中华人民共和国国家标准
GB/T28855-2012
硅基压力传感器
Silicon-based pressure sensors
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4分类与命名 4.1分类4.2型号命名与图形符号5基本参数5.1测量范围5.2工作温度范围5.3补偿温度范围 5.4被测介质的类型5.5与被测介质相接触的材料5.6激励6要求.6.1产品技术条件（详细规范）6.3电气性能 6.2外部连接性能6.4静态性能6.5稳定性6.6温度影响6.7过载 6.8静压影响6.9动态性能6.10环境性能6.11疲劳寿命7试验方法7.1环境条件 7.2试验前准备7.3外部连接性能7.4电气性能7.5静态性能7.6稳定性 7.7温度影响 107.8过载 11 117.9 11
7.10动态性能 127.12疲劳寿命 7.11环境性能 13158检验规则 8.1检验分类 158.2出厂检验 15 158.3型式检验. 179标志、包装、运输及贮存 189.1产品标志 189.2包装、运输及贮存 18附录A（规范性附录）传感器性能指标的计算方法 20A.2参比工作直线 A.1实际工作特性 20 20A.3 满量程输出（Y） 21A. 4 非线性（6） 22A.5 A.6 重复性（） 迟滞（） 22 22A.7 准确度（）A.8 零点漂移（d） 25A.9 零点长期稳定性（r.） 25A. 10 A. 11 满量程输出漂移（r） 热零点漂移（a） 25 25A.12热满量程输出漂移（g) 25A.13振动对传感器零点影响（Z） 26
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草.
本标准由中国机械工业联合会提出.
本标准由中国机械工业联合会归口.
本标准起草单位：沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、昆山双桥传感器测控技术有限公司、大连理工大学、中国电子科技集团公司第49研究所、北京鑫诺金传感技术有限公司、北京瑞普恩德斯豪斯仪表有限公司、南京沃天科技有限公司、中国仪器仪 表协会传感器分会、中国仪器仪表学会仪表元件分会.
本标准主要起草人：徐淑霞、刘沁、徐秋玲、于振毅、张治国、唐慧、股波、王冰、唐祯安、陈信琦、王文襄、郭宏、宁宁、李延夫、高峰.
硅基压力传感器
1范围
本标准规定了硅基压力传感器（以下简称传感器）的术语和定义、分类与命名、基本参数、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及贮存.
本标准适用于硅基压力传感器.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T191-2008包装储运图示标志GB/T2423.2-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温 GB/T2423.1一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温GB/T2423.3-2006电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验GB/T2423.5一1995电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击GB/T2423.10-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc:振动（正弦） GB/T2423.15-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ga和导则：稳态加速度GB/T2423.16-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验J及导则：长霉GB/T2423.22-2002电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化 GB/T2423.17-2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ka：盐雾GB/T2829-2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）GB/T76652005传感器通用术语GB/T7666-2005传感器命名法及代码 GB/T14479传感器图用图形符号GB/T17626.1-2006电磁兼容试验和测量技术抗扰度试验总论GB/T18459-2001传感器主要静态性能指标计算方法JJG624-2005动态压力传感器
3术语和定义
GB/T7665一2005界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
硅基压力传感器silicon-basedpressure sensors
以硅或硅复合材料为基本材料，由能独立实现压力测量功能的敏感器件（或组件）构成的传感器.
4分类与命名
4.1分类
传感器按输出信号类型可分为：
