ICS77.040 H17 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T32277-2015 硅的仪器中子活化分析测试方法 Test method for instrumental neutron activation analysis (INAA)of silicon 2015-12-10发布 2017-01-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T32277-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、中国原子能科学研究院、新特能源股份有 限公司. 本标准主要起草人：李智伟、张亚东、张新、姚淑、银波、邱艳梅. I GB/T322772015 引言 中子活化分析(AA)是一种能够对多种材料进行多种元素的高灵敏度定量、定性分析的方法.特 别是在半导体工业中，它被指定用于分析和评价高纯多晶硅（用以生长半导体级硅单晶及硅片的原材 料)中的痕量元素污染.光伏产业中，硅原料需求的增长引发了更大规模的多晶硅生产和各种提纯硅原 料替代方法的研发.用这些方法生产的硅材料在目前的文献资料中一般被称为太阳能级硅，并具有多 种形状，如块状、粉末状和颗粒状. 随着多晶硅和太阳能级硅生产规模的扩大，其质量控制也应加强，而仪器中子活化分析(INAA)是 可选方法之一.仪器中子活化分析是一种直接对辐照样品实施分析的方法，与之相比，传统的放射化学 中子活化分析方法(RNAA)要将辐照后的样品进行化学分离，除去干扰物质或者浓缩待检放射性同位 素.当前，一些实验室通过使用不同的中子源、辐照条件、电子设备和制样方法，实现了仪器中子活化分 析，并将其应用于各种形态、种类的硅样品.硅的仪器中子活化分析方法的标准化将消除分析方法间的 差异，从而建立一个通用的参考分析方法. Ⅱ ...
GB/T 32277-2015 硅的仪器中子活化分析测试方法.pdf
