中华人民共和国国家标准
GB/T14604-2009代替GB/T 146041993
Gas for electronic industry-Oxygen
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准代替GB/T14604-1993（电子工业用气体氧》.
本标准与GB/T14604-1993相比主要变化如下：
-修改电子工业用氧的适用范围（GB/T14604-1993的第1章，本版的第1章）；修改规范性引用文件（GB/T14604-1993的第2章，本版的第2章）；修改技术指标内容（GB/T14604-1993的第3章，本版的第3章）；一修改瓶装电子工业用氧抽样方法（GB/T14604-1993的第5章，本版的4.1.1、4.1.2、4.1.4）： 修改瓶装电子工业用氧采样要求（GB/T14604-1993的4.1，本版的4.1.3）；修改氢、氯、氮、氮、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮、总经和水含量的分析方法和标准样品的规定，当出现多种分析方法时，规定仲裁方法（GB/T14604--1993的4.3、4.4、4.5、4.6、4.7、4. 8 本版的 4.3、4.4、4. 6、4. 7、4. 8);一修改标志、包装、贮运及安全（GB/T14604-1993的第6章、第7章，本版的第5章）； 增加一氧化氮含量的分析方法（本版的4.5）；删去GB/T14604-1993的附录A和附录B；增加规范性附录A，并把采用氨离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的氢、氯、氮和氮组分的方法写入该附录（见附录A）；-增加规范性附录B，并把采用氮离子化气相色谱法测定电子工业用氧中的一氧化碳、二氧化碳 和氧化亚氮组分的方法写人该附录（见附录B）.本标准的附录A、附录B为规范性附录.本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出.本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口.本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院. 本标准主要起草人：周泽义、周鹏云.本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T 14604-1993
电子工业用气体氧
1范围
本标准规定了电子工业用氧的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全.
本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧，以及经纯化方法得到的氧.它们主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维.
分子式：0.
相对分子质量：31.9988（按2005年国际相对原子质量计算）.
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用面成为本标准的条款，凡是注日期的引用文件，其随后是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准.
GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB/T3863工业氧 GB 5099钢质无缝气瓶(GB 5099-1994，neg ISO 4705:1993)GB7144气瓶颜色标志GB14194永久气体气瓶充装规定GB16912深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规范 GB/T14600电子工业用气体氧化亚氮JB/T5905真空多层绝热低温液体容器JB/T6897低温液体运输车JB/T6898低温液体贮运设备使用安全规则气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定
3技术要求
电子工业用气体氧的质量应符合表1的要求.
表1技术指标
项目 指标氧（0;）纯度/含量（体积分数）/10- 8666 °66 99 98 99 5复（H）含量（体积分数）/10 < 0.1 1 1氧（Ari含量（体积分数）/10 1.0 100氮（N含量（体积分数）/10 < 0.5 30 100一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10 0 1 1 表1（续） 项 目 指 标二氧化碳（CO.1含量（体积分数/10 < 0 1 1氧化酸和二氧化碳含量（体积分数）/10一 < - 5总经含量（以甲院计体积分数1/10- 0.1 1 25氧化亚氮（N（O）含量（体积分数）/10- 一氧化氮（NO）含量（体积分数）/10- 1复（Kr）含量（体积分数）/10- 10 2水（HO）含量（体积分数1/10- 0 1 1 1总杂质（包括稀有气体）含量（体积分数1/10 2.0 147 5 000颗粒 供需双方商定 供需双方商定 供需双方商定 注：质量保证期为36个月、 4试验方法 4.1抽样、判定和复验 4.1.1瓶装、集装格装、大容积钢质无缝气瓶装和多层绝热低温容器装氧产品应逐一检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格. 4.1.2对稳定生产的管道输送的氧由供需双方确定抽样频数.企业应确保管道输送的氧产品符合本标准技术要求. 4.1.3氧采样安全应符合GB/T3723的相关规定. 4.1.4液态氧的技术指标应气化后测定. 4.2氧纯度/含量 4.2.1氧纯度的体积分数不低于99.98×10的按式（1）计算： =100(Φ:ΦΦ;:Φ)×10-1式中： ..( 1)氧纯度（体积分数）/10²；-氢含量（体积分数）/10-；氯含量（体积分数）/10：Φ一氧化碳含量（体积分数）/10-； Φ; 氮含量（体积分数）/10；-二氧化碳含量（体积分数）/10-；总烃含量（体积分数）/10；-氧化亚氮含量（体积分数）/10-： 一氧化氮含量（体积分数）/10；氨含量（体积分数）/10；1-水含量（体积分数）/10. 4.2.2氧含量的体积分数不低于99.5×10的测定按GB/T3863中规定的方法进行测定. 4.3氢、氢、氮和氮的测定 4.3.1氢、氯、氮和氮的测定见附录A.4.3.2允许采用其他等效的方法测定氧中氢、氯、氮和氮含量.当测定结果有异议时，以4.3.1规定的 2 方法为仲裁方法. 4.4一氧化碳、二氧化碳和氧化亚氮的测定 4.4.1一氧化碳、二氧化碳和氧化亚氮的测定见附录B. 4.4.2允许采用其他等效的方法测定氧中一氧化碳、二氧化碳和氧化亚氮含量.当测定结果有异议时，以4.4.1规定的方法为仲裁方法. 4.5一氧化氮的测定 按GB/T14600规定的方法或其他等效的方法测定氧中的一氧化氮含量.当以上测定结果有异议时，以GB/T14600规定的方法为仲裁方法. 仪器检测限的体积分数：0.1×10. 4.6总经（以甲烷计）的测定 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氧中的微量总经含量.当以上测定结果有异议时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法. 仪器检测限的体积分数：0.05×10° 4.7气体标准样品 组分含量的体积分数为（1～5）×10一，平衡气为氮或其他气体.当样品待测组分的体积分数大于5×10时，标样中组分含量应与待测组分相近. 4.8水分含量的测定 4.8.1方法及原理 采用光腔衰荡光谱法测定氧中水分含量. 光腔衰荡光谱法通过测量时间而不是强度的变化来确定光学吸收.光腔衰荡光谱法水分仪的主要部件是激光源、一对高反射性镜面形成的光共振腔和光探测器.在光衰荡光谱法中，一小部分脉冲激光会进人光腔并且由高度反射性镜面反复多次反射，每次都有微小的光透过镜面面离开光腔.这部分光就构成了光衰荡信号，它的强度变化可以简单地用单指数衰减来描述，光的衰荡是由于光在共振腔中 的损失决定的.如果光腔是空的，衰荡时间取决于镜子的反射率（假设散射和吸收与透射损失相比是微不足道的），见式（2）： 式中： 空腔光衰荡时间； d-两个镜面的距离： 光速； R-镜面反射率（假设两个镜面相同）， 实际上r 并不是在真正的空腔里测量的，而是将激光调在光腔内气体分子没有吸收的波长下测量的.当激光频率是在腔内分子的一条具体吸收线的峰顶时，光腔衰荡时间r（v）还要取决于分子的吸收.而分子的吸收服从比尔定律，见式（3）. 式中： （v）在激光频率下的衰荡时间； （v）分子在激光频率吸收截面； N分子密度，与绝对浓度成正比. 在光腔衰荡光谱法测量中，首先要测量没有吸收时的衰荡时间，激光的频率此时被调到分子没有吸收的位置.然后再测量分子吸收高峰频率位置的衰荡时间r（v）.这两个测量位置的激光频率
