ICS 31. 260CCS 51
团体标 准
T/ZZB3949-2025
阻焊制程激光直写式光刻设备
mask process
浙江省质量协会发布
DEFINED QUALITY
目次
前1范围2规范性引用文件3术语和定义4基本要求5结构与工作条件6技术要求.7试验方法.8检验规则9标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件10质量承诺.
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由浙江省质量协会归口.
本文件主要起草单位：杭州欣俊哲微纳科技有限公司.
光学研究院有限公司、杭州欣俊哲光学有限公司、杭州欣俊哲视觉科技有限公司、杭州新诺微电子 本文件参与起草单位：安吉欣俊哲精密科技有限公司、浙江省质量科学研究院、河南百合特种有限公司、西安电子科技大学杭州研究院、杭州电子科技大学、东莞塘厦裕华电路板有限公司.
本文件主要起草人：焦克北、陈泽瑞、王阔、王鹏、余子英、方骁远、钟迪、周文晖、黄康华.
本文件评审专家组长：陈萍.
阻焊制程激光直写式光刻设备
1范围
作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺.
本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中，利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备.
2规范性引用文件
文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单） 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用适用于本文件
GB/T191包装储运图示标志GB/T2893.2图形符号安全色和安全标志第2部分：产品安全标签的设计原则GB/T5226.1-2019机械电气安全机械电气设备第1部分：通用技术条件 GB/T6388运输包装收发货标志 LUGB/T 13306标牌GB/T13384机电产品包装通用技术条件GB/T16471运输包装件尺寸与质量界限 GB/T18209.2-2010机械电气安全指示、标志和操作第2部分：标志要求GB/T43725-2024直写成像式曝光设备SJ/T10668-2023电子组装技术术语
3术语和定义
SJ/T10668-2023、GB/T43725-2024界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3. 1
复合激光光源Composite laser light source
统. 由两个及以上中心波长不同的独立激光器组合而成，可同时或分时输出多种波长激光的光源系
3.2
最大光源功率Maximumlight source power
激光光源在额定工作条件下，波长同时工作时的总输出光功率最大值.
3.3
重复对准精度Repeatalignment accuracy
光刻设备的运动平台在相同指令下驱动光学系统多次对准同一目标点，各次坐标与基准坐标在x方向与y方向上的坐标差值.
3. 4
对准精度Alignmentaccuracy
