中华人民共和国国家标准
GB/T25495-2010代替GB/T 6626. 1-1986 GB/T 9506. 61988 GB/T 9506.21988
吸气剂金属释放特性测试方法
Test methods for metal releasing characteristics of getters
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准是将以下标准整合后进行修订的：
GB/T6626.1-1986（释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》； GB/T9506.6-1988（掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》：GB/T9506.2-1988（蒸散型钡吸气剂得银量测试方法》.
本标准与原标准相比主要变化如下：
-取消释汞吸气剂释汞特性的测试方法中的名词术语，在规范性引用文件中新增GB/T4314《吸气剂术语》：
-将GB/T6626.1-1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法3与GB/T9506.2-1988（蒸散型钡吸气剂得银量测试方法》中的测试系统、方法合并：
取消试验设备中的无脂球阀：
释汞特性曲线的测试由400C开始提高到500C开始：
取消平均值、标准偏差的计算方法：
取消得银量一致性测试；
时间的控制表述进行修订：
根据GB/T1.1-2000的要求进行格式修订.
本标准代替下列标准：
GB/T6626.1-1986（释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂释汞特性的测试方法》；-GB/T9506.61988（掺氮吸气剂钡膜分布测试方法》；-GB/T9506.2-1988（蒸散型钡吸气剂得银量测试方法》.
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口.
电子科技集团公司第十二研究所. 本标准起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
GB/T 6626. 1-1986;GB/T 9506.61988; GB/T 9506.2-1988.
吸气剂金属释放特性测试方法
1范围
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法，如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得银量的测试方法、掺氮吸气剂银膜分布测试方法.
本标准适用于真空器件用吸气剂.
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，凡是注日期的引用文件，其随后是否可使用这些文件的最新版本.凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准.
GB/T4314吸气剂术语
GB/T25494-2010吸气剂成分分析测试方法
3术语
GB/T4314所确定的术语和定义适用于本标准.
4金属释放量的测试方法
4.1原理
吸气剂金属释放量的测试，如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、蒸散型钡吸气剂得量等，均采用”差重法”测定释放出的金属量.
4.2测试设备和条件
对蒸散型吸气剂进行测试时，推荐的试样室和高赖感应线圈尺寸见表1.试样应处于圆简形试样室和高频感应线圈的中央.通常，将试样放置在能够直接朝向试样室顶部蒸散的水平位置上，采用同轴蒸散.对于天线式装架的彩色显像管用吸气剂，为使蒸散方向朝对面的玻壁，试样支撑架至少要与试样室轴线成30角：为防止试样在燕散期间发生位移，应采用切向蒸散.见图1.
1-前级泵； 一试样室（同轴蒸散时选用）：三通真空润： 试样室（切向蒸散时选用）；高真空泵： 隔新润： 12--高颜感应线图； 11 试样室（释汞时选用）；真空规： 吸气剂试样；冷阱（释汞时选用）： 热偶引线； 试样支撑果.8--放气阀： 隔断阀：
图1测试装置示意图
a) 抽速，以使试样蒸散期间系统内的最高压强低于10Pa； 测试台：真空系统的极限真空必须优于1X10一”Pa，测试掺气吸气剂时，系统应具有相当快的b) 高频感应加热器（300~400）kHz，10kW；c) 秒表：d) 分析天平；e) 点焊机： 真空计：量程为（0.001~10）Pa；) g) 温度计：量程为（0~1100）℃.
表1试样室和高频感应线圈尺寸
吸气剂类型 试样室 高舰感应线图类型 释放量 外径 长度 高度 内径 高度 图数mg mm mm mm Mm mm100 35 60 250 320 150 140 51 70 22 22 5.5 5.5切向蒸散 >100 9 51 15从吸气剂底部到试样室顶部的尺寸. 80 320* 6~10′b线图由3mm的别管制成.试样室轴与铅垂线镇斜30°d从吸气别中心到试样室顶部的尺寸.“每层为3~5图的双层线图.
4.3试件制备
4.3.1需要准确控制测试温度的样品如释汞量的测试.
4.3.1.1成捆供应的带材
从待测剂带上剪下（5.0士0.1)cm长的试样，卷成直径约15mm的圆环（双面压结带，释汞合金粉有焊点，没有覆盖粉末的同一侧边缘对径处分别点焊上丝径为0.3mm、长为（30~40）mm的镍铬和镍 层首选置于内侧：单面压结，无粉层面处于内表面），搭接处用点焊法固定，焊点应在无粉处.在远离原硅丝，做成试件.
4.3.1.2环状试样
在试样环对径处分别点焊上丝径为0.3mm、长为（30~40)mm的镍铬丝和镍硅丝，做成试件.
4.3.1.3其他试样
的镍铬丝和镍硅丝，做成试件；无载体试样，在试样外面用镍带包紧，然后在试样同一侧镍带边缘上相距 有载体试样在试样的载体同一侧边缘相距最远处分别点焊上丝径为0.3mm、长为（30～40）mm最远处分别点焊上丝径为0.3mm、长为（30～40）mm的镍铬丝和镍硅丝，做成试件.
4.3.2无需准确控制测试温度的样品，如得钡量
试样不须焊接热电偶，可直接放置在特制的热导率较小的试样支撑架上进行蒸散.试样支撑架可以用陶瓷、玻璃等材料制成，亦可以用钨、钼等难熔金属丝制成.试样离较大的金属零件应有适当的距离，以防止高频损失.
4.4测试步骤
4.4.1用精度为0.1mg的分析天平称量试件的重量，记录W.4.4.2将上述试件或试样装入测试系统，如需要可以接上温度计，当需要记录温度一时间曲线时，可以接记录仪，4.4.3抽真空，如果测试金属汞的释放，向冷阱注人低于一25℃的致冷剂.4.4.4待真空系统内压强低于5X10Pa时，调节高频感应加热器输出功率，使试样依下表2的规范进行加热.
表2加热规范
吸气剂类型 加热规范蒸散型 按制造厂家推荐的起蒸时间、总蒸时间总释录量 30s内线性升温加热到（950士5)℃，保温 300 s释汞型 标准释汞量 30 s内线性升温加热到(900±5)℃ 保温 30 s释汞吸气剂热稳定性 30s内线性升温加热到（500士5)℃，保盟30 s某指定温度的释汞量 30 s内线性升温加热到指定温度士5℃、保温30 s
4.4.5停止加热后.待试样冷却到100C以下，关闭隔断阀7，
4.4.6充人空气或氮气，取出试件并称量试件、记录重量W：，两者时间间隔不得超过5min.
4.4.7计算重量差，即为金属释放量W=W-W.
4.5释汞特性曲线测试
为指导用户根据需要选择合理的加热温度，可以按以下步骤绘制释汞特性曲线.
4.5.1从500℃开始，到950℃止，每50C均须用同批次试样，按3.4的测试步骤（加热采用某指定温度的释汞量的规范），测试各温度点的释汞量，每个温度点至少需要测试3个试样的释汞量数据.
