GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范.pdf
ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 Silicon-based MEMS fabrication technology- Specification for criterion of the bination of the deep etching and bonding process 2016-08-29发布 2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32816-2016 目 次 前言 I 1范围 .1 2规范性引用文件 3术语和定义 1 4工艺流程 4.1概述 1 4.2硅片选择 1 4.3键合区制备 .1 4.4玻璃片金属电极制备5 4.5硅-玻璃阳极键合 8 4.6深刻蚀结构释放 9 4.7划片 .11 5工艺保障条件要求11 5.1人员要求 11 5.2环境要求 11 5.3设备要求12 6原材料要求 12 7安全与环境操作要求 13 7.1安全 13 7.2化学试剂 13 7.3排放 13 8检验 13 8.1总则 .13 8.2硅片干法刻蚀结构释放关键工序检验13 8.3最终检验 .14 GB/T32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范 1范围 本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求 和质量检验要求. 本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T19022测量管理体系测量过程和测量设备的要求 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB50073洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T26111界定的术语和定义适用于本文件. 4工艺流程 4.1概述 以深刻蚀和键合为核心的工艺集成包括硅片键合区制备、玻璃片金属电极制备、硅玻璃阳极键合、 深刻蚀结构释放、划片等部分，其中关键工艺用(G)表示. 4.2硅片选择 4.2.1硅片材料的选择，如n型或p型、轻掺杂或重掺杂、电阻率等，应结合所制造的器件的性能要求 和后续工艺需求确定. 4.2.2硅片晶面的选择应以后续的工艺选择为依据.当后续工艺步骤中使用了氢氧化钾(KOH)或四 甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀时，应使用(100)晶面的硅片. 4.3键合区制备 4.3.1概述 根据设计要求硅片键合区制备可以采用多种方法，分别为干法刻蚀和湿法腐蚀. 4.3.2干法刻蚀制备 使用反应离子刻蚀，形成键合锚点，包括光刻、干法刻蚀、离子注入、退火等工序，如图1所示具体步 1 ...
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GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范.pdf
ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺 规范 Silicon-based MEMS fabrication technology- Specification for criterion of the bulk silicon piezoresistance process 2016-08-29发布 2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32815-2016 目 次 前言 1范围 1 2规范性引用文件 3术语和定义 4工艺流程 4.1概述 4.2硅片选择 1 4.3硅片压阻区制备 4.4硅片隔离区制备 5 4.5硅片背腔腐蚀 6 4.6硅片引线制备(G) 10 4.7玻璃片金属电极制备 12 4.8硅-玻璃键合 14 4.9键合片硅面刻蚀 15 5工艺保障条件要求 17 5.1人员要求 .17 5.2环境要求 17 5.3设备要求 17 6原材料要求 18 7安全操作要求 19 7.1用电安全 19 7.2化学试剂 19 7.3排放 19 8检验 19 8.1总则 19 8.2检验方法和要求 19 GB/T32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范 1范围 本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求. 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅-玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和 质量检验. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T19022测量管理体系测量过程和测量设备的要求 GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB50073洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T26111界定的术语和定义适用于本文件. 4工艺流程 4.1概述 体硅压阻工艺流程包括硅片压阻区制备、硅片隔离区制备、硅片背腔腐蚀、硅片引线制备、玻璃片电 极制备、硅-玻璃键合以及键合片硅面刻蚀等部分，其中的关键工艺用()表示. 4.2硅片选择 4.2.1硅片材料的选择应结合所制造的器件的性能要求和后续工艺需求确定，如型、轻掺杂、电阻率 为20cm等. 4.2.2硅片晶面的选择应以后续的工艺选择为依据.当后续工艺步骤中使用了氢氧化钾(K0H)或四 甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀硅片背腔时，应使用(100)晶面的硅片. 4.3硅片压阻区制备 硅片压阻区制备如图1所示，包括清洗、光刻、离子注入、杂质原子扩散、杂质原子推进等工序，具体 包括以下步骤： a)硅片准备，并做必要清洗； b)硅片表面热氧化方式制备二氧化硅； c)硅片光刻，形成淡硼注人区图形； 1 ...
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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf
ICS31.200 L55 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32814—2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 Silicon-based MEMS fabrication technology- Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process 2016-08-29发布 2017-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32814-2016 目 次 前言 I 1范围 .1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 4工艺流程 1 4.1概述 .1 4.2硅片清洗 2 4.3掩膜制备 .2 4.4干法刻蚀 4 4.5结构释放 5 4.6硅片去掩膜 .7 5工艺加工能力 7 5.1工艺能力要求 7 5.2工艺稳定性要求 .8 6工艺保障条件要求 8 6.1人员要求 .8 6.2环境要求 .8 6.3设备要求 8 7原材料及辅助材料要求 9 8安全与环境操作要求 9 8.1安全 8.2化学试剂 10 8.3排放 10 9检验 .10 9.1总则 10 9.2关键工艺检验10 9.3最终检验11 GB/T32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 1范围 本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求. 本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T26111微机电系统(MEMS)技术术语 GB50073洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 绝缘体上硅silicon-on-insulator;SOI 在两层硅中间引入一层氧化层，形成一种“硅-二氧化硅硅”的三明治结构的技术.其中顶层硅称 为器件层(device layer) 底层硅称为衬底层(handle layer) 二氧化硅层称为埋层(buried layer). 注：目前制备SOI硅片的技术包括注氧隔离(separation by implanted oxygen SIMOX)技术、硅片键合和背面减薄 (bonding SOI BSOI)技术和将键合与注人相结合的智能剥离(smart cut)技术. 3.2 释放releasing 使MEMS结构中的可动部分与其余部分分离，使其可动的过程. 3.3 深反应离子刻蚀deep reactive lon etching;DRIE 一种具有高深宽比的反应离子刻蚀方法，通常采用感应耦合等离子体(inductively coupled plasma I...
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GB/T 32702-2016 电子商务交易产品信息描述 图书.pdf
ICS 35.240.60 A 10 中华人民共和国国家标准 GB/T32702-2016 电子商务交易产品信息描述 图书 Information description of productfor electronic merce transaction-Book 2016-06-14发布 2017-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会
本标准由全国电子业务标准化技术委员会(SAC/TC83)提出并归口。
本标准起草单位：中国标准化研究院、中国标准科技集团有限公司、河南省标准化研究院、泉州市标 准化研究所、泉州市标准化协会、东莞馨怡电子商务有限公司、东营市黄河三角洲标准技术服务中心、青 岛市标准化研究院、淘宝（中国）软件有限公司、国家应用软件产品质量监督检验中心。
本标准主要起草人：隋媛、刘颖、邵杰、孙兆洋、董连续、程越、王志民、曹新九、李波、林志杰、许春树、 龚素馨、耿健超、翟越、高璐、丁晓、吴凡杰、杨军、王威、郭澍。
GB/T 32702-2016 电子商务交易产品信息描述图书 1范围 本标准规定了电子商务交易中图书类产品信息的描述属性、方法、模型、摘要描述以及扩展方法。
本标准适用于电子商务中图书类产品信息的采集、发布、交换、存储和管理等。
2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件。
GB/T788图书和杂志开本及其幅面尺寸 GB/T2260中华人民共和国行政区划代码 GB/T2659世界各国和地区名称代码 GB/T3860文献主题标引规则 GB/T4880.1语种名称代码第1部分：2字母代码 GB/T4880.2语种名称代码第2部分：3字母代码 GB/T5795中国标准书号 GB/T7408数据元和交换格式信息交换日期和时间表示法 GB/T12406表示货币和资金的代码 GB/T17295国际贸易计量单位代码 ISO/IEC19501：2005信息技术开放分布式处理统一建模语言（UML）版本1.4.2 (Information technology-Open distributed processing-Unified Modeling Language version 1.4.2) ISO24156-1：2014术语工作与UML关系中概念模型的图形符号第1部分：术语工作中使用 统一建模语言符号的指南（Graphic notations for concept modelling in terminology work and its rela- tionship with UML-Part 1:Guidelines for using UML notation in terminology work) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。
3.1 电子商务electronic merce 以电子形式进行的商务活动。
注：经济活动主体之间利用现代信息技术和网络技术（含互联网、移动网络和其他信息网络）开展商务活动，实现网 上接洽、签约、支付等关键商务活动环节的部分或全部电子化，包括货物交易、服务交易和知识产权交易等。
3.2 实体entity 任何现存、曾经存在的或可能存在的具体的或抽象的事物，包括事物间的关联。
示例：一个人、对象（物体）、事件、观念、过程等。
注：实体的存在不依赖于是否有关于它的可用数据。
[GB/T 18391.1-2009，定义3.2.10]
[GB/T 18391.1-2009，定义3.1.1] 3.4 信息元素informationelement 信息的基本单元。
注1：与UML术语中的属性同义。
注2：信息元素在信息实体中是唯一的。
3.5 信息实体informationentity 一组说明数据相同特性的信息元素。
注1：与UML术语中的类同义。
注2：可以包含一个或一个以上信息实体。
3.6 图书book 用文字或图画、符号记录知识于纸张等载体，并具有相当篇幅的非连续性。
[GB/T 27936-2011,定义5.1] 4信息描述属性 4.1基本属性 本标准使用表1中所示的九个属性对图书类产品信息实体和信息元素进行描述。
表1中： 描述属性：描述信息实体和信息元素的属性。
要求：描述信息实体和信息元素的该属性是必备属性还是可选属性。
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GB/T 32674-2016 网络拍卖规程.pdf
ICS03.080.99 A10 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32674-2016 网络拍卖规程 Code of practice for online auction 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32674-2016 目 次 前言 I 1范围1 2规范性引用文件 3术语和定义 .1 4基本原则 1 5基本要求2 6网络拍卖公告与展示 3 7网络拍卖的实施 3 8网络拍卖档案 *4 附录A(规范性附录)电子成交确认书6 附录B(规范性附录)电子拍卖笔录7 GB/T32674-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由中华人民共和国商务部提出. 本标准由全国拍卖标准化技术委员会(SAC/TC366)归口. 本标准起草单位：中国拍卖行业协会、上海市拍卖行业协会、广东省拍卖业协会、北京市盛峰律师事 务所、中国科学院计算机网络信息中心、天津市拍卖总行有限公司、浙江新中大拍卖有限公司、北京嘉德 在线拍卖有限公司、大连华信计算机技术股份有限公司、易拍全球（北京）科贸有限公司、上海赵涌电子 商务服务有限公司. 本标准主要起草人：刘燕、于国富、陆春阳、崔海乐、张立. I ...
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GB/T 32670-2016 电子商务交易产品信息描述 服装.pdf
ICS 35.240.60 A 10 中华人民共和国国家标准 GB/T32670-2016 电子商务 交易产品信息描述 服装 Information description of product for electronic merce transaction-Clothing 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会
本标准由全国电子业务标准化技术委员会(SAC/TC83)提出并归口。
本标准起草单位：清华大学、广州唯品会信息科技 有限公司、中国标准化研究院、青岛市标准化研究 院、常熟服装城集团有限公司、厦门嘉晟集团、厦门英诺尔信息科技有限公司、义乌市金隆义境通供应链 服务有限公司、深圳市坤鑫国际货运代理有限公司、泉州市乐购网络科技有限公司、泉州市众科技术咨 询有限公司。
本标准主要起草人：刘颖、柴跃廷、孙宏波、沈亚、洪晓波、孙兆洋、隋媛、林清山、程越、王志民、曹新九、 高璐、陈美华、潘晓晗、李冬敏、翟越、许静、林金华、金旭峰、姚树红。
GB/T32670-2016 电子商务交易产品信息描述服装 1范围 本标准规定了电子商务交易中服装类产品信息描述属性、方法、模型、摘要描述以及扩展方法。
本标准适用于电子商务交易中服装类产品信息的采集、发布、交换、存储和管理等。
2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。
GB/T1335.1服装号型男子 GB/T1335.2服装号型女子 GB/T1335.3服装号型儿童 GB/T2260中华人民共和国行政区划代码 GB/T2659世界各国和地区名称代码 GB/T6411针织内衣规格尺寸系列 GB/T7408数据元和交换格式信息交换日期和时间表示法 GB/T8685纺织品维护标签规范符号法 GB11714全国组织机构代码编制规则 GB/T15557-2008服装术语 GB/T17295国际贸易计量单位代码 GB/T18391.1一2009信息技术元数据注册系统（MDR）第1部分：框架 GB18401国家纺织产品基本安全技术规范 GB/T23560-2009服装分类代码 FZ/T01053纺织品纤维含量的标识 FZ/T73013-2004针织泳装 FZ/T80004服装成品出厂检验规则 GS15工商行政管理市场主体注册号编制规则 QB/T2262皮革工业术语 ISO/IEC19501：2005信息技术开放分布式处理统一建模语言（UML）版本1.4.2 (Information technology-Open distributed processing-Unified Modeling Language version 1.4.2) ISO/TR24156：2008术语工作中使用统一建模语言符号的指南（GuidelinesforusingUMLno- tation in teminology work) RFC1738统一资源定位器（UniformResourceLocators） 3术语和定义 GB/T15557-2008、GB/T18391.1-2009中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
GB/T32670-2016 3.1 电子商务electronicmerce 以电子形式进行的商务活动。
注：经济活动主体之间利用现代信息技术和网络技术（含互联网、移动网络和其他信息网络）开展商务活动，实现网 上接洽、签约、支付等关键商务活动环节的部分或全部电子化，包括货物交易、服务交易和知识产权交易等。
3.2 实体entity 任何现存、曾经存在的或可能存在的具体的或抽象的事物，包括事物间的关联。
示例：一个人、对象（物体）、事件、观念、过程等。
注：实体的存在不依赖于是否有关于它的可用数据。
[GB/T18391.1-2009，定义3.2.10] 3.3 属性attribute 一个对象或实体的特性。
[GB/T18391.1-2009,定义3.1.1] 3.4 信息元素information element 信息的基本单元。
注1：与UML术语中的属性同义。
注2：信息元素在信息实体中是唯一的。
3.5 信息实体informationentity 一组说明数据相同特性的信息元素。
注1：与UML术语中的类同义， 注2：可以包含一个或一个以上信息实体。
3.6 服装clothing;clothes；apparel;gar...
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GB/T 32658-2016 业余无线电设备射频技术要求及测试方法.pdf
ICS33.060.20 M36 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32658—2016 业余无线电 设备射频技术要求及测试方法 RF technical requirements and test methods for amateur radio equipment 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32658-2016 目 次 前言 I 1范围 .1 2规范性引用文件 1 3术语、定义、缩略语和符号 1 3.1术语和定义 1 3.2缩略语 .2 3.3符号 2 4常规技术要求 2 4.1工作环境要求 2 4.2工作频段要求 2 4.3测试频率的选取 2 4.4设备供电要求 .3 4.5天线一体化设备 3 4.6匹配负载 3 4.7发射机自动关断装置 3 4.8发射机输人音频信号的配置 3 4.9发射机输入测试信号特性 4 4.10接收机输入测试信号特性 4 4.11杂散发射测试的分辨率带宽 4 4.12杂散发射测试的免测频段 5 5射频技术要求及测试方法 5 5.1测试框图 5 5.2发射机最大输出功率 5 5.3杂散发射 *6 5.4接收机抗扰度 7 6标志和使用说明书 9 6.1编写要求 9 6.2标志 .9 6.3使用说明书 9 附录A(规范性附录)测试场地与辐射测试的场地布置指南10 附录B(规范性附录)辐射杂散通用测试方法 12 参考文献 14 GB/T32658-2016 业余无线电设备射频技术要求及测试方法 1范围 本标准规定了业余无线电设备的主要射频技术参数、限值要求、测量方法和标志、使用说明书等 内容. 本标准适用于业余无线电设备. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB5296.1消费品使用说明总则 GB9254信息技术设备的无线电骚扰限值和测量方法 3术语、定义、缩略语和符号 3.1术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 3.1.1 标准信纳比standard SINAD 试验负载上信号、噪声、失真三者的功率之和与噪声、失真二者的功率之和的比值，见式(1). SINAD=10log SND ND (1) 式中： SINAD一信纳比，单位为分贝(dB); S —一标准试验调制产生的有用音频信号的功率，单位为毫瓦(mW); N—标准试验调制下的噪声的功率，单位为毫瓦(mW); D一标准试验调制下的失真的功率，单位为毫瓦(mW). 3.1.2 业余无线电设备amateur radio equipment 被许可进行业余业务的无线电设备. 3.1.3 业余业务amateur service 供业余无线电爱好者进行自我训练、相互通信 和技术研究的无线电通信业务.业余无线电爱好者 是指经正式批准的、对无线...
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GB/T 32656-2016 日历及日程数据格式.pdf
ICS35.040 L63 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32656-2016 日历及日程数据格式 Data format of the calendar and schedule 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32656—2016 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义、缩略语1 4日历及日程安排结构 1 5元素的属性类型2 6日历及日程安排的预定义元素4 7目标预定义元素 10 8活动模板预定义元素 11 附录A(规范性附录)日历及日程安排文件结构划分及元素分类13 附录B(资料性附录)示例文件14 附录C(规范性附录)重复规则定义19 参考文献 .21 I GB/T32656—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本标准起草单位：镇江金钛软件有限公司、中国电子技术标准化研究院、江苏中通洋软件服务有限 公司、句容智恒安全设备有限公司、江苏达嘉软件科技有限公司、南京欢迎科技产品有限公司、东莞市爱 微马信息科技有限公司、华南理工大学. 本标准主要起草人：丁力、葛加苗、黄木龙、杜春辉、高健、赖汉明、徐浩、张宇、郭炜强. ...
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GB/T 32655-2016 植物生长用LED光照 术语和定义.pdf
ICS65.020.99 B04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32655—2016 植物 生长用LED光照术语和定义 LED lighting for plant growth-Terms and definitions 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32655-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009和GB/T20001.1一2001给出的规则起草. 本标准由中华人民共和国科学技术部提出并归口. 本标准起草单位：北京半导体照明科技促进中心（半导体照明联合创新国家重点实验室）、杭州杭科 光电股份有限公司、常州市武进区半导体照明应用技术研究院、南京农业大学、杭州汉徽光电科技有限 公司、中国科学院半导体研究所、中国农业科学院农业环境与可持续发展研究所、厦门华联电子有限公 司、上海亚明照明有限公司、无锡华兆泓光电科技有限公司、飞利浦（中国）投资有限公司、北京大学东莞 光电研究院、杭州远方光电信息股份有限公司. 本标准主要起草人：阮军、陈哲良、高伟、徐志刚、李许可、宋昌斌、刘文科、王阳夏、朱华荣、常保延、 戴剑锋、丁晓民、李倩、徐圆圆. I GB/T32655-2016 植物生长用LED光照术语和定义 1范围 本标准规定了与植物生长用LED光照相关的术语和定义.本标准适用于采用LED光源的植物光 照领域中，编写各类标准和撰写有关技术文件. 2术语和定义 2.1光照 2.1.1 自然光natural light 由自然界产生的光辐射，通常指太阳光. 2.1.2 人工光artificial light 由人工制造的装置产生的光辐射，如LED光源产生的光辐射. 2.1.3 单色辐射monochromatic radiation 用单一频率表征的辐射.实际上，是用确定的单一频率来表述很小频率范围的辐射. 注：空气中或真空中的波长也可以用来表征单色辐射. [GB/T2900.65—2004 定义845-01-07] 2.1.4 光谱 （辐射的）spectrum(of a radiation) 所考虑辐射的单色成分的展示或陈述. 注1：有线光谱、连续光谱和具有两种特征的光谱. 注2：该术语也用于表示光谱效能（激发光谱、作用光谱）. [GB/T2900.65一2004，定义845-01-08] 2.1.5 波长wavelength 在周期波的传播方向上，相位相同的相邻两点间的距离. 单位为：纳米(nm). 注1：媒质中波长等于真空中波长除以媒质的折射率.除另有说明外，波长值通常是在空气中的值.标准空气（对 于光谱学：t=15℃，p=101.325Pa)对可见辐射的折射率在1.00027~1.00029之间. 注2：入=/v 式中入是媒质中的波长；u是在该媒质中的相速度；v是频率. 2.1.6 波数wave number 0 波长的倒数. 单位为：米的倒数(m-). 1 ...
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GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料.pdf
ICS31.030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英 料 Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32652-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中 腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬. I GB/T32652—2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 1范围 本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运 输和贮存. 本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 GB/T8946塑料编织袋通用技术要求 JC/T2027一2010高纯石英中杂质含量的测定方法——电感耦合等离子体原子发射光谱法 SJ/T10380一2012工业用酸洗石英砂 3产品分类 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料. 4技术要求 4.1外观 熔融石英块料外观应为无色透明或半透明，无异色点. 4.2灼烧失量 熔融石英料灼烧失量应小于0.05%. 4.3粒度 熔融石英块料应大于或等于830μm;粒径小于830μm的为熔融石英砂料. 4.4二氧化硅含量 二氧化硅含量应不低于99.95%. 4.5杂质元素含量 杂质元素总含量应小于80μg/g 各杂质元素的含量应符合表1的规定. 1 ...
资源链接 请先登录（扫码可直接登录、免注册）点此一键登录 ①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉，请及时联系我方进行处理（联系方式详见页脚）。
GB/T 32651-2016 采用高质量分辨率辉光放电质谱法测量太阳能级硅中痕量元素的测试方法.pdf
H82 ICS 29.045
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。
本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口。
本标准主要起草单位：国家太阳能光伏产品质量监督检验中心(无锡市产品质量监督检验中心)、江 苏中能硅业科技发展有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、江西赛维LDK太阳能高科 技有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人：何莉、吴建国、王琴、周滢、刘晓霞、鲁文锋、陈进、封丽娟、李建德、黄雪雯、 孙绍武、冯亚彬、裴会川。
GB/T 32651-2016
本标准适用于太阳能级硅材料中痕量元素的测定，其中铁(Fe)、铬(Cr)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌(Zn)、 硼(B)、磷(P)、钙(Ca)、钠(Na)、镁(Mg)、铝(AI)、砷(As)、杭(Sc)、钛(Ti)、钒（V)、锰(Mn)、钴(Co）、 (Ga)等元素的测定范围为5μg/kg～50mg/kg。
本方法适用于分析多种物理形态的以及添加任何种类 和浓度掺杂剂的硅材料，例如多晶硅粉末、颗粒、块、锭、片和单晶硅棒、块、片等。
2规范性引用文件
凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。
凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。
GB/T4842氩 GB/T6682一2008分析实验室用水规格和试验方法
3.1 高质量分辨率high mass resolution 大于3500的质量分辨率。
3.2
3.3 标准样品referencematerial 具有一种或多种足够均匀且稳定规定特性的材料，已被确定其符合测量过程的预期用途。
3.4 试样specimen 从标准样品或测试样品上切割下来的，尺寸大小适合装载到高分辨率辉光放电质谱仪离子源中进 行分析的测试对象。
GB/T32651-2016
在每一待测元素 选择的同位素质量数处以预设的仪器工作参数（例如：扫描点数和积分时间)对相应谱峰积分，所得面积 即为谱峰强度。
进行半定量分析时，控制仪器操作的计算机根据仪器软件中的“典型相对灵敏度因子” 自动计算出各元素的质量分数；进行定量分析时，通过在与被测试样相同的分析条件、离子源结构以及 测试条件下对标准样品进行独立测定获得相对灵敏度因子，应用该相对灵敏度因子计算出各元素的质 量分数。
5试剂和材料 5.1去离子水：符合GB/T6682一2008规定的实验室用二级水。
5.2硝酸：o=1.42g/mL，光谱纯。
5.3氢氟酸：p=1.14g/mL，光谱纯。
5.4异丙醇：o=0.784g/mL～0.786g/mL，光谱纯。
5.5硝酸溶液：1十9。
5.6氢氟酸溶液：1十4。
5.7氩气：符合GB/T4842的要求，并且等离子体工作用氢气的纯度（体积分数）应大于或等于 99.999%，吹扫用氩气的纯度（体积分数）应大于或等于99.99%。
5.8氮气：纯度（体积分数）大于或等于99.99%。
测器线性动态范围内的稳定信号，用于在相同分析中使用不同的离子收集器测量离子流的情况下检定 高分辨率辉光放电质谱仪检测系统的离子计数效率。
5.10质量校正标准样品：已知化学成分的黄铜合金材料，用于对辉光放电质谱仪进行精确质量校正。
5.11硅标准样品：可以量值溯源的均质的纯硅材料或其他硅基材料（例如各种硅化物），用于获得各种 被测元素的高质量分辨率辉光放电质谱法相对灵敏度因子。
5.12控制样品：已知被测元素含量且与试样具有相同的规格和结构...
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GB/T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素.pdf
ICS31.030 L90 E 中华人民共和国国家标准 GB/T32650-2016 电感 耦合等离子 质谱法检测石英砂中 痕量元素 Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS) 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32650—2016 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、东海县 产品质量监督检验所、江苏太平洋石英股份有限公司. 本标准主要起草人：李运强、薄雷明、冯亚彬、管琪、许振午、武为民、周文梅. I GB/T32650—2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中 痕量元素 警告—使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验.本标准并未指出可能的安全问 题.使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件. 1范围 本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素的测定方法. 本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定.其他元 素含量的测定可参照本标准执行. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3方法原理 试样用氢氟酸消解，在硝酸介质中进行电感耦合等离子质谱仪 测定.电感耦合等离子质谱仪由离 子源和质谱仪两个部分构成.试样溶液经过雾化由载气送人离子源炬焰中，经过蒸发、解离、原子化、电 离等过程，转化为带正电荷的离子，经过采集系统进人质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离.对于一定 的质荷比，质谱积分面积与进入质谱仪中的离子数成正比.试样的浓度与质谱积分面积成正比，通过与 标准系列比较定量. 4干扰因素 4.1在试验过程中通常存在双原子离子、多原离子、基体效应、背景噪音、元素间的干扰、交叉污染和仪 器漂移等因素的影响. 4.2取样、制样及分析过程中试剂的纯度、设备的洁净度和操作过程中引入的污染也会影响测试结果. 5试剂和材料 5.1超纯水：符合GB/T6682中实验室用水一级规格，同时电阻率大于18M0cm. 5.2氢氟酸：质量分数为40%，M0S级高纯试剂. 5.3硝酸：质量分数为65%，M0S级高纯试剂. 5.4硝酸溶液(298)：取20mL硝酸，慢慢加人980mL超纯水中. 5.5铝、钙、铁、钠、钾、钛、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钪元素标准储备溶液：质量浓度分别为1000μg/mL. 1 ...
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GB/T 32649-2016 光伏用高纯石英砂.pdf
ICS31.030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32649-—2016 光伏 用高纯石英砂 High purity arenaceous quartz used in photovoltaic applications 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32649-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、中国建 材检验认证集团股份有限公司、连云港福东正佑照明电器有限公司、江苏太平洋石英股份有限公司、中 国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：薄雷明、栾振祥、程尚栩、许振午、王京侠、陶明顿、武卫民、管琪、冯亚彬. I GB/T32649-2016 光伏用高纯石英砂 1范围 本标准规定了光伏用高纯石英砂的技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存. 本标准适用于光伏用高纯石英砂，产品用于多晶硅、单晶硅光伏生产用的扩散管、承载器及电弧法 坩埚等石英制品. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法 SJ3228.7高纯石英砂中铬的测定 SJ/T10380工业用酸洗石英砂 3技术要求 3.1外观 光伏用高纯石英砂应为具有一定透明度的白色颗粒，无异色. 3.2粒度 光伏用高纯石英砂的粒径应在70μm~350μm范围内，且在该粒径范围的累积质量分数应大于或 等于90%.粒径小于100μm或大于300um的累积质量分数均应小于1%. 3.3二氧化硅含量 光伏用高纯石英砂中二氧化硅含量应大于或等于99.99%，灼烧失量应小于或等于0.01%. 3.4杂质元素含量 光伏用高纯石英砂杂质元素总含量应小于或等于25μg/g 其中钾、锂、钠含量总和小于2.5μg/g 各杂质元索含量应符合表1的规定. 表1各杂质元素含量 单位为微克每克 杂质元素 允许含量 铝(A1) <20 钙(Ca) <1 铁(Fe) <0.5 钠(Na) <1 1 ...
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GB/T 32648-2016 平板显示器基板玻璃包装箱装运规范.pdf
ICS31-030 L90 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T32648-2016 平板显示器基板玻璃包装箱装运规范 Specification for flat panel display glass substrates shipment 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32648—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：黄宁歌、李霜、杨万来、王香、裴会川. I GB/T32648-2016 平板显示器基板玻璃包装箱装运规范 1范围 本标准规定了平板显示器基板玻璃的包装箱装运要求. 本标准适用于平板显示器基板玻璃包装箱的装载和运输. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T32646一2016平板显示器基板玻璃包装规范 3术语和定义 GB/T32646一2016界定的术语和定义适用于本文件. 4要求 4.1包装箱的分类 包装箱包括以下两种： a)隔离型(PP箱)； b)密集型(A型架). 4.2包装箱的装载和卸载 应采用规定方式将基板玻璃包装箱装载和卸载.由于装卸方向具有一定的高度，垂直装卸需要有 适当高度的装货机或卸货机. 4.3包装箱的搬运和起吊方法 4.3.1PP箱 单个PP箱可由人工搬运，多个PP箱组合应由叉车起吊或机械搬运. 4.3.2A型架 A型架由叉车起吊或机械搬运.A型架装卸时，应慢、稳，叉车行驶速度不超过5km/h. 4.4装运车 4.4.1LCD/OLED基板玻璃采用带气垫的减震厢式货车运输.货车应配备振动加速度测定仪，对运 输过程颠簸状况进行全程记录，以便根据情况对运输线路进行调整. 1 ...
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GB/T 32647-2016 平板显示器基板玻璃规范.pdf
ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32647-2016 平板显示器基板玻璃规范 Specification for flat panel display glass substrates 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32647-2016 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4技术要求 4.1外形尺寸 1 4.2外观缺陷 2 4.3理化性能 了 5试验方法 4 5.1外形尺寸 4 5.2厚度、厚度偏差、厚度变化量 5.3 翘曲度 4 5.4 挠度 4 5.5 波纹度 4 5.6 表面粗糙度 .4 5.7边缘形状及切角 4 5.8内部缺陷、划伤及裂纹 4 5.9边缘缺陷 5 6检验规则 5 6.1检验分类 5 6.2检验项目 .5 6.3组批 .6 6.4型式检验条件 6 6.5抽样方案和判定规则 6 7标志、合格证和产品说明书 6 7.1标志、合格证 .6 7.2产品说明书 6 8包装、运输和储存 8.1包装 6 8.2运输 6 8.3储存 7 附录A(规范性附录)平板显示器基板玻璃波纹度的测量方法 8 附录B(规范性附录)平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法11 I GB/T32647-2016 平板显示器基板玻璃规范 1范围 本标准规定了平板显示器用基板玻璃的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包 装、运输和储存. 本标准适用于平板显示器用基板玻璃. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样 计划 GB/T32639一2016平板显示器基板玻璃术语 GB/T32645一2016平板显示器基板玻璃边缘条件规范 GB/T32646一2016平板显示器基板玻璃包装规范 3术语和定义 GB/T32639一2016界定的术语和定义适用于本文件. 4技术要求 4.1外形尺寸 4.1.1长宽尺寸 长宽尺寸偏差按照GB/T32645一2016中表1的规定. 4.1.2厚度偏差 LCD基板玻璃：士10%，PDP基板玻璃：士0.025mm. 4.1.3厚度变化量 厚度为0.7mm、0.63mm、0.5mm、0.4mm、0.3mm的LCD基板玻璃厚度变化量应符合表1的规 定.PDP基板玻璃厚度变化量：2311mm范围内小于或等于0.03mm. 1 ...
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GB/T 32646-2016 平板显示器用基板玻璃包装规范.pdf
ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32646-2016 平板显示器用基板玻璃包装规范 Specification for flat panel display glass substrates packaging 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32646-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：东旭集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、芜湖东旭光电科技有限公 司、石家庄旭新光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司. 本标准主要起草人：李兆廷、李青、王香、韦泽光、裴会川. I GB/T32646-2016 平板显示器用基板玻璃包装规范 1范围 本标准规定了平板显示器用基板玻璃的包装术语和包装要求. 本标准适用于可以装载一定数量平板显示器用基板玻璃的包装. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T32639一2016平板显示器基板玻璃术语 3术语和定义 GB/T32639一2016界定的术语和定义适用于本文件. 4要求 4.1包装箱要求 4.1.1包装的分类 包装的分类包括以下两种： a)隔离型(PP箱)； b)密集型(A型架). 4.1.2容量要求 4.1.2.1PP箱 由供需双方协商确定箱体容量. 4.1.2.2A型架 属于密集型包装，包装数量由供需双方协商. 4.1.3材料要求 4.1.3.1在生产厂家和用户双方同意的基础上，包装箱可以是一件或多件的模制件或机械制件. 4.1.3.2PP箱：采用聚丙烯材料制成的模制件. 4.1.3.3A型架：采用钢材、橡胶、PVC等机械制件组成，耐高压空气吹扫. 4.1.4强度要求 4.1.4.1包装箱应坚固到足以承受规定装载数量的基板玻璃，并能承受一定的外部冲击. 1 ...
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GB/T 32645-2016 平板显示器基板玻璃边缘条件规范.pdf
L90 ICS 31-030
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。
本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会（SAC/TC447)共同归口。
本标准主要起草单位：东旭集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、芜湖东旭光电科技有限公 司、石家庄旭新光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司。
本标准主要起草人：李青、李兆廷、王建强、李震、王香、裴会川。
GB/T 32645-2016
本标准适用于厚度为0.3mm～2.2mm的平板显示器基板玻璃。
2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。
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GB/T32639-2016平板显示器基板玻璃术语
4要求 4.1边缘 为了操作安全和减少粉尘，边缘都应进行处理。
每条边缘都应如图1或图2所示去角。
边缘 的其他有关参数参见表1。
图1去角边缘示意图
5试验方法 5.1试验环境条件 试验环境温度为25℃士5C。
5.2长宽尺寸 5.2.1仪器设备 测试仪器应满足以下要求： a）平台； b）游标卡尺、测长仪，精度0.02mm。
5.2.2测试步骤 5.2.2.1测量前，测试仪器需校零。
5.2.2.2将待测基板玻璃样品水平放置在平台上，使用测长仪分别测量长度尺寸。
5.2.2.3取与标准值偏差最大的值作为长边或短边的尺寸最终读数。
5.3直角度 5.3.1仪器设备 直角度测试仪器应满足以下要求： a)）百分表，精度0.01mm； 2
5.3.2测试步骤 5.3.2.1手动测试方式 取边缘完好的待测基板玻璃样品，将样品的一边轻轻放置到测试仪的水平支柱上，并确保样品无变 形的紧靠在测试仪支撑台面上。
水平方向轻轻移动基板玻璃，确保样品的侧边无变形的紧靠测试仪垂 直支柱，通过百分表读取相应数值，并换算为直角度。
5.3.2.2自动测试方式 采用测试仪或自动测量仪按照仪器操作规范进行测量。
5.4边缘形状 5.4.1仪器设备 边缘形状测试仪器应满足以下要求： a）读数放大镜：×10； b）自动测量仪：精度0.1mm。
5.4.2测试步骤 5.4.2.1将待测基板玻璃样品水平放置在平台上，将待测部位拉出平台放置。
5.4.2.2将读数放大镜的刻度十字线与样品的一个垂直边线对齐，读取数值。
5.5切角 5.5.1仪器设备 读数放大镜：×10。
5.5.2测试步骤 5.5.2.1将待测基板玻璃样品水平放置在平台上，将待测部位拉出平台放置。
5.5.2.2将读数放大镜的刻度十字线与基板玻璃的两个相互垂直边线对齐，读取α、6数值。
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GB/T 32644-2016 平板显示器基板玻璃化学耐久性的试验方法.pdf
ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32644-2016 平板显示器基板玻璃化学耐久性的 试验方法 Test method for chemical durability of flat panel display glass substrates 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 中华人民共和国 国家标准 平板显示器基板玻璃化学耐久性的 试验方法 GB/T32644—2016 关 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址 spc.net.cn 总编室：(010)68533533发行中心：(010)51780238 读者服务部：(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880×12301/16印张0.5字数7千字 2016年5月第一版2016年5月第一次印刷 书号：1550661-50106定价14.00元 如有印装差错由本社发行中心调换 ：(010)68510107 GB/T32644-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：东旭集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、芜湖东旭光电科技有限公 司、石家庄旭新光电科技有限公司、郑州旭飞光电科技有限公司. 本标准主要起草人：李兆廷、李青、王建强、王香、裴会川. I ...
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GB/T 32643-2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法.pdf
ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32643-2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 Flat panel displays glass substrates surface waviness measurement method 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32643-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：黄宁歌、裴会川、王香、李霜、杨万来. I GB/T32643—2016 平板显示器基板玻璃表面波纹度的 测量方法 1范围 本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面波纹度的测量方法. 本标准适用于测量平板显示器用基板玻璃的表面波纹度. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T32642一2016平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法 3术语和定义 GB/T32642一2016界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 2CR滤波器2 CR filter 时间常数相等的2组R-C回路串联连接的滤波器.在截止波长下的标准传输率是75%. 3.2 高斯滤波器Gaussian phase correct filter 将高斯分布作为权函数，将截面曲线中演算积分后的曲线规定为相位补偿滤波纹度曲线，在截止波 长下的传输率是50%. 3.3 预行程（和后行程）pre-travel(and post-travel) Lo 为避免由于截止滤光器的瞬态反应而引起的剖面图失真，从示踪长度上减除的部分. 注：建议在示踪长度开始阶段和没有后行程的情况下，用2CR滤波器的预行程应为截止长波长L的2倍；建议在 使用相位校正滤波器时，预行程和后行程都应该与截止长波长入相同. 3.4 测定长度evaluation length L. 一种扣除预行程和后行程后的迹线长度.测量样品的长度应包含波纹度的剖面曲线长度. 3.5 截止长波长long wavelength cut-ofr AL 排除自然因素，当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后，振幅衰减率成为 75%时的波长. 1 ...
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GB/T 32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法.pdf
ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度 的 测量方法 Flat panel displays glass substrate surface roughness measurement method 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32642-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：黄宁歌、王香、裴会川、李霜、杨万来、张春鹏. I GB/T32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的 测量方法 1范围 本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法. 本标准适用于平板显示器用基板玻璃表面粗糙度的测量. 2术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 2.1 触针式表面粗糙度测量仪stylus surface roughness measuring instrument 探针在被测面的一部分上沿轮廓滑行，放大地记录下表面的不平整性并指明放大曲线的振幅是表 面粗糙度数值范围的仪器. 2.2 截止长波长long wavelength cut-off 排除自然因素，当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后，振幅衰减率成为 75%时的波长. 2.3 真实剖面曲线图real profile 目标物体表面与垂直于该表面的一个平面的交叉线（参见图1）. z 粗糙度 (R) 0 图1剖面曲线 2.4 截止短波长short wavelength cut-off 入s 示踪剖面曲线通过滤除粗糙度因素影响的低通波长滤波器后，其波幅衰减率成为标准值75%时的 波长. 1 ...
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