首页 > 2023 > 8月 ( 第 70 页)

ICS35.060 L74 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32393—2015 信息技术工作流中间件 参考模型和接口功能要求 Information technology-Workflow middleware- Reference model and interface functional requirement 2015-12-31发布 2015-12-31实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32393—2015 目次 前言 I 1范围 1 2术语、定义和缩略语 1 3工作流中间件参考模型 3 3.1参考模型 3 3.2工作流执行服务器 3.3流程定义工具 6 4工作流中间件接口 4.1流程定义交换接口 6 4.2工作流客户端应用接口 8 4.3被调用应用接口 10 4.4工作流互操作接口 11 4.5管理和监控接口 15 附录A(资料性附录)状态转移 17 参考文献 18 GB/T32393—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准起草单位:中创软件商用中间件股份有限公司、中国电子技术标准化研究院、北京东方通科 技股份有限公司、山东浪潮齐鲁软件产业股份有限公司、华迪计算机集团有限公司、北京炎黄盈动科技 发展有限责任公司. 本标准主要起草人:何忠胜、陈志峰、李海波、李春青、邓鹏飞、王洁萍、王卫国、杨丽蕴、贾德星、 程勇、张燕生. I ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

L72 ICS 35.040
GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32392.4-2015
信息技术互操作性元模型框架(MFI) 第4部分:模型映射元模型 Information technology-Metamodelframeworkforinteroperability(MFI)-- Part 4:Metamodelfor model mapping
2015-12-31发布2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布 中国国家标准化管理委员会
中华人民共和国 国家标准 信息技术互操作性元模型框架(MFI) 第4部分:模型映射元模型 GB/T 32392.4-2015
中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址 总编室:(010)68533533发行中心:(010) 读者服务部:(010) 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880X12301/16印张1.5字数40千字 2016年2月第一版2016年2月第一次印刷 书号:-53007定价24.00元
如有印装差错由本社发行中心调换 :(010)
GB/T 32392.4-2015
目次
前言 引言 1范围 2规范性引用文件 3术语、定义和缩略语 3.1术语和定义 3.2本部分使用的通用术语 3.3缩略语 4模型映射元模型的结构 4.1模型映射元模型概述 4.2模型映射元模型所采用的定义格式 4.3模型映射元模型中的元类6 4.4交换模型的标准格式11 5符合性12 5.1符合性的程度12 5.2符合性的级别.13 5.3承诺...13 5.4实现符合性的声明13 5.5注册的角色和责任13 附录A(资料性附录)变换语言14 附录B(资料性附录)MFI注册系统和模型映射15 附录C(资料性附录)模型变换示例16 C.1示例1..16 C.2示例2.16 C.3示例3和示例416 C.4示例5和示例6..17 参考文献18
图1互操作性元模型框架中的包 图2MFI的模型映射包 图3变换合并(1)6 图4变换合并(2).10 图B.1MFI注册系统和模型映射的环境15 图C.1HL7和ebXML中的变换16 图C.2MDA中的变换......17 图C.3CWM和XSLT间的变换
GB/T 32392.4-2015
前言
GB/T32392《信息技术互操作性元模型框架(MFI)》包含以下几个部分: 第1部分:参考模型; 第2部分:核心模型; -第3部分:本体注册元模型; 第4部分:模型映射元模型; 第5部分:过程模型注册元模型(正在制定中); 第6部分:注册规程(正在制定中); 本部分为GB/T32392的第4部分。

本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。

本部分参考国际标准草案ISO/IECCD19763-4:2007版编制。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。

本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本部分由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口。

本部分起草单位:武汉大学软件工程国家重点实验室、中国电子技术标准化研究院。

本部分主要起草人:何克清、何扬帆、王、王健、王静。

GB/T32392.4-2015
引言
随着电子商务在因特网的广泛传播,跨国家和跨文化的业务贸易和其他相关信息交换已成为IT 业内外人士主要关注的问题。

他们致力于规范代表业务实践的领域特定业务过程模型和标准建模结 构,如每个业务领域的数据元素、实体轮廊和值域等。

企业越来越需要站在全球市场的角度设计和开发跨企业的电子商务和电子业务解决方案。

为了尽 可能减少满足这些互操作性需求的开销和时间,企业必须使用公共、标准的业务模型来设计自已的信息 系统。

为了开发行业内的公共模型,需要行业内各种利益相关方共同确定行业中公共的核心数据和部件。

而且,这些行业内的利益相关方应建立一种使用公共行业模型的方法,用于实现不同信息系统之间的互 操作。

V...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS35.040 L72 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32392.3-2015/ISO/IEC19763-3:2007 信息技术互操作性元模型框架(MFI) 第3部分:本体注册元模型 Information technology-Metamodel framework for interoperability(MFI)- Part 3:Metamodel for ontology registration (ISO/IEC19763-3:2007 IDT) 2015-12-31发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32392.3-2015/ISO/IEC19763-3:2007 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 1 2符合性 1 2.1概要1 2.2符合性的程度 .1 2.3实现符合性声明(ICS) 2 3规范性引用文件 2 4术语、定义和缩略语 2 4.1术语和定义 2 4.2缩略语 3 5本体注册元模型的结构 3 5.1本体注册元模型概述 3 5.2核心模型和本体注册元模型的关系 4 5.3本体注册元模型 5 附录A(资料性附录)基于本体注册元模型的本体注册示例9 附录B(资料性附录)继承管理_项的元类 15 附录C(资料性附录)本体_语言列表 16 参考文献 .17 图1本体注册元模型的范围 1 图2本体注册元模型 4 图3核心模型和本体注册元模型的关系5 图A.1参考_本体1中的句子示例 9 图A.2参考_本体1的注册信息10 图A.3参考_本体2中的句子示例11 图A.4参考_本体2的注册信息 12 图A.5本地_本体1中的句子示例13 图A.6本地_本体1的注册信息14 图B.1继承管理_项的元类 15 表C.1本体_语言列表16 I GB/T32392.3-2015/ISO/IEC19763-3:2007 前言 GB/T32392《信息技术互操作性元模型框架(MFI)》包含以下几个部分: —第1部分:参考模型; ——第2部分:核心模型; —第3部分:本体注册元模型; —第4部分:模型映射元模型; ——第5部分:模型构件元模型框架; ——第6部分:注册规程. 本部分为GB/T32392的第3部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分采用翻译法等同采用ISO/IEC19763-3:2007《信息技术互操作性元模型框架(MFI)第 3部分:本体注册元模型》(英文版). 与本部分中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下: —GB32392.1一2015信息技术互操作性元模型框架(MFI)第1部分:参考模型 (ISO/IEC19763-1:2007 IDT) 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本部分由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本部分起草单位:武汉大学软件工程国家重点...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS35.040 L72 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32392.1-2015/ISO/IEC19763-1:2007 信息技术互操作性元模型框架(MFI) 第1部分:参考模型 Information technology-Metamodel framework for interoperability (MFI)-Part 1:Reference model (ISO/IEC19763-1:2007 IDT) 2015-12-31发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国 国家标准 信息技术互操作性元模型框架(MF1) 第1部分:参考模型 GB/T32392.1-2015/ISO/IEC19763-1:2007 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号(100029) 北京市西城区三里河北街16号(100045) 网址 spc net.cn 总编室:(010)68533533发行中心:(010)51780238 读者服务部:(010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 开本880X12301/16印张1.5字数44千字 2016年2月第一版2016年2月第一次印刷 书号:1550661-53004定价24.00元 如有印装差错由本社发行中心调换 :(010)68510107 GB/T32392.1-2015/ISO/IEC19763-1:2007 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 .1 2符合性 1 3规范性引用文件 1 4术语、定义和缩略语 丰丰 1 4.1术语和定义 1 4.2缩略语 2 5元模型框架体系结构3 5.1GB/T32392的结构 3 5.2GB/T32392的目的 4 5.3除外 4 5.4应用区域 4 5.5元模型框架体系结构 6 5.6第2部分:核心模型 9 5.7第3部分:本体注册元模型 13 5.8第4部分:模型映射元模型14 5.9第5部分:模型构件元模型框架 15 附录NA(资料性附录)缩略语的补充 16 附录NB(资料性附录)编辑性修改内容17 参考文献 18 图1GB/T32392的总体结构 3 图2元模型框架的注册系统联邦 4 图3支持模型构件共享的元模型框架 5 图4基于元模型框架的注册系统联邦6 图5元模型框架体系结构 6 图6元模型框架体系结构和元层次总体结构 .7 图7元模型框架体系结构的结构8 图8MFI注册概念 9 图9MOF和MDR公共设施后继者的核心模型10 图10四象限注册模式的概念 图11MFI核心模型的高层视图 11 图12模型注册的模式11 图13概念...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32386-2015 电子工业用气体六氟化钨 Gases for electronic industry-Tungsten hexaflouride 2015-12-31发布 2016-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32386—2015 电子工业用气体六氟化钨 1范围 本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全. 本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨.该产品主要用于电子工业中金属钨化学 气相沉积工艺钨材料的制备等. 分子式:WF8. 分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算). 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB190危险货物包装标志 GB/T3723工业用化学产品采样安全通则 GB5099钢质无缝气瓶 GB/T5275.10气体分析动态体积法制备校准用混合气体第10部分:渗透法 GB7144气瓶颜色标志 GB14193液化气体气瓶充装规定 GB15258化学品安全标签编写规定 GB16804气瓶警示标签 GB/T26571特种气体储存期规范 GB/T28726气体分析氨离子化气相色谱法 TJ36-79工业企业设计卫生标准 气瓶安全监察规程(2000版) 危险化学品安全管理条例(2002版) 特种设备安全监察条例(2009版) 3技术要求 六氟化钨的技术指标应符合表1要求. 表1技术指标 项目名称 指标 六氟化钨(WF)纯度(体积分数)/10-2 99.9 99.999 99.9995 99.9999 四氟化碳(CF)含量(体积分数)/10- 10 0.5 0.5 0.1 氮(N2)含量(体积分数)/10- 50 1 0.5 0.1 1 GB/T32386—2015 表1(续) 项目名称 指标 (氧氩)(O2十Ar)含量(体积分数)/10- ≤ 50 0.5 0.5 0.1 二氧化碳(CO2)含量(体积分数)/10- 0.5 0.5 0.1 一氧化碳(C0)含量(体积分数)/10-6 ≤ 0.5 0.5 0.1 六氟化硫(SF:)含量(体积分数)/10-s 10 0.5 0.5 0.1 四氟化硅(SiF)含量(体积分数)/10- 10 0.5 0.5 0.1 氟化氢(HF)含量(体积分数)/10-6 ≤ 800 5 1 0.3 钼(Mo)含量/(pg/L) 100 10 10 铁(Fe)含量/(pg/L) 20 10 5 钾(K)含量/(μg/L) 5 5 5 钠(Na)含量/(g/L) 5 5 5 铬(Cr)含量/(pg/L) 10 10 5 (Th)含量/(pg/L) 0.1 0.1 0.1 (U)含量/(μg/L) 0.05 0.05 0.05 钴(Co)含量/(ug/L) 10 10 5 锰(Mn)含量/(μg/L) 10 10 5 铅(Pb)含量/(pg/L) 10 10 锌(Zn)含量/(pg/L) 10 10 5 金属元素含量 钙(Ca)含量/(ug/L) 5 5 5 镁(Mg)含量/八(pg/L) 10 10 5 镍(Ni)含量/(μg/L) 20 20 10 铜(Cu)含量/(g/L) 5 5 5 铝(AI)含量/(μg/L) 10 10 5 神(As)含量/(μg/L) 10 10 5 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS33.180.10 M33 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32385.1-2015 光纤预制棒第1部分:总规范 Optical fibre perform-Part 1:Generic specification 2015-12-31发布 2016-04-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32385.1-2015 前 言 GB/T32385《光纤预制棒》分为以下部分: 一第1部分:总规范; —第2部分:A1类产品规范; —第3部分:A2类产品规范; —第4部分:B1类产品规范; —第5部分:B2类产品规范; —第6部分:B4类产品规范; —第7部分:B5类产品规范; —第8部分:B6类产品规范; —第9部分:C类产品规范; . 本部分为GB/T32385的第1部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出. 本部分由工业和信息化部电子工业标准化研究院归口. 本部分起草单位:江苏法尔胜光子有限公司、长飞光纤光缆有限公司、烽火通信科技股份有限公司、 富通集团有限公司、江苏亨通光纤科技有限公司. 本部分主要起草人:梁乐天、张颖、王瑞春、李婧、陈伟、卢卫民、马建强. I GB/T32385.1-2015 光纤预制棒第1部分:总规范 1范围 GB/T32385的本部分规定了光纤预制棒的分类、一般要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输 和储存等. 本部分适用于通信用石英玻璃光纤预制棒. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB/T191包装储运图示标志 GB/T2828.1一2012计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样 计划 GB/T9771.1通信用单模光纤第1部分:非色散位移单模光纤特性 GB/T9771.2通信用单模光纤第2部分:截止波长位移单模光纤特性 GB/T9771.3通信用单模光纤第3部分:波长段扩展的非色散位移单模光纤特性 GB/T9771.4通信用单模光纤第4部分:色散位移单模光纤特性 GB/T9771.5通信用单模光纤第5部分:非零色散位移单模光纤特性 GB/T9771.6通信用单模光纤第6部分:宽波长段光传输用非零色散位移单模光纤特性 GB/T12357.1通信用多模光纤第1部分:A1类多模光纤特性 GB/T12357.2通信用多模光纤第2部分:A2类多模光纤特性 GB/T15972.20一2008光纤试验方法规范第20部分:尺寸参数的测量方法和试验程序光纤 几何参数 GB/T15972.40一2008光纤试验方法规范第40部分:传输特性和光学特性的测量方法和试验 程序衰减 GB/T15972.41一2008光纤试验方法规范第41部分:传输特性和光学特性的测量方法和试验 程序带宽 GB/T15972.42一2008光纤试验方法规范第42部分:传输特性和光学特性的测量方法和试验 程序波长色散 GB/T15972.43一2008光纤试验方法规范第43部分:传输特性和光学特性的测量方法和试验 程序数值孔径 GB/T15972.44一2008光纤试验方法规范第44部分:传输特性和光学特性的测量方法和试验 程序截止波长 GB/T15972.45一2008光纤试验方法规范第...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 Test method for dislocation density of GaN single crystal- Cathodoluminescence spectroscopy 2015-12-10发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32282-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司. 本标准主要起草人:曾雄辉、张燚、董晓鸣、牛牧童、刘争晖、邱永鑫、王建峰、徐科. I GB/T32282-2015 氮化镓单晶位错密度的测量 阴极荧光显微镜法 1范围 本标准规定了用阴极荧光显微镜法测试氮化镓单晶位错密度的方法. 本标准适用于位错密度在1×103个/cm2~5×108个/cm2之间的氮化镓单晶中位错密度的测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所用的修改单)适用于本文件. GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T27788微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 阴极荧光cathodoluminescence 材料在阴极射线(电子束)激发下产生发光的一种物理现象. 3.2 辐射复合radiative rebination 电子从高能态到低能态的跃迁过程中,电子和空穴复合时会释放一定的能量,能量以光子的形式 释放. 3.3 非辐射复合nonradiative rebination 电子从高能态到低能态的跃迁过程中,电子和空穴复合时会释放一定的能量,能量以除光子辐射之 外的其他形式释放. 4方法提要 通常,待测发光材料样品在电子束的作用下,会被激发出各种信号,如二次电子信号、背散射电子信 号、X射线信号、阴极荧光信号等.采用特定的探测器对上述信号进行分别接收,便可得到反映样品相 应特征的图像.对阴极荧光信号主要采用光电倍增管来探测,将光信号转换成电流,最后以图像输出. 阴极荧光图像上的衬度反映了样品不同区域发光的强弱. 位错通常是氮化镓单晶中的非辐射复合中心,因此会在阴极荧光图像上表现为暗点,阴极荧光显微 镜的空间分辨率可达到几十纳米,所以可在不破坏样品的前提下检测氮化镓单晶的位错密度. 1 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 Test method for warp of silicon wafers- Automated non-contact scanning method 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32280-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位:有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司、 浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司. 本标准主要起草人:孙燕、何宇、徐新华、王飞尧、张海英、楼春兰、向兴龙. I GB/T32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法 1范围 本标准规定了硅片翘曲度的非破坏性、自动非接触扫描测试方法. 本标准适用于直径不小于50mm 厚度不小于100μm的洁净、干燥的切割、研磨、腐蚀、抛光、刻 蚀、外延或其他表面状态硅片的翘曲度测试.本方法可用于监控因热效应和(或)机械效应引起的硅片 翘曲,也可用于砷化镓、蓝宝石等其他半导体晶片的翘曲度测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T29507硅片平整度、厚度及总厚度变化测试自动非接触扫描法 GB50073一2013洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 典型片representative wafer 利用翻转的方法进行重力校正的代表性晶片.典型片应与被测晶片具有完全相同的标称直径、标 称厚度、基准结构和结晶取向. 4方法提要 将被测晶片放置在平坦、洁净的小吸盘上,吸盘带动晶片沿规定的图形在两个相对的探头之间运 动,两个探头同时对晶片的上下表面进行扫描,获得一组晶片上下表面分别到最近的探头间的距离数 据.对应扫描的每一点,得到一对X和Y坐标都相同的距离数值;成对的位移数值用于构造一个中位 面,而在中位面上的重力效应的校正是通过从一个典型片测量值,或理论值减去一个重力校正值得到 的,也可以通过翻转晶片重复扫描进行校正.从合适的中位面构造一个最小二乘法基准面,计算每对测 量点上的基准面偏离(RPD).翘曲度即为最大的正数(RPD)和最小的负数(RPD)间的代数差. 注:晶片的翘曲可能是由于晶片的上下表面不相同的应力造成的,所以它不可能通过测量其中一个面确定.中位 面包含了向上、向下或两者都有的曲度,在某些情况下,中位面是平的,因此,翘曲度为零或正数值. 5干扰因素 5.1在扫描测试期间,任何探头间或探头沿测试轴的相对运动都会产生横向位置等效测试数据误差. 1 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS29.045 H80 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T32279-2015 硅片订货单格式输入规范 Specification for order entry format of silicon wafers 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32279—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位:万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限 公司、南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、江苏协鑫硅材 料科技发展有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所. 本标准主要起草人:朱兴萍、楼春兰、戴文仙、毛卫中、赵纪平、王飞尧、马林宝、孙燕、李慎重、 林清香、杨素心、邹剑秋. I GB/T32279-2015 硅片订货单格式输入规范 1范围 本标准规定了硅片订货单的格式要求和使用. 本标准适用于硅单晶研磨片、硅单晶抛光片、硅单晶外延片、太阳能电池用硅单晶切割片、太阳能电 池用多晶硅片的订货单格式,其他半导体材料的订货单可参照本标准执行. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB/T1550非本征半导体材料导电类型测试方法 GB/T1551硅单晶电阻率测定方法 GB/T1553硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 GB/T1554硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 GB/T1555半导体单晶晶向测定方法 GB/T1557硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 GB/T1558硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 GB/T4058硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法 GB/T6618硅片厚度和总厚度变化测试方法 GB/T6619硅片弯曲度测试方法 GB/T6620硅片翘曲度非接触式测试方法 GB/T6621硅片表面平整度测试方法 GB/T6624硅抛光片表面质量目测检验方法 GB/T11073硅片径向电阻率变化的测量方法 GB/T12965硅单晶切割片和研磨片 GB/T13387硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法 GB/T13388硅片参考面结晶学取向X射线测试方法 GB/T14139硅外延片 GB/T14140硅片直径测量方法 GB/T14142硅外延层晶体完整性检验方法腐蚀法 GB/T14144硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 GB/T14264半导体材料术语 GB/T14847重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 GB/T19921硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T24578硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法 GB/T26068硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法 GB/T26071太阳能电池用硅单晶切割片 GB/T29055 太阳电池用多晶硅片 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法 Test method for flatness of monocrystalline silicon carbide wafers 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32278-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所. 本标准主要起草人:陈小龙、郑红军、张玮、郭钰. I GB/T32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法 1范围 本标准规定了碳化硅单晶抛光片的平整度,即总厚度变化(TTV)、局部厚度变化(LTV)、弯曲度 (Bow)、翘曲度(Warp)的测试方法. 本标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm 厚度0.13mm~1mm碳化硅单晶抛光片平整 度的测试. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB50073洁净厂房设计规范 3术语和定义 GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件. 3.1 局部厚度变化local thickness variation;LTV 以晶片的底平面为参考面,晶片表面特定(面积)区域内厚度最高点(最大值)和最低点(最小值)之 间的差.晶片的LTV指整片上测试区域LTV的最大值,示意图见图1. 特定面积 LTV LTV: LTV3 LTV LTV. 边缘去除区 LTV=max(LTV) 图1局部厚度变化(LTV)示意图 4方法提要 一束平行光被分光镜(棱镜)分为两束光,其中一束经过固定的反射镜形成参考光,另一束经过移动 的反射镜形成测量光,参考光和测量光经过分光镜(棱镜)后汇合.如果两束光相位相同,光波叠加增 1 ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS77.040 H17 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T32277-2015 硅的仪器中子活化分析测试方法 Test method for instrumental neutron activation analysis (INAA)of silicon 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32277-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位:乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、中国原子能科学研究院、新特能源股份有 限公司. 本标准主要起草人:李智伟、张亚东、张新、姚淑、银波、邱艳梅. I GB/T322772015 引言 中子活化分析(AA)是一种能够对多种材料进行多种元素的高灵敏度定量、定性分析的方法.特 别是在半导体工业中,它被指定用于分析和评价高纯多晶硅(用以生长半导体级硅单晶及硅片的原材 料)中的痕量元素污染.光伏产业中,硅原料需求的增长引发了更大规模的多晶硅生产和各种提纯硅原 料替代方法的研发.用这些方法生产的硅材料在目前的文献资料中一般被称为太阳能级硅,并具有多 种形状,如块状、粉末状和颗粒状. 随着多晶硅和太阳能级硅生产规模的扩大,其质量控制也应加强,而仪器中子活化分析(INAA)是 可选方法之一.仪器中子活化分析是一种直接对辐照样品实施分析的方法,与之相比,传统的放射化学 中子活化分析方法(RNAA)要将辐照后的样品进行化学分离,除去干扰物质或者浓缩待检放射性同位 素.当前,一些实验室通过使用不同的中子源、辐照条件、电子设备和制样方法,实现了仪器中子活化分 析,并将其应用于各种形态、种类的硅样品.硅的仪器中子活化分析方法的标准化将消除分析方法间的 差异,从而建立一个通用的参考分析方法. Ⅱ ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS35.100.60 L79 GB 中华人民共和国国家标雅 GB/T32214.2-2015/ISO/IEC24824-2:2006 信息技术ASN.1的一般应用 第2部分:快速Web服务 Information technology-Generic applications of ASN.1-Part 2:Fast Web Services (ISO/IEC 24824-2:2006 Information technology-Generic applications of ASN.1:Fast Web Services IDT) 2015-12-10发布 2016-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32214.2-2015/ISO/IEC24824-2:2006 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1范围 1 2规范性引用文件1 3术语和定义 2 4缩略语 .5 5记法 6ASN.1SOAP消息的处理 5 7 Envelope类型的组件到信息项的映射 8 8W3 C SOAP消息信息集到Envelope类型的抽象值的映射12 9嵌入式ASN.1编码的值的扩展SOAP处理16 10ASN.1 SOAP HTTP绑定 19 11快速信息集SOAP消息与SOAP HTTP绑定 20 12支持ASN.1SOAP接口绑定的面向SOAP的服务描述20 13带有ASN.1SOAP接口绑定的面向SOAP的服务描述的用法26 附录A(规范性附录)用于ASN.1SOAP的ASN.1模块28 附录B(规范性附录)用于快速Web服务的MIME媒体类型30 附录C(资料性附录)快速Web服务辅导资料 33 附录D(资料性附录)使用快速Web服务和XMLWeb服务的公共服务提供40 附录E(资料性附录)WSDL1.1中面向SOAP的服务描述 42 附录F(资料性附录)对象标识符值的赋值 47 参考文献 48 I GB/T32214.2-2015/ISO/IEC24824-2:2006 前言 GB/T32214《信息技术ASN.1的一般应用》由下列三部分组成: 一一第1部分:快速信息集: 第2部分:快速Web服务; 一一第3部分:快速信息集安全. 本部分为GB/T32214的第2部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分使用翻译法等同采用国际标准ISO/IEC24824-2:2006《信息技术ASN.1的一般应用: 快速Web服务》. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本部分由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本部分起草单位:中国电子技术标准化研究院、重庆邮电大学. 本部分主要起草人:董挺、王平、罗志勇、谢昊飞、税梦玲. ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS35.040 L80 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32213-2015 信息安全技术公钥基础设施 远程口令鉴别与密钥建立规范 Information security technology-Public key infrastructure- Specification for remote password authentication and key establishment 2015-12-10发布 2016-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32213—2015 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 1 2规范性引用文件 1 3术语和定义 1 4缩略语 2 5符号 2 6文档约定 3 6.1括号 3 6.2步骤与顺序 4 6.3方法参数 4 6.4参与方 4 7数学定义 4 7.1群运算 4 7.2离散对数体制4 7.3椭圆曲线体制 5 8模型 5 8.1概述 .5 8.2原语 6 8.3协议 8.4密码函数 9原语 7 9.1概述 7 9.2数据类型转换原语 7 9.3连带口令公钥生成原语 8 9.4 公钥生成原语 10 9.5口令验证数据生成原语 11 9.6 随机元素导出原语 12 9.7秘密值导出原语 14 9.8密钥检索原语 18 10口令鉴别密钥建立协议 19 10.1BPKA-1 19 10.2 BPKA-2 20 10.3BPKA-3 22 10.4APKA-1 24 I GB/T32213-2015 10.5 [DL]APKA-{2 3} 26 10.6 [EC]APKA-4. 27 10.7 APKA-5 29 10.8PKR-1 31 11密码函数 32 11.1散列函数 32 11.2 掩码生成函数 .32 11.3 密钥证实函数 33 11.4乘法元生成函数 33 11.5密钥导出原语 34 参考文献 36 Ⅱ ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS77.040 H21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度原子力显微镜检验法 Test method for surface roughness of GaN single crystal substrate by atomic force microscope 2015-12-10发布 2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32189—2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的 原子力显微镜检验法 1范围 本标准规定了用原子力显微镜测试氮化镓单晶衬底表面粗糙度的方法. 本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的表面粗糙度小于10m的氮化镓单晶衬底. 其他具有相似表面结构的半导体单晶衬底应用本标准提供的方法进行测试前,需经测试双方协商达成 一致. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件. GB/T3505产品几何技术规范(GPS)表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数 GB/T14264半导体材料术语 GB/T27760利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 JJF1351扫描探针显微镜校准规范 3术语和定义 GB/T3505、GB/T14264和GB/T27760界定的术语和定义适用于本文件. 4方法原理 4.1测试原理 本标准采用原子力显微镜测试样品某个区域的三维表面形貌,进而根据表面形貌中包含的一组表 面轮廓的数值评定粗糙度.由于原子力显微镜在高度方向的分辨率(即纵向分辨率)通常不超过0.1m 横向分辨率通常可达到10nm 因此能清晰地分辨单晶衬底上的原子台阶(台阶高度通常<1nm) 是评 价单晶衬底粗糙度的有效手段. 原子力显微镜测试样品表面粗糙度的原理如图1所示.测试样品表面形貌时,首先通过粗逼近装 置将样品和针尖接近到数纳米的距离,使之产生相互作用力.原子力显微镜有接触模式、轻敲模式等多 种工作模式探测针尖和样品的相互作用力.以接触模式为例,探针与样品直接接触,其相互作用力使悬 梁臂发生形变,从而被激光和四象限光电探测器构成的光杠杆所探测.当通过扫描信号发生器使样品 台产生xy方向移动时,通过控制器控制样品的高低z 使悬梁臂的形变始终保持恒定,输出z的 变化,即为测试到的表面形貌.如果是轻敲模式,则通过一个激振器使悬梁臂产生数纳米到数十纳米振 幅的振动,当针尖和样品相互接近产生相互作用力时,会改变振动的振幅和相位,扫描时通过控制 器控制样品的高低z 保持振动的振幅恒定,则可输出之获得表面形貌. 1 GB/T32189-2015 激光 四象限 光电探 测器 悬梁臂 控制器 针尖、 6样品 压电陶瓷 表面形 扫描信号 扫描器 发生器 粗逼近装置 图1原子力显微镜测试原理示意图 4.2粗糙度的评定方法 本标准采用中线制(轮廓法)评定表面粗糙度. 本标准中的表面轮廓由原子力显微镜方法获得:采用探针沿一定的方向扫描获得给定取样长度的 表面轮廓,在垂直于扫描方向上探针等间距移动获得一组表面轮廓,这组表面轮廓描述了一个区域的表 面形貌. 表面轮廓的中线按照n阶(1≤n≤3)多项式的最小二乘法拟合得到.对表面轮廓扣除中线后形成 的轮廓为评定表面粗糙度的基础. 表面粗糙度数值采用扣除中线后的轮廓的算术平均偏差Ra表示. 5干扰因素 5.1扫描像素、扫描...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

H 21 ICS 77.040
中华人民共和国国家标准
GB/T 32188-2015
氮化家单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线 半高宽测试方法
Testmethod forfullwidth at half maximum of double crystalX-rayrocking curve of GaNsingle crystalsubstrate
2015-12-10发布2016-11-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T32188-2015
前言
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。

本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学 院物理研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司。

本标准主要起草人:邱永鑫、任国强、刘争晖、曾雄辉、王建峰、陈小龙、王文军、郑红军、徐科、 赵松彬。

GB/T 32188-2015
氮化单晶衬底片X射线双晶摇摆曲线 半高宽测试方法
1范围
本标准规定了利用双晶X射线衍射仪测试氮化单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。

本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化单晶衬底片。

2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。

凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。

GB/T14264半导体材料术语
3术语和定义
GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1 衍射平面thediffraction plane X射线人射束、衍射束构成的平面。

3.2 半高宽full width athalf maximum;FWHM 摇摆曲线最大强度一半处曲线的宽度。

3.3 x轴xaxis 倾斜样品的轴,由样品台表面和衍射平面相交而成。

3.4 x角xangle 样品某晶面与样品表面的夹角。

3.5 p角@angle 样品台绕样品表面法线旋转的角度。

3.6 扫描p scan 连续改变角并记录衍射强度的测量模式。

3.7 @角@ angle 人射X射线与样品台表面的夹角。

1
GB/T32188-2015 3.8 0扫描0 scan 连续改变角并记录衍射强度的测量模式。

4方法提要
4.1单晶的原子以三维周期性结构排列,其晶体可以看做原子排列于空间垂直距离为d的一系列平行 平面所形成,当一束平行的单色X射线射人该平面上,且X射线照在相邻平面之间的光程差为其波长 的整数倍即n倍时,就会产生衍射(反射)。

当人射光束与反射平面间的夹角0、X射线波长入、晶面间距 d及衍射级数n同时满足布拉格定理2dsin0=nX时,X射线衍射光束强度将达到最大值,此时的0被 称为布拉格角,记作0B,如图1所示。

入射X射线出射X射线
fa
图1X射线衍射原理图 4.2X射线衍射摇摆曲线用来表征平行X射线人射束被样品中某一特定晶面反射后其衍射束的发散 情况。

在测试时,探测器置于待测晶面的20g位置,人射束在0附近进行扫描,此时记录下来的衍射强 度曲线称为摇摆曲线。

4.3晶体摇摆曲线半高宽的来源主要有仪器因素和待测材料的本征宽度、位错、晶粒尺寸、样品弯曲导 致的加宽等。

对氮化单晶衬底片来说,材料内部位错等缺陷会影响摇摆曲线半高宽值,因此摇摆曲线 半高宽可用于评估氮化单晶衬底片的结晶质量。

5仪器及校准 5.1光路配置 5.1.1双晶X射线衍射仪一般使用Cu靶,也可以使用其他靶材。

5.1.2双晶X射线衍射探测器接收角度应大于0.5°。

注:使用分析品体或在探测器前增加狭缝会改变探测器接收角度,影响测试结果,如采用此类配置,应在试验报告 中注明。

5.1.3光源发出的X射线束经狭缝系统和单色器应成为一束单色的平行射线,X射线的发散角应不大 于12"(arcsec)。

注:若样品半高宽较大,可以采用较大发散角的单色器,但此时应保证在布拉格角附近X射线的发散角小于测试结 果的1/3。

2
GB/T32188-2015
5.2样品台 5.2.1样品台应有足够的自由度,使X射线人射束、衍射束、衍射晶面法线及探测器窗口在同一平 面内。

5.2.2在进行斜对称衍射试验时,样品台应能使样品围绕其表面法线旋转。

常用X射线衍射仪样品台 旋转轴如图2所示。

X射线入射束 X射线衍射束
图2X射线衍射仪旋转轴示意图 5.3仪器校准 按照仪器厂商说...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS 35.240 L 74 B 中华人民共和国国家标准 GB/T32180.6-2015 财经信息技术 企业资源计划软件 数据接口 第6部分:资金 Financialinformation technology Data interface of enterprise resource planning software- Part 6:Treasury 2015-10-22发布 2016-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 查真件
GB/T 32180.6-2015 目次 前言 引言 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4数据元素 4.1数据元素的描述规则 4.2数据元素细目 5接口文件的输出 16 5.1输出文件的格式 16 5.2输出文件的数据结构 16 5.3输出文件的输出说明 23 5.4输出文件的时间要求 23 6符合性评价 24 6.1概述. 24 6.2输出文件的功能 24 6.3输出的XM1.文件要求 24 附录A(资料性附录) 企业资源计划软件数据接口的XM1.大纲(Schema) 25 附录B(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XMI.实例 85 参考文献 94
GB/T32180.6-2015 引言 应用.已形成产业化规模。

本标准针对企业资源计划软件,制定了软件数据接口规范,在财经信息技术 领域进一步促进、深化财经数据的标准化应用。

企业资源计划软件经过多年的发展,已经在企业中得到广泛应用,但是,由于各个企业资源计划软 件来源于不同的软件供应商,软件设计方案上各成体系在数据库平台和数据库结构上存在相当大的差 异性:使得政府监管部门、企业内部管理决策部门等企业经营管理信息使用者无法快速、全面地获取企 业经营管理业务数据。

GB/T32180以典型ERP供应链主要业务模块为核心,兼顾资金结算和预算管理业务,规范企业 资源计划软件通用的数据元素和输出文件结构信息。

GB/T32180能够为财政、金融、税务、工商、审计等政府行业主管部门和监管部门,以及企业内审 部门、管理决策部门获取企业经营管理业务数据加强监督、提高管理决策效率提供数据支持服务。

本部分为GB/T32180的第6部分:资金。

本部分需与GB/T32180.1-2015结合起来使用。

凡是涉及会计核算数据的输出,可依据 GB/T24589.1-2010《财经信息技术会计核算软件数据接口第1部分:企业》的规定执行。

GB/T 32180.6-2015 财经信息技术企业资源计划软件 数据接口第6部分:资金 1范围 GB/T32180的本部分规定了企业资源计划软件数据接口中资金业务的数据格式要求包括资金 业务数据元素、数据接口输出文件的内容和格式的要求。

和应用。

2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。

凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。

GB/T7408一2005数据元和交换格式信息交换日期和时间表示法(IS()8601:2000.IDT) GB/T18142-2000信息技术数据元素值格式记法(IS()/IEC14957:1996.IDT) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。

3.1 企业资源计划软件enterprise resource planning software 将财务、库存、制造等业务功能集成于一体的应用软件系统。

3.2 数据接口data interface 计算机软件系统之间传送数据、交换信息的接口,以电子文件的形式实现。

3.3 XML 文件extensible markup language file 用具有数据描述功能、高度结构性及可验证性的可扩展置标语言描述的数据文件。

3.4 数据文件data file 用于企业资源计划软件数据交换或处理的文件。

3.5 数据元素dataelement 用一组属性描述定义、标识、表示和允许值的数据单元。

注:在本部分中数据元素是企业资源计划软件的数据接口所输出数据的不可分制的基本单位。

3.6 数据结构data structure 企业资源计划软件数据接口所输出数据的内部构成,包含有若干个不同的数据元素。

GB/T 32180.6-2015 4数据元素 4.1数据元素的描述规则 数据元素的描述格式如下: a)数据元素的标识符:在本标准中.它是各个数据元素的唯一标识.采用四位数字来标记:其中 通用元素: 1 公共基础数据:2 采购部分: 3 库存部分: 销售部分: 预算部分: 6 资金部分: 7 如果本部分中出现了本标准之前已经编号的元素...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

L 74 ICS 35.240 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32180.5-2015 财经信息技术 企业资源计划软件 数据接口 第5部分:预算 Financialinformation technology Part 5:Budget 2015-10-22发布 2016-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T 32180.5-2015 目次 前言.. 1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4数据元素 4.1数据元素的描述规则 4.2数据元素细目 5接口文件的输出 5.1输出文件的格式 5.2输出文件的数据结构 5.3输出文件的输出说明 11 5.4输出文件的时间要求 11 6符合性评价 12 6.1概述. 12 6.2输出文件的功能 12 6.3输出的XML文件要求 12 附录A(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML大纲(Schema) 13 附录B(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML实例 34 参考文献.
GB/T32180.5-2015 前言 GB/T32180《财经信息技术企业资源计划软件数据接口》分为六个部分: 第1部分:公共基础数据; 第2部分:采购; 第3部分:库存; 第4部分:销售; 第5部分:预算; 第6部分:资金。

本部分为GB/T32180的第5部分。

本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。

本部分由中华人民共和国审计署提出。

本部分由全国审计信息化标准化技术委员会(SAC/TC341)归口。

本部分起草单位:中华人民共和国审计署计算机技术中心、浪潮集团山东通用软件有限公司、甲骨 文(中国)软件系统有限公司、用友软件股份有限公司、金蝶软件(中国)有限公司、思爱普(北京)软件系 统有限公司、南京审计学院、中华人民共和国审计署驻成都特派员办事处、中国电子技术标准化研究院。

本部分主要起草人:杨蕴毅、孙中和、彭涛、吕天阳、杨政、王兴山、韩伟、金纪文、任晓慧、冯宇、 刘海燕。

GB/T32180.5-2015 引言 随着企业资源计划(ERP)管理思想和理论的普及发展,企业资源计划软件在国内外得到了广泛的 应用,已形成产业化规模。

本标准针对企业资源计划软件,制定了软件数据接口规范,在财经信息技术 领域进一步促进、深化财经数据的标准化应用。

企业资源计划软件经过多年的发展,已经在企业中得到广泛应用,但是,由于各个企业资源计划软 件来源于不同的软件供应商,软件设计方案上各成体系,在数据库平台和数据库结构上存在相当大的差 异性,使得政府监管部门、企业内部管理决策部门等企业经营管理信息使用者无法快速、全面地获取企 业经营管理业务数据。

GB/T32180以典型ERP供应链主要业务模块为核心,兼顾资金结算和预算管理业务,规范企业 资源计划软件通用的数据元素和输出文件结构信息。

GB/T32180能够为财政、金融、税务、工商、审计等政府行业主管部门和监管部门,以及企业内审 部门、管理决策部门获取企业经营管理业务数据,加强监督、提高管理决策效率提供数据支持服务。

本部分为GB/T32180的第5部分:预算。

本部分需与GB/T32180.1一2015结合起来使用。

凡是涉及会计核算数据的输出,可依据 GB/T24589.1一2010《财经信息技术会计核算软件数据接口第1部分:企业》的规定执行。


GB/T 32180.5-2015 财经信息技术企业资源计划软件 数据接口第5部分:预算 1范围 业务数据元素、数据接口输出文件的内容和格式的要求。

本部分适用于企事业单位所使用的企业资源计划软件预算业务数据接口的设计、研制、管理、购销 和应用。

2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。

凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件。

GB/T7408一2005数据元和交换格式信息交换日期和时间表示法(ISO8601:2000,IDT) GB/T18142-2000信息技术数据元素值格式记法(ISO/IEC14957:1996,IDT) 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。

3.1 企业资源计划软件enterpriseresource planning software 将财务、库存、制造等业务功能集成于一体的应用软件系统。

3.2 数据接口datainterface 计算机软件系统之间传送数据、交换信息的接口,以电子文件的形式实现。

3.3 XML文件extensible markuplanguagefile 用具有数据描述功能、高度结构性及可验证性的可扩...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS 35.240 L 74 中华人民共和国国家标准 GB/T32180.4-2015 财经信息技术 企业资源计划软件 数据接口 第4部分:销售 Financial information technology- Data interface of enterprise resource planning software Part 4:Sales 2015-10-22发布 2016-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会
GB/T 32180.4-2015 目次 前言. IV 1范围.. 2规范性引用文件 3术语和定义 4数据元素 2 4.1数据元素的描述规则 2 4.2数据元素细目 ......... 5接口文件的输出 5.1输出文件的格式 5.2输出文件的数据结构 5 5.3输出文件的输出说明 8 5.4输出文件的时间要求 8 6符合性评价 6.1概述.. 8 6.2输出文件的功能 8 6.3输出的XML文件要求 6 附录A(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML大纲(Schema) 10 附录B(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML实例 37 参考文献. 45
GB/T32180.4-2015 前言 GB/T32180《财经信息技术企业资源计划软件数据接口》分为六个部分: 一第1部分:公共基础数据; 第2部分:采购; 第3部分:库存; 第4部分:销售; 第5部分:预算; 第6部分:资金。

本部分为GB/T32180的第4部分。

本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。

本部分由中华人民共和国审计署提出。

本部分由全国审计信息化标准化技术委员会(SAC/TC341)归口。

本部分起草单位:中华人民共和国审计署计算机技术中心、思爱普(北京)软件系统有限公司、浪潮 集团山东通用软件有限公司、用友软件股份有限公司、金蝶软件(中国)有限公司、甲骨文(中国)软件系 统有限公司、南京审计学院、中华人民共和国审计署驻成都特派员办事处、中国电子技术标准化研究院。

本部分主要起草人:杨蕴毅、孙中和、彭涛、吕天阳、杨政、冯宇、于学强、焦学瑞、严绍业、金纪文、 赵燕锡。


GB/T32180.4-2015 引言 随着企业资源计划(ERP)管理思想和理论的普及发展,企业资源计划软件在国内外得到了广泛的 应用,已形成产业化规模。

本标准针对企业资源计划软件,制定了软件数据接口规范,在财经信息技术 领域进一步促进、深化财经数据的标准化应用。

企业资源计划软件经过多年的发展,已经在企业中得到广泛应用,但是,由于各个企业资源计划软 件来源于不同的软件供应商,软件设计方案上各成体系,在数据库平台和数据库结构上存在相当大的差 异性,使得政府监管部门、企业内部管理决策部门等企业经营管理信息使用者无法快速、全面地获取企 业经营管理业务数据。

GB/T32180以典型ERP供应链主要业务模块为核心,兼顾资金结算和预算管理业务,规范企业 资源计划软件通用的数据元素和输出文件结构信息。

GB/T32180能够为财政、金融、税务、工商、审计等政府行业主管部门和监管部门,以及企业内审 部门、管理决策部门获取企业经营管理业务数据,加强监督、提高管理决策效率提供数据支持服务。

本部分为GB/T32180的第4部分:销售。

本部分需与GB/T32180.1一2015结合起来使用。

凡是涉及会计核算数据的输出,可依据 GB/T24589.1一2010《财经信息技术会计核算软件数据接口第1部分:企业》的规定执行。

IV
...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

ICS35.240 L74 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T32180.3-2015 财经信息技术企业资源计划软件 数据接口第3部分:库存 Financial information technology- Data interface of enterprise resource planning software- Part 3:Inventory 2015-10-22发布 2016-06-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 发布 GB/T32180.3—2015 目 次 前言 Ⅲ 引言 1范围 1 2规范性引用文件 .1 3术语和定义 4数据元素 2 4.1数据元素的描述规则 2 4.2数据元素细目 2 5接口文件的输出6 5.1输出文件的格式 6 5.2输出文件的数据结构6 5.3输出文件的输出说明 9 5.4输出文件的时间要求 9 6符合性评价 9 6.1概述 6.2输出文件的功能 9 6.3输出的XML文件要求 9 附录A(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML大纲(Schema)10 附录B(资料性附录)企业资源计划软件数据接口的XML实例 29 参考文献 33 I GB/T32180.3—2015 前 言 GB/T32180《财经信息技术企业资源计划软件数据接口》分为六个部分: ——第1部分:公共基础数据; 第2部分:采购; —第3部分:库存; —第4部分:销售; —第5部分:预算; —第6部分:资金. 本部分为GB/T32180的第3部分. 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本部分由中华人民共和国审计署提出. 本部分由全国审计信息化标准化技术委员会(SAC/TC341)归口. 本部分起草单位:中华人民共和国审计署计算机技术中心、甲骨文(中国)软件系统有限公司、用友 软件股份有限公司、浪潮集团山东通用软件有限公司、金蝶软件(中国)有限公司、思爱普(北京)软件系 统有限公司、南京审计学院、中华人民共和国审计署驻成都特派员办事处、中国电子技术标准化研究院. 本部分的主要起草人:杨蕴毅、孙中和、彭涛、吕天阳、杨政、金纪文、陆靖、金冬梅、焦学瑞、冯宇、 谢家容、吴志刚. ...

资源链接请先登录(扫码可直接登录、免注册)
①本文档内容版权归属内容提供方。如果您对本资料有版权申诉,请及时联系我方进行处理(联系方式详见页脚)。
②由于网络或浏览器兼容性等问题导致下载失败,请加客服微信处理(详见下载弹窗提示),感谢理解。
③本资料由其他用户上传,本站不保证质量、数量等令人满意,若存在资料虚假不完整,请及时联系客服投诉处理。
④本站仅收取资料上传人设置的下载费中的一部分分成,用以平摊存储及运营成本。本站仅为用户提供资料分享平台,且会员之间资料免费共享(平台无费用分成),不提供其他经营性业务。

手机扫码、免注册、直接登录

 注意:QQ登录支持手机端浏览器一键登录及扫码登录
微信仅支持手机扫码一键登录

账号密码登录(仅适用于原老用户)