ICS31-030 L90 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的 测量方法 Flat panel displays glass substrate surface roughness measurement method 2016-04-25发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32642-2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国工业玻璃和特种玻璃标 准化技术委员会(SAC/TC447)共同归口. 本标准主要起草单位：彩虹集团公司、中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：黄宁歌、王香、裴会川、李霜、杨万来、张春鹏. I GB/T32642-2016 平板显示器基板玻璃表面粗糙度的 测量方法 1范围 本标准规定了使用触针式表面粗糙度测量仪测量平板显示器基板玻璃表面粗糙度的测量方法. 本标准适用于平板显示器用基板玻璃表面粗糙度的测量. 2术语和定义 下列术语和定义适用于本文件. 2.1 触针式表面粗糙度测量仪stylus surface roughness measuring instrument 探针在被测面的一部分上沿轮廓滑行，放大地记录下表面的不平整性并指明放大曲线的振幅是表 面粗糙度数值范围的仪器. 2.2 截止长波长long wavelength cut-off 排除自然因素，当示踪轮廓曲线通过消除波纹因素影响的高通波长滤波器后，振幅衰减率成为 75%时的波长. 2.3 真实剖面曲线图real profile 目标物体表面与垂直于该表面的一个平面的交叉线（参见图1）. z 粗糙度 (R) 0 图1剖面曲线 2.4 截止短波长short wavelength cut-off 入s 示踪剖面曲线通过滤除粗糙度因素影响的低通波长滤波器后，其波幅衰减率成为标准值75%时的 波长. 1 ...
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