中华人民共和国国家标准
GB/T46611-2025
电光调制器用酸锂单晶薄膜
Lithium niobate single-crystal thin film for electro-optic modulator
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
目次
前言3术语和定义4.1外观质量4.2薄膜层表面晶向允差4.4键合强度 4.3键合偏转角度允差4.5光学均匀性4.6线性电光系数4.7单畴化程度4.8衬底电阻率5检测方法5.1检测环境5.2总厚度5.3总厚度变化5.5边缘区宽度 5.4局部厚度变化和局部厚度变化率5.6表面外观质量 5.717点平均厚度允差和17点厚度变化5.8弯曲度5.9正表面粗糙度5.10 薄膜层表面品向允差5.11 键合偏转角度允差5.12 键合强度5.13 光学均匀性5.14 线性电光系数5.15 单畴化程度5.16衬底电阻率6检查与验收规则 6.1检查与验收6.2检验分类
1范围2规范性引用文件
6.3检验项目6.4批次检验6.5周期检验 97包装、标签/标志、储存和运输7.1包装7.2标签/标志7.3储存 107.4运输 10附录A（规范性） 键合偏转角度的测量方法A.1测量目的A.3测量环境 A.2测量方法A.4 测量仪器A.5 测量原理 11A.6测量步骤 12A.7数据处理 12附录B（规范性） 光学均匀性的测量方法B.1测量目的B.2测量方法. 13B.3测量环境.B.4测量仪器B.5测量原理.B.6测量步骤附录C（规范性） B.7数据处理.. 线性电光系数的测量方法 14C.1测量目的 15C.2测量方法C.3测量环境. 15C.4测量仪器.C.5测量原理C.6测量步骤C.7数据处理... 16附录D（规范性） 单畴化程度的测量方法D.2测量方法. D.1测量目的.D.3 D.4测量仪器 测试环境I
D.5测量原理D.6测量步骤... 17D.7数据处理. T
