ICS31.030 L90 E 中华人民共和国国家标准 GB/T32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中 痕量元素 Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS) 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32650—2016 前 言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本标准起草单位：国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、东海县 产品质量监督检验所、江苏太平洋石英股份有限公司. 本标准主要起草人：李运强、薄雷明、冯亚彬、管琪、许振午、武为民、周文梅. I GB/T32650—2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中 痕量元素 警告—使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验.本标准并未指出可能的安全问 题.使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件. 1范围 本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素的测定方法. 本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定.其他元 素含量的测定可参照本标准执行. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T25915.1洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3方法原理 试样用氢氟酸消解，在硝酸介质中进行电感耦合等离子质谱仪测定.电感耦合等离子质谱仪由离 子源和质谱仪两个部分构成.试样溶液经过雾化由载气送人离子源炬焰中，经过蒸发、解离、原子化、电 离等过程，转化为带正电荷的离子，经过采集系统进人质谱仪，质谱仪根据质荷比进行分离.对于一定 的质荷比，质谱积分面积与进入质谱仪中的离子数成正比.试样的浓度与质谱积分面积成正比，通过与 标准系列比较定量. 4干扰因素 4.1在试验过程中通常存在双原子离子、多原离子、基体效应、背景噪音、元素间的干扰、交叉污染和仪 器漂移等因素的影响. 4.2取样、制样及分析过程中试剂的纯度、设备的洁净度和操作过程中引入的污染也会影响测试结果. 5试剂和材料 5.1超纯水：符合GB/T6682中实验室用水一级规格，同时电阻率大于18M0cm. 5.2氢氟酸：质量分数为40%，M0S级高纯试剂. 5.3硝酸：质量分数为65%，M0S级高纯试剂. 5.4硝酸溶液(298)：取20mL硝酸，慢慢加人980mL超纯水中. 5.5铝、钙、铁、钠、钾、钛、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钪元素标准储备溶液：质量浓度分别为1000μg/mL. 1 ...
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