中华人民共和国国家标准
GB/T18994-2014 代替GB/T18994-2003
电子工业用气体 高纯氯
Gases for electronic industry-High purity chlorine
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
性修改外主要技术内容变化如下： 本标准代替GB/T18994-2003《电子工业用气体高纯氯》.与GB/T18994-2003相比，除编辑
-修改了范围（见第1章，2003年版的第1章）：修改了规范性引用文件（见第2章，2003年版的第2章）；修改了技术要求（见第3章，2003年版的第3章）； 修改了抽样、判定（见4.1，2003年版的第5章）；删去了取样装置的规定（2003年版的4.1）：一修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、经含量的测定方法（见4.3.2003年版的4.3、4.4）；-增加了氢含量的测定方法（见4.3）：增加了金属元素含量的测定方法（见4.5）； 修改了水分含量的测定方法（见4.4，2003年版的4.5）；修改了标志、包装、贮运及安全（见第5章，2003年版的第6、7章）.
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）提出并归口.
本标准起草单位：西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体（荆州）有限公司、上海仪盟科技有限公司.
本标准主要起草人：周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任，
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
GB/T 18994-2003.
电子工业用气体高纯氯
1范围
本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存.
本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品.该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域.
分子式：Cl.
相对分子质量：70.90（按2009年国际相对原子质量计算）.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB190危险货物包装标志GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB5099钢质无缝气瓶GB7144气瓶颜色标志GB11984氯气安全规程GB14193液化气体气瓶充装规定GB15258化学品安全标签编写规定GB/T26571特种气体储存期规范 GB 16804 4气瓶警示标签GB/T28726-2012气体分析氨离子化气相色谱法气瓶安全监察规程（2000版）危险化学品安全管理条例（2002版）特种设备安全监察条例（2009版）
3技术要求
高纯氯的技术要求应符合表1的要求.
表1技术指标
项目 指标氯纯度（体积分数）/10- 》 99 999 99 9995氢（H）含量（体积分数）/10 0.5 0.5氧（0）含量（体积分数）/10 1 1氮（N）含量（体积分数）/10 2
表1（续）
项目 指标二氧化碳CO：含量（体积分数）/10 < 4 0 5氧化碳CO含量（体积分数）/10 < 0 5 0 5烃²（C~C;）含量（体积分数）/10- < 0 5 0 1水分含量（体积分数）/10 < 2 0 5总杂质含量（体积分数）/10 10 5颗粒 供需双方商定 供需双方商定金属元素（Sb Co、Ga、Ge、1i、Mo、Si Sn、Cd、Cr.Cu、Fe、Na、Ni、Zn 供需双方商定 供需双方商定Cn K Mg Mn Pb)经(C C;)=CH C;H;、C;H 、C;H. 4试验方法 4.1抽样、判定 4.1.1高纯氯产品应逐一检验并验收.当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时，则判该产品不合格. 4.1.2高纯氯采样安全应符合GB/T3723的相关规定. 4.2高纯氯纯度 4.2.1总杂质含量Φ：按式（1)计算： ;=ΦΦ;Φ;Φ;ΦΦ;1 式中： 氢含量（体积分数），10：氧含量（体积分数），10°；氮含量（体积分数），10°；二氧化碳含量（体积分数），10；烃含量（体积分数），10： 一氧化碳C0含量（体积分数），10；①- 水分含量（体积分数），10 4.2.2高纯氯纯度按式（2）计算： 式中： ①-氯纯度（体积分数），10². 4.3氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定 按GB/T28726-2012规定，采用预切割（除）进样的方法测定高纯氯中的氢、氧、氮、一氧化碳、二 氧化碳、烃（CH、CH、CH、CH）含量. 预切割（除）柱：柱长约3m、内径2mm的3161不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的HayesepQ，或其他等效色谱柱. 筛，或其他等效色谱柱.该柱用于分析氢、氧、氮、一氧化碳含量. 色谱柱I：柱长约3m、内径2mm的316L不锈钢柱，内装粒径为0.18mm~0.25mm的5A分子 色谱柱Ⅱl：柱长约3m、内径2mm的316 L不锈钢柱，内装粒径为0.18 mm~0.25mm的HayesepN，或其他等效色谱柱.该柱用于分析二氧化碳、烃（CH、C：H、CH、CH）含量. 气体标准样品：各组分含量的体积分数为1×10~5×10，平衡气为氮. 允许采用其他等效的方法测定高纯氯中的氢、氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、经（CH、CH、CH、CH）含量.当以上测定结果有异议时，GB/T28726规定的方法为仲裁方法. 4.4水分含量的测定 按GB/T5832.3的规定执行，允许采用其他等效的方法测定高纯氯中的水含量.当测定结果有异议时，GB/T5832.3规定的方法为仲裁方法. 4.5金属元素含量的测定 推荐采用电感耦合等离子体质谱法测定高纯氯中的金属元素含量，测定方法及步骤参见附录A. 5标志、包装、贮运及安全 5.1标志、包装及贮运 5.1.1高纯氯的充装及贮运应符合《气瓶安全监察规程x危险化学品安全管理条例》和《特种设备安全 监察条例》的相关规定.5.1.2包装高纯氯的气瓶应符合GB5099的规定.5.1.3推荐使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本标准的要求.瓶阀出气口连接方式推荐使用CGA7165.1.4应防止瓶口被污染和泄漏. 5.1.5高纯氯的充装应符合GB14193的相关规定.5.1.6高纯氯的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB7144的规定，标签应符合GB16804、GB15258规定的要求.5.1.7包装容器上应标明“电子高纯氯"字样. 5.1.8瓶装氯的最大充装量按式（3）计算： *....(3) 式中： m-气瓶内高纯氯的质量，单位为千克（kg）；V气瓶标明的内容积，单位为升（L）；F，氯的充装系数，1.25kg/L. 5.1.9高纯氯的保存期限按GB/T26571规定执行. 5.1.10高纯氯出厂时应附有质量合格证，其内容至少应包括：一产品名称、生产厂名称、危险化学品生产许可证编号：一生产日期或批号、充装质量（kg）；
