中华人民共和国国家标准
GB/T34649-2017
磁控溅射用钉靶
Magnetron sputteringruthenium target
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准由中国有色金属工业协会提出.本标准负责起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院. 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口.本标准起草人：罗俊锋、丁照崇、李勇军、向磊、万小勇、刘书芹、熊晓东、王庄、贺昕、膝海涛、高岩.
磁控溅射用钉靶
1范围
本标准规定了磁控溅射用钉靶的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容.
本标准适用于微电子领域镀膜用磁控溅射钉靶（以下简称钉靶）.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T1804一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T5163烧结金属材料（不包括硬质合金）可渗性烧结金属材料密度、含油率和开孔率的测定
GB/T6394金属平均晶粒度测定方法
GB/T14265金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T23275钉粉化学分析方法铅、铁、镍、铝、铜、银、金、铂、、钯、姥、硅量的测定解光放电质谱法
YS/T837溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1
磁控溅射physical vapor deposition：PVD
高等离子体密度，并利用电场对情性气体（通常为Ar气）粒子加速轰击靶表面，从面溅射出材料原子或 物理气相沉积镀膜的一种方法：通过在靶材表面引人电场和磁场利用磁场对带电粒子的约束来提原子团，最后沉积形成膜镀层.
3.2
用金属钉制备的用于磁控溅射的肥材，用于制备钉膜镀层.
4要求
4.1产品分类
4.1.1钉靶按化学成分分为Ru-99 95、Ru-99 99、Ru-99 995，Ru-99.999四个牌号.4.1.2按靶材焊接方式可分为单体型和焊接型，背板材料包括铝合金、铜及铜合金. 4.1.3钉靶按截面形状可分为网形、矩形和异形（环形、三角形）等.
4.2化学成分
钉靶的化学成分应符合表1的规定.
表1钉靶的化学成分
牌号 Ru-99 95 99 95 Ru-99 99 99 99 Ru-99 995 99 995 Ru-99 999 99.99钉含量（质量分数1/%，不小于 Ag 2 0 5A1 10 5 2Au 二 5 0.5B 2 0 5Ca 10 5 2Co 30 50 5 3Cu Cr 10 5 3 2 2 1Fe 100 20 5 2K 50 10 5 0 5杂质元素含量（质量 Li 20 10 5 0 5分数/（×10% Ms 10 2 0 5不大于 Mn Nx 50 10 10 2 5 0 5 0.5Ni 50 5 3 0 5P 5 2Pb 5 2 0.5Sn 2 0 5rb 0.1 0 01Ti U 0 1 5 0 01 5vZn 2 1Zr - 10 5气体杂质含量（质量 C 200 100 100分数）/（×10% 100 50 20不大于 0 二 1 000 600 500杂质总含量（质量分数1/（×10)% S 00 50 20不大于（不包括C NS、O） 500 100 50 10注1：钉含量为100%减去表中所列杂质总含量的余量（不含C.N、O.S.注2：需方对杂质元索有特殊要求的，由供需双方协商. 注3：”-"表示不作要求.2
4.3外形尺寸
钉靶尺寸、规格及结构方式与用户使用的机台类型有关，一般由需方提供图纸，经供需双方协商确认.图纸中，未标注的公差按GB/T1804的中等m级执行.
4.4平均晶粒尺寸
钉靶平均晶粒尺寸在2μm~20m之间.需方有特殊要求时，由供需双方协定.
4.5块体密度
特殊要求时由供需双方协定. 钉靶块体密度不小于12.00g/cm，相对密度不小于97%（相对于理论密度12.37g/cm）.需方有
4.6焊接性能
对于与背板针焊复合的钉靶，焊合率不小于95%，单个最大伤不超过2%.需方有特殊要求时，由供需双方协定.单体钉靶无该项要求.
4.7外观质量
钉靶表面应清洁光亮，无指痕、油污和锈蚀，无颗粒附加物和其他沾污，无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷.
5检验方法
5.1化学成分的检验
钉靶中金属杂质元素的分析按照GB/T23275标准的规定执行，钉靶中气体杂质元素的分析按照GB/T14265标准的规定执行.
5.2外形尺寸检验
5.2.1钉靶表面租糙度采用相应精度的租仪检测.5.2.2钉靶外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的量具进行检测.
5.3平均晶粒尺寸检验
钉靶按照GB/T6394标准的规定进行观察、评定和确认.
5.4块体密度检验
钉靶块体密度检验按照GB/T5163标准的规定执行.
5.5焊接性能检验
对于与背板针焊复合的钉靶，焊合率检验按YS/T837标准的规定检测.
5.6外观质量检验
钉靶外观质量用目视检查，如发现异常现象，应在10倍放大镜条件下进行检查确认.
