唐霞梅.
