中华人民共和国国家标准
GB/T 46698-2025
电子级四氯化钛
Electronic grade titanium tetrachloride
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
sAC
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本文件起草单位：武汉新硅科技潜江有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、上海市计量测试技术研究院、广州赛西标准检测研究院有限公司、攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司、中信钛业股份有限公司、洛阳双瑞万基钛业有限公司、新疆湘润新材料科技有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、云南国钛金属股份有限公司.
本文件主要起草人：李楷东、童祎、曹可慰、罗全安、史泽远、徐文涛、李春华、马瑞、李开华、常燕、李俊强、许伟春、张金宝、赵俊莎、王丽娟、陈萍、吴怡然、王炳、万烨、李建军、张宝帅、马昕、姜土兵、曹柯.
SAC
电子级四氯化钛
1范围
述了对应的试验方法. 本文件规定了电子级四氯化钛产品的技术要求、检验规则、标志、包装、运输、贮存、安全警告等，描
本文件适用于电子级四氯化钛.该产品主要用于集成电路制造、前驱体材料合成，电子级二氧化钛、特种光纤、特种合成石英等的制造.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用面构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
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3术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义.
4技术要求
电子级四氯化钛的技术指标应符合表1要求.
