中华人民共和国国家标准
GB/T25753.1-2010
真空技术罗茨真空泵性能测量方法 第1部分:最大允许压差的测量
Vacuum technology-Rootsvacuum pump-Measurement of performancecharacteristics-Part 1:Measurement of maximum tolerable differential pressure
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
GB/T25753《真空技术罗茨真空泵性能测量方法》分为三个部分:
本部分为GB/T25753的第1部分.
本部分由中国机械工业联合会提出.
本部分由全国真空技术标准化技术委员会归口.
本部分参加起草单位:成都南光机器有限公司、中科院沈阳科学仪器研制中心、山东淄博真空设备厂有限公司、合肥皖仪科技有限公司、沈阳真空技术研究所.
本部分主要起草人:王晓虎、王西龙、范林东、王光玉、徐法俭、黄文平、王玲玲、王学智.
引言
随着基础工业的发展及设计理念的不断创新,罗茨真空泵的结构设计与工作性能均取得了长足的进步,早期的罗茨真空泵必须依赖前级真空泵运行,而如今发展出了能够直接排大气运行的气冷式罗茨 真空泵和湿式罗茨真空泵,另外单台罗茨真空泵的级数也由单级发展成为单级、双级、多级,转子型线也由双叶发展成为双叶、三叶、多叶.
现有的罗茨真空泵性能测量标准仅仅包涵了单级双叶罗茨真空泵,对其他种类基本未有涉及,并且检验测量提供必要的操作指南在广泛借鉴国内外相关指标、标准的基础上,结合实际情况,制定《真空 未对溢流阀压差的测量方法作出规范,为切实提高罗茨真空泵性能测量标准的兼容性与适用性,为实际技术罗茨真空泵性能测量方法》标准,并分为三个部分.极限压力及抽气速率是罗茨真空泵机组的性能测量项目,不是本标准的内容.今后将依据技术发展的状况进行必要的修改与扩充.
真空技术罗茨真空泵性能测量方法 第1部分:最大充许压差的测量
1范围
GB/T25753的本部分规定了罗茨真空泵最大允许压差的测量方法.本部分适用于抽速为30L/s~20000L/s的罗茨真空泵(以下简称泵).
2术语和定义
下列术语和定义适用于GB/T25753的本部分.
2. 1
最大允许压差maximum tolerable differential pressure
最大允许压差是指泵连续运转1h,不发生异常所允许的出口压力与人口压力差值的最大值.对于中真空罗茨真空泵,测量时的人口压力应等于或略低于1×10²Pa.
注:对于其他类型的罗茨真空泵,无入口压力数值要求,但应当适合泵的结构或遵循制造商的建议.
2.2
测试罩test dome
具有精确规定形状和尺寸的专用真空容器,被测量的气体通过它进人泵内,其上装有压力测量装置.
3装置
3.1测试罩
如图1所示,形状为圆柱体.罩的轴向尺寸为1.5D,D是罩的内径.试验气体人口位于罩的轴线真空计在距离连接法兰0.5D处,其轴线垂直于罩的轴线.测试罩的轴线应垂直于泵人口法兰平面. 上,并与连接法兰的距离为D,进气口的排列应使气体自背离泵口的方向进人测试罩.测量入口压力的除了进气管路外,法兰和测试罩之间的连接管路不应穿出测试罩的内壁.
测试罩的容积V至少应是泵一个压缩周期扫过容积V,的5倍.在泵入口应连接一个异径接头,其长度不应超过0.5D(见图1).不同规格的泵适用的测试罩由表1给出.
表1测试罩的参数
V /L V /L D/mm0~0 26 1. 3 1000. 26 ~1. 0 1. 1~4.2 5 4 21 250 1604.2~17 84 40017~65 325 63065~260 1 300 1 000260 ~1 060 5 300 16001 060 ~4 060 006 02 2 500
3.2压力计
对于压力高于或等于1Pa时,其校准精度为土5%,对于更低压力,其校准精度为士10%.
3.3前级管路及前级管路上的测试罩
被测的罗茨真空泵出口与前级泵之间的管路为前级管路,应按图2设计制作.前级管路上的测试罩按图1设计制作.
图1设计制作.
单位为毫米
图1测试罩及异径接头
3.4测量装置
泵的测量装置如图3所示.
3.5试验条件
3.5.1泵的转速及配用电机应符合产品设计规定,泵的实际转速与规定转速相差不得超过土3%.3.5.2泵采用水冷时,冷却水流量、进水温度应符合产品设计规定,但泵不应当设置排气冷却器. 3.5.3测量时环境温度应为18℃~25℃,测量期间温度波动不大于士1.5℃,相对湿度不大于75%.3.5.4试验气体为干燥气体,一般为空气.3.5.5测量时泵腔内应当保持干燥,除试验气体外,不得引人任何介质.3.5.6前级泵应当是能够满足测量所需的出口压力范围要求并能够在整个测量周期内正常工作的油封式机被泵或者干式真空泵.