中华人民共和国国家标准
GB/T 13842-2017代替GB/T13842-1992 GB/T 14128-1993
掺钕铝石榴石激光棒
Neodymium-dopedYttrium Aluminum Garnet laser rods
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准代替GB/T13842-1992《掺钕钇铝石榴石激光棒》和GB/T14128-1993(掺钇铝石榴石激光棒尺寸系列》,本标准与GB/T13842-1992和GB/T14128-1993相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:
修改了优先选用的直径与长度尺寸组合(见第3章,GB/T14128-1993的3.3);增加了英制系列的优先选用的直径与长度尺寸组合(见第3章);修改了激光棒加工要求中的端面对棒轴的垂直度和柱面粗度要求(见4.1.3和4.1.5,一增加了膜层抗激光损伤阔值的要求和测量方法(见4.2.4): GB/T 13842-1992 的 3.1.3 和I 3.1.5) ;-修改了激光棒致浓度的级别要求(见4.4,GB/T13842-1992的3.4):修改了激光棒透射波前畸变和消光比的分级要求(见4.5.2,GB/T13842-1992的3.5.2和-删除了激光性能要求(见GB/T13842-1992的3.6); 增加了单程损耗系数的要求和测量方法(见4.5.3和5.5.4);修改了散射颗粒的测量方法(见4.5.2,GB/T13842-1992的3.5.1).本标准由中华人民共和国工业和信总化部(电子)归口.本标准起草单位:中国电子科技集团公司第十一研究所.本标准主要起草人:朱建慧、仇瑛. 本标准所代替标准的历次版本发布情况为:GB/T 13842-1992 GB/T 14128-1993
掺钕钇铝石榴石激光棒
1范围
本标准规定了掺钇铝石榴石(Nd:YAlO简称Nd:YAG)激光棒的技术要求、检验方法、检验规则和交货准备等.
本标准适用于掺铵钇铝石榴石激光棒.
2规范性引用文件
件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
GB/T1185-2006光学零件表面疣病GB/T11297.1-2017激光棒波前畸变测量方法GB/T11297.3-2002掺钇铝石榴石激光棒消光比的测量方法GB/T27661-2011激光棒单程损耗系数测量方法 GB/T16601-1996光学表面激光损伤阔值测试方法GJB1209-1991微电路生产线认证用试验方法和程序GJB1525-1992激光光学元件总规范JY/T015-1996电感耦合等离子体原子发射光谱法通则 JB/T8226.1-1999光学零件镀膜减反射膜
3尺寸系列
-0.05mm~0.00mm:长度一0.5mm~0.5mm.优先选用的直径与长度尺寸组合(英制系列)见表2. 优先选用的直径与长度尺寸组合应符合表1中涂黑部分,激光棒的直径与长度公差应符合直径
表1优先选用的直径与长度尺寸组合(公制系列)
单位为毫米
长度直径 901001101201401501601801902 03 04.05 0 6.07 08.0
表1(续)
单位为毫米
长 度直径 1020 30 40 55 60 0 100 120 140 150 160 180 1909 010 011.012 013 014 0 15 025 0
表2优先选用的直径与长度尺寸组合(英制系列)
单位为毫米
长 度直径 10 ] 20 30. 50 55 0 80 90 120 150 180 1906 359 5212.70
4技术要求
4.1加工要求
4.1.1激光棒的直径与长度尺寸及尺寸公差应符合第3章的规定. 4.1.2两端面平行度(平面/平面)应优于或等于10.4.1.3端面对棒轴垂直度应优于或等于5'.4.1.4端面表面疣病应符合GB/T1185-2006的规定,具体要求为:B/0.8D ×0.05:C1×0.01;P0.14.1.5柱面粗糙度Ra应在6.3μm~1.25pm. (B为麻点:D为激光棒直径,单位为mm;C为划痕;P为前口).4.1.7柱面锥度应不大于0.03mm.4.1.8端面平面度在全口径90%直径范围内应优于或等于入/10.4.1.9端面倒边宽度应在0.07mm~0.13mm范围内.
4.1.6柱面椭圆度应不大于0.03mm.
4.2膜层
4.2.1镀增透膜,在波长为1.064pm处其剩余反射率不大于0.2%.4.2.3抗磨强度应符合JB/T8226.1-1999中4.3的要求.2
4.2.4膜层抗激光光损伤网值应不小于300MW/cm².
4.3棒轴取向
棒轴与晶向(111>或(100)之差不得超过5°
4.4钦浓度
铵浓度应符合表3所列级别.
表3钦浓度级别
级别 低 中 高钦浓度(摩尔分数)/% 0.1~<0 8 0.8<1.0 1.0~<1 3 4.5光学性能 4.5.1散射颗粒应按表4规定分级. 表4散射题粒分级 单位为个每立方厘米 级别 合格级 优等级散射颗粒 20 无 4.5.2透射波前畸变(波长为633nm)、消光比应按表5规定分级. 表5透射波前畸变、消光比分级 合格级 优等级尺寸 mm 透射波前畸变 消光比 透射波前畸变 消光比条/25mm dB wz/ dB$2~g5 ≤0.5 ≥25 28≤0.7 >22 25≤1.0 ≥20 ≤0.25 >23$13~15 ~9 ≤1.2 ≤1.5 >18 ≥15 ≤0 50 ≤0.78 >20 ≥18
4.5.31.064μm的单程损耗系数应不大于0.28×10²cm
5检验方法
5.1加工要求的检验
5.1.1用检定合格的量具测量尺寸及尺寸公差.
5.1.2用测角仪,按GJB1525-1992中的平行差的检验方法测量两端面平行度.
5.1.3用测角仪测量端面对棒轴的垂直度.将被测激光棒水平放在V型槽内,用测角仪准直V型槽 内的激光棒,然后转动激光棒一周,在测角仪的视场内观测激光棒反射像的移动距离,反射像上下或左