中华人民共和国国家标准
GB/T16943-2009代替GB/T 169431997
电子工业用气体氮
Gas for electronic industry-Helium
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准代替GB/T16943-1997（电子工业用气体氮》.
本标准与GB/T16943-1997相比主要变化如下：
修改氨的适用范围（GB/T16943-1997的第1章，本版的第1章）；修改规范性引用文件（GB/T16943-1997的第2章，本版的第2章）；修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量（GB/T16943-1997的第3章，本版的第修改瓶装氨抽样方法（GB/T16943-1997的4.1，本版的4.1.1）； 3章）：一增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氮产品并规定检验方法（见4.1.1）：增加管道输送的氨产品并规定检验方法（见4.1.2）：增加氨的采样安全要求（见4.1.3）：一增加新的分析方法：增加用氨放电离子化气相色谱法测定氮中的氧、一氧化碳和二氧化碳组 分；增加其他方法测定总烃含量；当出现多种分析方法时，增加规定仲裁方法（见4.3）：修改水分的测定方法（GB/T16945-1997的4.5，本版的4.5）；修改标志、包装、贮运及安全（GB/T16943-1997的第5章，本版的第5章）；增加安全要求（见5.6）；-增加规范性附录A，并把采用氨离子化气相色谱法测定氨中的氧、氮、一氧化碳和二氧化碳组 分的方法写人该附录（见附录A）.本标准的附录A为规范性附录.本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出.本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口. 本标准起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、北京氮普北分气体工业有限公司、西南本标准主要起草人：刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云.本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
化工研究设计院.
GB/T 16943-1997.
电子工业用气体氮
1范围
本标准规定了氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全.
本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氨，以及经纯化方法得到的氮.它们在半导体制造中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等.
分子式：He.
相对分子质量：4.003（按2005年国际相对原子质量）.
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款.凡是注日期的引用文件，其随后的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然面，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准.
GB190-2009危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB/T5832.1气体中湿度的测定电解法GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法GB7144气瓶颜色标志GB14194永久气体气瓶充装规定GB16912深度冷冻法生产氧气及相关气体安全技术规程压力容器安全监察规程 气瓶安全监察规程压力管道安全管理与监察规定
3技术要求
3.1氮的质量应符合表1的要求.
表1技术指标
项 日 指 标氨气（He）纯度（体积分数）/10 6 666 °66 666 °6一氧化碳（CO和二氧化磁（CO）总含量（体积分数）/10- 一氧化碳：0.1 1二氧化碳：0.1氮（N）含量（体积分数）/10 0.5 2氧（O）含量（体积分数）/10 总经（以甲烷计）含量（体积分数1/10- 0.1 0 2 0 5 0 5水分（HO）含量（体积分数1/10- 0.2 0 5杂质总含量（体积分数）/10 1 5粒 供需双方商定 供需双方商定
GB/T 16943-2009
3.2液态氮的水分应气化后测定.
4试验方法
4.1抽样、判定和复验
4.1.1瓶装、集装阁装、大容积钢质无缝气瓶装和杜瓦罐装氨产品应逐一检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格.生产企业应确保每一包装氮产品符合本标准技术要求.
4.1.2对稳定生产的管道输送的氮由供需双方确定抽样方案.企业应确保管道输送的氮产品符合本 标准技术要求.
4.1.3氨采样安全应符合GB/T3723的相关规定.
4.2氮纯度
氨纯度按式（1）计算：
100 ; ;)10( 1 )
式中：
-氮纯度（体积分数），10-²：一氧含量（体积分数），10；-氮含量（体积分数），10-； 一氧化碳十二氧化碳含量（体积分数）.10；一总烃（以甲烷计）含量（体积分数），10°；一-水分含量（体积分数）.10.
4.3氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定
4.3.1氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定见附录A.以4.3.1规定的方法为仲裁方法.4.3.3允许按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氮中的微量一氧化碳和二氧化碳.当以上测定结果有异议时，以4.3.1规定的方法为钟裁方法.
仪器检测限：0.05×10（体积分数）.
4.3.4允许采用其他等效的方法测定电子工业用气体氮中氮含量.当测定结果有异议时，以4.3.1规定的方法为钟裁方法.
4.4总烃（以甲烷计）的测定
时，以GB/T8984规定的方法为仲裁方法. 按GB/T8984规定的方法或其他等效的方法测定氮中的微量总烃含量.当以上测定结果有异议
仪器检测限：0.05×10（体积分数）.
4.5气体标准样品
气体标准样品中的组分含量为（1～5）×10（体积分数），平衡气为氮.
4.6水分含量的测定
按GB/T5832.1执行.仪器检测限：0.05×10（体积分数）.为仲裁方法.
允许采用其他等效的方法测定氮中水分含量.当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规定的方法
5标志、包装、贮运及安全
5.1氮气瓶应符合GB5099的规定，气瓶颜色标记应符合GB7144的规定.运输时，氮气瓶上应附有2
GB190-2009中第3章指定的标志.
5.2推荐使用进行内表面处理的气瓶，气瓶内表面应满足本标准对于水分和题粒的要求.
5.3包装容器上应标明“电子氮”字样.
5.4充装、运
5.4.1瓶装氮应符合GB14194以及《气瓶安全监察规程》的相关规定，
5.4.2管道输送的气态氮应符合《压力管道安全管理与监察规定》.
5.5瓶装氮的成品压力在20C时不低于13.5MPa.用于测量的压力表精度不低于2.5级.
5.6返厂氮气钢瓶的余压不应低于0.2MPa，余压不符合要求的气瓶，水压试验后的气瓶以及新气瓶 等在充装前应按规定要求进行加热、抽空和置换.
5.7氮出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：
产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号；一生产日期或批号，成品压力或充装量，产品技术指标；一本标准标准号及产品等级，检验员号.
5.8安全要求
5.8.1氨的生产、使用以及贮运应符合GB16912、《气瓶安全监察规程》、《压力容器安全监察规程》等相关规定，
5.8.2在氮气氛中，人有被室息的危险.因此在氮有可能泄漏或氮含量有可能增加的地方应设置通风装置.液态氮属低温液体，操作不当可造成冻伤，应采取防冻措施.
5.8.3电子工业用氨的生产企业应为顾客提供安全技术说明书.
6氮气在20C、101.3kPa状态下的体积计算
6.1瓶装氢气的体积计算
6.1.1气瓶中氨气的体积按式（2）计算：
（2）
式中：
V20C、101.3kPa状态下，氮气的体积，单位为立方米（m²）；
V气瓶的水容积，单位为升（L）；
K-氮气体积换算系数，见表2.
6.1.2体积换算系数K值按式（3）计算：
式中：
P气瓶内气体压力，单位为兆帕（MPa）；测量压力时，气瓶内气体温度，单位为摄氏度（C）；Z温度为：时，氮气的压缩系数.
6.1.3在不同压力、温度下氮气的体积换算系数K值列于表2.
表2在不同压力、温度下氮气的体积换算系数K
压力/MPa温度/C 9 810.310.811.311.812 312.713.213.714 214.715 215.716 240 0 1170 1230 1280. 134|0 139|0 144|0. 149|0 1540 1600. 1640 1700 174|0. 179 0 18435 0 1150 1200 1260 1310 1360 1410 1460. 1510 1560 1610 166 0 1710 1760. 18130
