中华人民共和国国家标准
GB/T 26113-2010
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
Micro-electromechanical systemtechnologyGeneral rules for the assessment of micro-geometrical parameters
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口.
本标准主要起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院.本标准主要起草人：丁红宇、张苹、刘伟、蒋庄德、景蔚萱、胡晓东、赵则祥.
微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
1范围
本标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测. 本标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则.
2规范性引用文件
文件，凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本
GB/T3505产品儿何技术规范（GPS）表面结构轮廊法术语、定义及表面结构参数
GB/T18779.2产品儿何量技术规范（GPS）工件与测量设备的测量检验第2部分：测量设备校准和产品检验中GPS测量的不确定度评定指南
GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语
3术语和定义
GB/T3505和GB/T26111中给出的术语和定义以及下列术语和定义适用于本文件.
3. 1微几何要素micro-geometrical feature 构成微结构几何特征最基本的点、线、面.
3.2微几何量micro-geometricalparameterMEMS构件的儿何特征参数.
尺寸特征 feature of size由一定大小的线性尺寸或角度尺寸确定儿何形状.
3. 4表面结构surface structure几何表面的重复性或偶然性偏差，这些偏差形成该表面的三维形貌.
3.5表面（结构）参数surface（structure）parameter表示表面微观儿何特性的参数.
3.6形状特征characteristic of form单一实际要素的形状所允许的变动全量.
