GB/T 42450-2023 信息技术 大数据 数据资源规划.pdf
ICS35.020 CCS L 77 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42450-2023 信息技术 大数据 数据资源规划 Information technology-Big data-Planning of data resource 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42450-2023 目次 前言…………… I 1范围……………… ……1 2规范性引用文件……………………… ………………………1 3术语和定义………… ……… ………………1 4概述……………………… …….2 5数据资源规划流程…… ……………………………2 6数据资源预配置相关活动…………………………… …………3 6.1数据资源现状盘点…………………………………3 6.2数据资源规划目标确定…………………………………………………3 6.3数据资源规划文件编制……………………………………………… ……………3 7数据资源规划相关数据活动……………………………………………3 7.1数据处理相关活动……… ………………………3 7.2数据管理相关活动 …………4 参考文献………………………………………………………………6 GB/T42450—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本文件起草单位:沧州市大数据管理办公室、中国电子技术标准化研究院、上海计算机软件技术开 发中心、方正国际软件(北京)有限公司、美林数据技术股份有限公司、北京华宇信息技术有限公司、北京 三维天地科技股份有限公司、深圳市华傲数据技术有限公司、中国航空综合技术研究所、中国人寿保险 股份有限公司、山东润一智能科技有限公司、中汽数据(天津)有限公司、中电长城网际系统应用有限公 司、中国长江三峡集团有限公司、北京北达软信息技术有限公司、成都四方伟业软件股份有限公司、塬数 科技(无锡)有限公司、无锡雪浪数制科技有限公司、河南科技大学. 本文件主要起草人:刘博胜、张群、李冰、杨瑛、戴炳荣、韩冰、张煜、李晓燕、曹珍、徐征、豆昱、彭晓刚、 林志鹏、刘俊良、王兆君、黎俊茂、刘利达、楚思思、张凯、邵俊、杨芬、唐进、应志红、姚乐、姜向军、高洪美、 旷志光、程宏斌、逢振、王峰、张志勇. ...
GB/T 42448-2023 系统与软件工程 功能规模测量 FiSMA1.1方法.pdf
ICS35.080 CCS L 77 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42448-2023/ISO/IEC29881:2010 系统与软件工程功能规模测量 FiSMA1.1方法 Systems and software engineering-Functional size measurement- FiSMA 1.1 method (ISO/IEC 29881:2010 Information technology-Software and systems engineering-FiSMA 1.1 functional size measurement method IDT) 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42448-2023/ISO/IEC29881:2010 目 次 前言 …… I 引言……………… ……Ⅱ 1范围……… ……………1 2规范性引用文件……………………………… ………………1 3术语和定义…………… ……………1 4 FiSMA1.1的BFC类和BFC类型……………2 5 FiSMA1.1测量过程…………… ……………………6 6BFC类的计数规则………………………………9 7功能规模测量单位…………… ………11 8用FiSMA1.1方法计算软件的功能规模……… …………………11 9测量报告………………… ………………………………………11 10从FiSMA1.1到其他FSM方法的可转换性……………11 附录A(资料性)与FiSMA1.1方法相关的术语列表…………12 附录NA(资料性)本文件应用案例 ……14 参考文献… …………………….17 GB/T42448-2023/ISO/IEC29881:2010 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件等同采用ISO/IEC29881:2010《信息技术软件与系统工程FiSMA1.1功能规模测量方 法》. 本文件做了下列最小限度的编辑性改动: 一为与现有标准协调一致,将标准名称改为《系统与软件工程功能规模测量FSMA1.1方 法》; 为方便读者理解和使用,增加附录NA(资料性). 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本文件起草单位:广西达译科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、上海市软件行业协会、国家 应用软件产品质量检验检测中心、中国航天系统科学与工程研究院、深圳赛西信息技术有限公司、广东 益安人防工程科技有限公司、上海宝信软件股份有限公司、道普信息技术有限公司、云南电网有限责任 公司信息中心、上海旋思智能科技...
GB/T 42447-2023 信息安全技术 电信领域数据安全指南.pdf
ICS35.030 CCS L 80 G 中华人民共和国国家标准 GB/T42447-2023 信息安全技术电信领域数据安全指南 Information security technology-Data security guidelines for tele field 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42447-2023 目 次 前言……… 1范围…… 1 2规范性引用文件… 3术语和定义…… 1 4缩略语………… 1 5概述…………… 2 6安全原则 2 7电信数据通用安全措施 ……………………………………………… 2 7.1组织保障 2 7.2数据分类分级……… 3 7.3权限管理 ……… 3 7.4日志留存 4 3 7.5安全审计 3 7.6风险监测预警…… 4 7.7应急响应…………………………… 4 7.8安全评估 ……4 7.9教育培训 事事 …………………4 8电信数据处理安全措施 5 8.1数据收集 5 8.2数据存储 ………5 8.3数据使用加工……… 5 8.4数据传输 ……… 5 8.5数据提供…… 6 8.6数据公开…… 6 8.7数据销毁…… 6 参考文献…… 7 GB/T42447-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息安全标准化技术委员会(SAC/TC260)提出并归口. 本文件起草单位:中国移动通信集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、中国信息通信研究院、 中国联合网络通信集团有限公司、中国电信集团有限公司、中国人民银行数字货币研究所、成都思维世 纪科技有限责任公司、中国科学院信息工程研究所、北京优炫软件股份有限公司、国家工业信息安全发 展研究中心、北京东方通网信科技有限公司、北京亚鸿世纪科技发展有限公司、山谷网安科技股份有限 公司、重庆邮电大学、北京明朝万达科技股份有限公司、闪捷信息科技有限公司、上海观安信息技术股份 有限公司、北京邮电大学、慧盾信息安全科技(苏州)股份有限公司. 本文件主要起草人:张滨、张峰、杨亭亭、江为强、邱勤、张鑫月、魏薇、王光涛、温暖、于乐、上官晓丽、 任兰芳、张媛媛、陈活、胡影、粟栗、庞妹、何申、李文琦、刘明辉、静静、赵一宁、徐羽佳、孙艺、耿冠和、 钟志成、黄志军、钟立、林飞、易永波、蔺思涛、宋玲娓、刘玉岭、柳彩云、崔婷婷、王世彪、瞿宏锋、赵蓓、 金科、韩言妮、耿慧拯、顾慧琼、陈广辉、李春梅、左洪强、徐雨晴、谢江、赵帅、程渤、王晓波. I ...
GB/T 42447-2023 信息安全技术 电信领域数据安全指南.pdf
ICS35.030 CCS L 80 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42447-2023 信息安全技术电信领域数据安全指南 Information security technology-Data security guidelines for tele field 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42447-2023 目次 前言 I 1范围 1 2规范性引用文件…………………………………1 3术语和定义…………………… 1 4缩略语 1 5概述…………………… ……………… 2 6安全原则……………… 2 7电信数据通用安全措施………………………………………………………… 2 7.1组织保障 2 7.2数据分类分级………………………………………………………… ………….3 7.3权限管理 3 7.4日志留存 …………….3 7.5安全审计…………………… …………3 7.6风险监测预警………… ………4 7.7应急响应 …… ………………………………………4 7.8安全评估 … 4 7.9教育培训 ….4 8电信数据处理安全措施 ………………5 8.1数据收集 ……………5 8.2数据存储 ………………………………5 8.3数据使用加工…… 8.4数据传输 ……………5 8.5数据提供…… 6 8.6数据公开……… …………………6 8.7数据销毁……………………… ………6 参考文献…………………………………………………………… GB/T42447-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息安全标准化技术委员会(SAC/TC260)提出并归口. 本文件起草单位:中国移动通信集团有限公司、中国电子技术标准化研究院、中国信息通信研究院、 中国联合网络通信集团有限公司、中国电信集团有限公司、中国人民银行数字货币研究所、成都思维世 纪科技有限责任公司、中国科学院信息工程研究所、北京优炫软件股份有限公司、国家工业信息安全发 展研究中心、北京东方通网信科技有限公司、北京亚鸿世纪科技发展有限公司、山谷网安科技股份有限 公司、重庆邮电大学、北京明朝万达科技股份有限公司、闪捷信息科技有限公司、上海观安信息技术股份 有限公司、北京邮电大学、慧盾信息安全科技(苏州)股份有限公司. 本文件主要起草人:张滨、张峰、杨亭亭、江为强、邱勤、张鑫月、魏薇、王光涛、温暖、于乐、上官晓丽、 任兰芳、张媛媛、陈湉、胡影、粟栗、庞妹、何申、李文琦、刘明辉、静静、赵一宁、徐羽佳、孙艺、耿冠和、 钟志成、黄志军、钟立、林飞、易永波、蔺思涛...
GB/T 42446-2023 信息安全技术 网络安全从业人员能力基本要求.pdf
ICS35.030 CCS L80 ge 中华人民共和国国家标准 GB/T42446-2023 信息安全技术网络安全从业人员能力 基本要求 Information security technology-Basic requirements for petence of cybersecurity workforce 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42446-2023 目 次 前言……… I 1范围…… 1 2规范性引用文件 ………1 3术语和定义……… 4通则………………… 1 4.1组成要素及其关系…… 1 4.2工作类别和工作角色………………………… 2 4.3工作任务 …… ………3 5通用知识和技能要求……………………………………… 5 5.1通用知识要求……… 5 5.2通用技能要求………………………………………………………………………………… 5 6专业知识和技能要求…… 5 6.1网络安全管理类人员……………………5 6.2网络安全建设类人员……… 5 6.3网络安全运营类人员……………………………………………………………… 6 6.4网络安全审计和评估类人员………………………………7 6.5网络安全科研教育类人员 ……………8 附录A(规范性)网络安全知识体系…………………………9 附录B(规范性)网络安全技能体系…… 12 附录C(资料性)完成工作任务所需的知识和技能…………………………15 附录D(资料性)工作角色分类示例…… 17 附录E(资料性)工作类别、工作角色与国家职业相关映射关系…………18 参考文献…… 19 GB/T42446-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息安全标准化技术委员会(SAC/TC260)提出并归口. 本文件起草单位:中国电子技术标准化研究院、中国信息安全测评中心、中国网络安全审查技术与 认证中心、北京时代新威信息技术有限公司、国家计算机网络应急技术处理协调中心、三六零安全科技 股份有限公司、中电长城网际系统应用有限公司、深信服科技股份有限公司、北京交通大学、北京邮电大 学、西安电子科技大学、北京航空航天大学、上海交通大学、西安邮电大学、中国移动通信集团有限公司、 国家工业信息安全发展研究中心、国家计算机网络应急技术处理协调中心北京分中心、中国交通通信信 息中心、中国科学院信息工程研究所、公安部第三研究所、华为技术有限公司、蚂蚁科技集团股份有限公 司、北京天融信网络安全技术有限公司、西安交大捷普网络科技有限公司、长扬科技(北京)股份有限公 司、广东省...
GB/T 42443-2023 信息技术 自动识别与数据采集技术 大容量自动数据采集(ADC)媒体语法.pdf
ICS35.040 CCS L 71 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42443-2023 信息技术自动识别与数据采集技术 大容量自动数据采集(ADC)媒体语法 Information technology-Automatic identification and data capture techniques-Syntax for high-capacity ADC media (ISO/IEC15434:2019 MOD) 2023-03-17发布 2023-03-17实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42443-2023 目次 前言…………………… 工 引言…… Ⅱ 1范围…………………… …………1 2规范性引用文件……1 3术语和定义……… ……………………1 4文档符号约定…………………………… …………1 5报文格式…………………… 6人可识读的表示………………… …………11 附录A(规范性)GB/T1988一1998子集(十六进制和十进制值表)………12 参考文献………………… ………………14 GB/T42443-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件修改采用ISO/IEC15434:2019《信息技术自动识别与数据采集技术大容量自动识别数 据媒体语法》. 本文件与ISO/IEC15434:2019相比,主要技术差异及其原因如下: 一用修改采用的GB/T1988一1998代替了规范性引用的ISO/IEC646:1991; 用GB/T12905-2019和GB/T37056-2018代替了ISO/IEC19762(见ISO/IEC15434: 2019的第3章); 一删除了规范性引用的ANS MH10.8.2(见ISO/IEC15434:2019的5.3及5.4)、ANSX12(见 ISO/IEC15434:2019的5.3、5.4)、Syntax Rule CII(Vers3.00)(见ISO/IEC15434:2019的 5.2、5.3及5.4)、GS1 General Specification(见ISO/IEC15434:2019的5.3及5.4)以及ATA Common Support Data Dictionary(CSDD)(见ISO/IEC15434:2019的5.4.13); 一一将“拣货的儒略日(n03)”更改为“栋货的儒略日期(n13)”(见5.4.3.2.2、5.4.3.3.2); 一删除了与我国无关内容(见ISO/IEC15434:2019的5.4.5、5.4.10); —增加了“OFD、PNG”(见5.4.11). 本文件做了下列编辑性改动: 一一更正了ISO/IEC15434:2019印刷...
GB/T 42411.1-2023 信息技术 学习、教育和培训 在线课程体系 第1部分:框架与基本要求.pdf
ICS35.240.99 CCS L 67 GE 中华人民共和国国家标准 GB/T42411.1—2023 信息技术学习、教育和培训 在线课程体系第1部分: 框架与基本要求 Information technology-Learning education and training- Curriculum for online courses-Part 1:Framework and general requirements 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42411.1-2023 目 次 前言…………… 引言………… Ⅱ 1范围……… ……1 2规范性引用文件……… …………………………………………1 3术语和定义………… … 1 4课程体系框架及数据元素内容…………2 4.1课程体系框架 …………2 4.2数据元素的内容要求 ……2 5第1级数据元素……… ……3 6基本信息数据元素……………… 4 7课组数据元素……4 8课程数据元素……… ……5 9学习成果认证数据元素………………………………………………………………………6 参考文献…………… ……………7 GB/T42411.1-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是GB/T42411《信息技术学习、教育和培训在线课程体系》的第1部分.GB/T42411已 经发布了以下部分: ——第1部分:框架与基本要求. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本文件起草单位:清华大学、华东师范大学、北京邮电大学、中国电子技术标准化研究院、青岛伟东 云教育集团有限公司、上海交通大学、慕华成志教育科技有限公司、三亚学院、湖南惟楚有才教育科技有 限公司、深圳点猫科技有限公司、清华大学出版社、华为技术有限公司、广州途道信息科技有限公司、北 京康邦科技有限公司、人教数字出版公司、江苏中教科信息技术有限公司、北京航空航天大学、深圳职业 技术学院、腾讯云计算(北京)有限责任公司、山东悦知教育科技有限公司. 本文件主要起草人:郑莉、吴玲玲、钱冬明、李青、吴永和、杜婧、余云涛、李莹、卢海燕、申丽萍、 邓富强、师雪霖、杨涛、刘传汉、李欢冬、夏立、李泽、谢琛、邓冲、李晶晶、钟志锋、杨坤、沙沙、张洪斌、 王晓刚、汤子海、秦曾昌、曾令斌、孙增朝、郝方园、姚萌、李振鹏、唐舒. I ...
GB/T 42409-2023 物联网 电子价签系统 总体要求.pdf
ICS35.110 CCS L79 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42409—2023 物联网电子价签系统总体要求 Internet of things-Electronic shelf label system-General requirement 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42409—2023 目 次 前言……… 1范围…… 1 2规范性引用文件 3术语和定义…… 1 4缩略语……… 5系统结构……… 2 5.1概述………… 2 5.2电子价签系统结构 … 2 5.3电子价签系统接口 3 6管理系统 4 6.1业务管理 ……………………… 4 6.2业务信息更新…… 4 6.3设备管理…………………………………………………………………………………4 6.4数据管理 … 4 6.5权限管理……………………………………… 5 7物联网网关…… 5 7.1接入管理……… ……5 7.2数据处理 5 7.3感知和控制………… 5 8电子价签 8.1标识…… 5 8.2信息显示…… 5 8.3显示精度 5 8.4数据上传 … 5 8.5无线通信…… 6 8.6外观 ……… 6 8.7工作环境条件…… 6 8.8电池寿命…………………………………………………………………………………………… 6 9系统安全 ……… ……6 参考文献…………………………… … 7 GB/T42409-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 本文件主要起草单位:京东方科技集团股份有限公司、北京赛西科技发展有限责任公司、汉朔科技 股份有限公司、深圳赛西信息技术有限公司、江苏赛西科技发展有限公司、中国电子技术标准化研究院、 中国铁道科学研究院集团有限公司、中建科技集团有限公司、上海集成通信设备有限公司、东南大学、杭 州海康威视数字技术股份有限公司、北京电信规划设计院有限公司. 本文件主要起草人:高泽文、王晓春、杨宏、武忆成、吉亚平、卓兰、郭雄、张志刚、叶虹呐、张惟皎、 梁敏、曾涛、付根利、孙旭、孙鹏、汪晶晶、国辉、雷根、张弛、凌振、王星、杨明、张涛、王滨、石欣欣. I ...
GB/T 42402-2023 信息技术 系统间远程通信和信息交换 6TiSCH网络协议.pdf
ICS35.110 CCS L 79 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42402-2023 信息技术 :系统间远程通信和信息交换 6 TiSCH网络协议 Information technology-Telemunications and information exchange between systems-6TiSCH network protocol 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42402—2023 目次 前言…………………… I 1范围……… ….….………1 2规范性引用文件…………………………… ……1 3术语和定义………………… ………1 4缩略语 ……………… 5总体描述…………… …………5 5.1概述……… ………5 5.26 TiSCH网络架构……5 5.36 TiSCH协议栈架构………… ……………6 66 TiSCH协议栈组件 ……7 6.1物理层………… …………………………7 6.2数据链路层………… ………………8 6.3网络层……………………………… …………………… …………29 6.4传输层………………………………………………………33 6.5应用层…………… ………………33 76 TiSCH网络通信机制……………………………………… 34 7.1接入与注册……………… ……………34 7.2网络同步………… …………37 7.3调度与管理…………………………………… …………37 附录A(资料性)6 TiSCH中时隙跳频模式及其设置……………………44 A.1时隙跳频信道跳频 … ……44 A.26 TiSCH时隙跳频模式配置…… ……………………………44 A.36 TiSCH最小配置模式时隙跳频调度……45 参考文献 ………………46 GB/T42402-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件由全国信息技术标准化技术委员会(SAC/TC28)提出并归口. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件起草单位:重庆邮电大学、中国电子技术标准化研究院、江苏赛西科技发展有限公司、深圳赛 西信息技术有限公司、中国互联网络信息中心、重庆邮电大学工业互联网研究院、北京赛西科技发展有 限责任公司、北京华物科技有限公司、北京东土科技股份有限公司、东南大学. 本文件主要起草人:张焱、王婷、郭雄、魏曼、韩延、杨宏、王平、卓兰、韦锦驹、黄庆卿、董子轩、汪晶晶、 张弛、延志伟、程远、蒲成亘、郭京龙、冯乔琦、凌振、杨明. ...
GB/T 42396-2023 移动终端人-系统交互工效学 触控界面感知流畅性.pdf
ICS13.180 CCS A 25 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42396—2023 移动终端人系统交互工效学 触控界面感知流畅性 Ergonomics of human-system interaction in mobile terminal- Perceived fluency of touch interface 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42396—2023 目 次 前言 Ⅲ 引言…… V 1范围……… …….1 2规范性引用文件……………………… …………………………1 3术语和定义 4通则 2 5指标要求…………… 3 5.1响应时延…… 5.2动效时长…………………… 3 5.3完成时延 ……………………3 5.4最大连续丢帧数………………………………………………………………………………4 5.5最大跟手距离…… 4 6测试方法………… 5 6.1测试设备……… ……5 6.2测试条件…………… …………………5 6.3机械手触笔运动参数设置 ……………………………………………石 6.4响应时延测试…… ……………6 6.5动效时长测试…………………………7 6.6完成时延测试………………………………7 6.7最大连续丢顿数测试…………… …………8 6.8最大跟手距离测试 …………………………………………………8 6.9测试结果 …………………………………………………………8 7报告 …… 8 附录A(资料性)测试任务选取…………… ………9 附录B(资料性)最大跟手距离测试方法…………………12 附录C(规范性)测试报告 ……13 I ...
GB/T 42382.1-2023 信息技术 神经网络表示与模型压缩 第1部分:卷积神经网络.pdf
ICS35.040 CCS L 71 ge 中华人民共和国国家标准雅 GB/T42382.1-2023 信息技术神经网络表示与模型压缩 第1部分:卷积神经网络 Information technology-Neural network representation and model pression- Part 1:Convolutional neural network 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42382.1-2023 目 次 前言 Ⅲ 引言 N 1范围 2规范性引用文件 1 3术语和定义………………… 4 4缩略语 4 5约定 …… 4 5.1规则………… 4 5.2算术运算符……… 4 5.3逻辑运算符…… 5 5.4关系运算符………… 5 5.5位运算符 5 5.6赋值…… 5 5.7数学函数………… ………… 6 5.8结构关系符………… ….7 5.9解析过程和解码过程的描述方法 7 6神经网络模型的语法和语义 7 6.1数据结构 7 6.2语法描述 ……………9 6.3语义描述…… ……15 7压缩过程……………… ……75 7.1多模型………………… ………75 7.2量化……… ……80 7.3剪枝…… ……102 7.4结构化矩阵 105 8解压过程(解码表示) ………112 8.1多模型 112 8.2反量化 ………………118 8.3反稀疏化/反剪枝操作 ………………………………………128 8.4结构化矩阵… ………………131 9数据生成方法…………………… 138 9.1定义 …… 138 9.2 训练数据生成方法……………………………………… ………139 9.3 多模型 … …….145 9.4 量化…………… 150 9.5 剪枝 ………169 I GB/T42382.1-2023 9.6结构化矩阵 176 10编解码表示…… … 184 10.1神经网络模型权重压缩位流的语法和语义……………… ………184 10.2权重压缩位流的语法描述………… ………….189 10.3 权重压缩位流的语义描述…………………… …………212 10.4权重压缩位流解析过程…… ……………222 10.5 权重压缩位流解码………………… 233 11模型保护……… ………………………241 11.1模型保护定义……………… ………………………241 11.2模型加密过程…………… …………………………………242 11.3模型解密过程………… … … 243 11.4密文模型数据结构定义…… 245 附录A(资料性)专利列表 246 参考文献……………………………………… …… 247 Ⅱ ...
GB/T 42308-2023 电子设备用电位器 第6-1部分:空白详细规范 表面安装预调电位器 评定水平EZ.pdf
ICS31.040.20 CCS L14 中华人民共和国国家标准 GB/T42308-2023 电子设备用电位器 第6-1部分:空白详细规范 表面安装预调电位器 评定水平EZ Potentiometers for use in electronic equipment- Part 6-1:Blank detail specification-Surface mount preset potentiometers- Assessment level ez 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42308-2023 目 次 前言……… 引言………… Ⅱ 1范围…… 1 2规范性引用文件…………………………… …………… 1 3术语和定义………… 1 4要求 … …………1 4.1安装方法………………………………………………1 4.2尺寸………… …………1 4.3额定值和特性………………………………………1 4.4降功耗 …… ……2 4.5标志… …………2 4.6订货资料…… 4.7放行批的证明记录……… …………2 4.8附加内容(不检验)……………………………2 4.9附加的或高于总规范和/或分规范规定的严酷等级的要求……………………………………2 4.10详细规范应规定的内容……………… ……2 5检验要求 2 GB/T42308-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是《电子设备用电位器》的第6-1部分,《电子设备用电位器》已经发布了以下部分: —第1部分:总规范(GB/T15298—1994); —第2部分:分规范:螺杆驱动和旋转预调电位器(GB/T15299一1994); —第2部分:空白详细规范:螺杆驱动和旋转预调电位器评定水平E(GB/T15300一1994); —一第3部分:分规范:旋转式精密电位器(GB/T15880一1995); 一—第3部分:空白详细规范:旋转式精密电位器评定水平E(GB/T15881一1995); —第4部分:分规范:单圈旋转式功率电位器(GB/T17025一1997); —第4部分:空白详细规范:单圈旋转式功率电位器评定水平E(GB/T17026一1997); —第4部分:空白详细规范:单圈旋转式功率电位器评定水平F(GB/T17027一1997); —第5部分:分规范:单圈旋转式低功率电位器(GB/T16515一1996); —第5部分:空白详细规范:单圈旋转式低功率电位器评定水平E(GB/T17028一1997); —第5部分:空白详细规范:单圈旋转式低功率电位器评定水平F(GB/T17029一1997; —第6部分:分规范表面安装预调电位器(GB/T4...
GB/T 42308-2023 电子设备用电位器 第6-1部分:空白详细规范 表面安装预调电位器 评定水平EZ.pdf
ICS31.040.20 CCS L14 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42308-2023 电子设备用电位器 第6-1部分:空白详细规范 表面安装预调电位器 评定水平EZ Potentiometers for use in electronic equipment- Part 6-1:Blank detail specification-Surface mount preset potentiometers- Assessment level ez 2023-03-17发布 2023-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T 42308-2023 目 次 前言…………… I 引言……………… Ⅱ 1范围……………… ……………1 2规范性引用文件……………… ……………1 3术语和定义 义………………………………………… ……1 4要求…… ……….1 4.1安装方法………… ………1 4.2尺寸………… ……………1 4.3额定值和特性……1 4.4降功耗…… ………2 4.5标志…… …………2 4.6订货资料 …………2 4.7放行批的证明记录… ……………………… ………………2 4.8附加内容(不检验) ………2 4.9附加的或高于总规范和/或分规范规定的严酷等级的要求…………………2 4.10详细规范应规定的内容 ………2 5检验要求 …… 2 GB/T42308-2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 本文件是《电子设备用电位器》的第6-1部分,《电子设备用电位器》已经发布了以下部分: —第1部分:总规范(GB/T15298一1994); —第2部分:分规范:螺杆驱动和旋转预调电位器(GB/T15299一1994); ——第2部分:空白详细规范:螺杆驱动和旋转预调电位器评定水平E(GB/T15300一1994); —第3部分:分规范:旋转式精密电位器(GB/T15880一1995); 一第3部分:空白详细规范:旋转式精密电位器评定水平E(GB/T15881一1995); —第4部分:分规范:单圈旋转式功率电位器(GB/T17025一1997); —第4部分:空白详细规范:单圈旋转式功率电位器评定水平E(GB/T17026一1997; —第4部分:空白详细规范:单圈旋转式功率电位器评定水平F(GB/T17027一1997); —第5部分:分规范:单圈旋转式低功率电位器(GB/T16515一1996); —第5部分:空白详细规范:单圈旋转式低功率电位器评定水平E(GB/T17028一1997); —第5部分:空白详细规范:单圈旋转式低功率电位器评定水平F(GB/T17029一1997; —第6部分:分规范表面安装预调电位器(G...
GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法.pdf
ICS77.040 CCS H 17 G 中华人民共和国国家标准 GB/T42276—2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder- Ion chromatography method 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42276-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏 塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属 技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司. 本文件主要起草人:银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、 张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍. I GB/T42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 1范围 本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法. 本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定,测试范围为0.0500mg/g~0.600mg/g. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T14666分析化学术语 3术语和定义 GB/T14666界定的术语和定义适用于本文件. 4方法原理 氮化硅粉体样品在氧气和水蒸气混合气流中燃烧水解,氮化硅中的氟、氯分别转化为挥发性氟化物 和氯化物,并以离子形式溶于水中,用离子色谱仪测定氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量. 5干扰因素 5.1样品的称样量过大会造成燃烧不充分,进而影响测试结果,建议称取0.100g试样. 5.2样品与石英砂应混合均匀,平铺于瓷方舟内,否则会影响测试结果. 5.3氧气流量过大或过小都会影响燃烧结果,建议调整氧气流量为400mL/min. 5.4燃烧水解装置的密封性应足够好,否则会造成检测结果偏低. 6试...
GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定 离子色谱法.pdf
ICS77.040 CCS H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42276—2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 Determination of fluorine ion and chloride ion in silicon nitride powder- Ion chromatography method 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42276—2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:新特能源股份有限公司、新疆晶硕新材料有限公司、瑞士万通中国有限公司、江苏 塞夫特半导体材料检测技术有限公司、青岛盛瀚色谱技术有限公司、青岛普仁仪器有限公司、有色金属 技术经济研究院有限责任公司、江苏联瑞新材料股份有限公司、青岛瓷兴新材料有限公司. 本文件主要起草人:银波、邱艳梅、刘国霞、黄彬、李素青、张吉武、宋炳信、鲁文锋、王港、李玫、 张正霞、吴英良、侯倩慧、王晓娇、曹家凯、高裕昆、崔巍. I GB/T42276—2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子 含量的测定离子色谱法 1范围 本文件描述了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的离子色谱测定方法. 本文件适用于氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定,测试范围为0.0500mg/g~0.600mg/g. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备 GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法 GB/T14666分析化学术语 3术语和定义 GB/T14666界定的术语和定义适用于本文件. 4方法原理 氮化硅粉体样品在氧气和水蒸气混合气流中燃烧水解,氮化硅中的氟、氯分别转化为挥发性氟化物 和氯化物,并以离子形式溶于水中,用离子色谱仪测定氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量. 5干扰因素 5.1样品的称样量过大会造成燃烧不充分,进而影响测试结果,建议称取0.100g试样. 5.2样品与石英砂应混合均匀,平铺于瓷方舟内,否则会影响测试结果. 5.3氧气流量过大或过小都会影响燃烧结果,建议调整氧气流量为400mL/min. 5.4燃烧水解装置的密封性应足够好,否则会造成检测结果偏低. 6...
GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法.pdf
ICS77.040 CCS H 17 G 中华人民共和国国家标准 GB/T42274—2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及 分布的测定二次离子质谱法 Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium gallium)in aluminum nitride materials-Secondary ion mass spectrometry 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42274-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公 司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司. 本文件主要起草人:齐俊杰、魏学成、闫丹、李素青、卫喆、胡超胜、李志超、许磊、王军喜、李晋闽、 魏明、刘江华、张成荣. GB/T42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及 分布的测定二次离子质谱法 1范围 本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法. 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于 1×1016cm-3 元素含量(原子个数百分比)不大于1%. 注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T25186表面化学分析二次离子质谱由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子 GB/T32267分析仪器性能测定术语 3术语和定义 GB/T14264、GB/T22461、GB/T25186、GB/T32267界定的术语和定义适用于本文件. 4方法原理 在高真空(真空度优于10-7Pa)条件下,氧离子源产生的一次离子,经过加速、纯化、聚焦后,轰击氮 化铝样品表面,溅射出多种粒子,将其中的二次离子引出,通过质谱仪将不同质荷比的离子分开,记录样 品中待测元素24Mg、69Ga和基质元素27A1的离子计数率之比.利用相对灵敏度因子定量...
GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法.pdf
ICS77.040 CCS H 17 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42274-2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及 分布的测定二次离子质谱法 Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium gallium)in aluminum nitride materials-Secondary ion mass spectrometry 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42274-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公 司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司. 本文件主要起草人:齐俊杰、魏学成、闫丹、李素青、卫喆、胡超胜、李志超、许磊、王军喜、李晋闽、 魏明、刘江华、张成荣. I GB/T42274—2022 氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及 分布的测定二次离子质谱法 1范围 本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法. 本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定,测定范围为镁、镓的含量均不小于 1×1016cm-3 元素含量(原子个数百分比)不大于1%. 注:氮化铝单晶中待测元素的含量以每立方厘米中的原子个数计. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T25186表面化学分析二次离子质谱由离子注入参考物质确定相对灵敏度因子 GB/T32267分析仪器性能测定术语 3术语和定义 GB/T14264、GB/T22461、GB/T25186、GB/T32267界定的术语和定义适用于本文件. 4.方法原理 在高真空(真空度优于10-7Pa)条件下,氧离子源产生的一次离子,经过加速、纯化、聚焦后,轰击氮 化铝样品表面,溅射出多种粒子,将其中的二次离子引出,通过质谱仪将不同质荷比的离子分开,记录样 品中待测元素4Mg、9Ga和基质元素7A1的离子计数率之比.利用相对灵敏度因子...
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法.pdf
ICS77.040 CCS H 21 中华人民共和国国家标准 GB/T42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率 非接触测试方法 Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42271-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、安 徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十六 研究所. 本文件主要起草人:彭同华、余宗静、王大军、张贺、李素青、王波、杨建、袁松、刘立娜. I GB/T42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率 非接触测试方法 1范围 本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法. 本文件适用于测量电阻率范围为1×1050cm~1×10120cm的半绝缘碳化硅单晶片. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB/T30656碳化硅单晶抛光片 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4原理 非接触式电阻率测试采用电容充放电原理.首先对样品进行瞬时充电,再利用仪器实时监测放电 过程中的电量,从而得到其变化的弛豫曲线,之后对该曲线进行数学分析得到弛豫时间(),最后通过 弛豫时间()计算出半绝缘碳化硅单晶的电阻率. 5试验条件 5.1测试过程中用的测试机台应无振动、无电磁干扰且良好接地. 5.2温度:(23士3)℃;相对湿度(RH):60%士20%. 6干扰因素 6.1不同的光强,对电阻率的测试结果有影响,在测试过程中应关闭设备的遮光罩. 6.2静电、振动测试环境对电阻率的测试结果有影响,测试过程中应采取严格的屏蔽措施. 6.3样品表面、吸附载物台及测试探头上的颗粒沾污会影响半绝缘碳化硅单晶片的电阻率,测试前应 确认样品表面、吸附载物台及测试探头无肉眼可见的大颗粒沾污. 6.4样品厚度的变化会对...
GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法.pdf
ICS77.040 CCS H 21 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率 非接触测试方法 Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会 GB/T42271-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:北京天科合达半导体股份有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、安 徽长飞先进半导体有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国电子科技集团公司第四十六 研究所. 本文件主要起草人:彭同华、余宗静、王大军张贺、李素青、王波、杨建、袁松、刘立娜. I GB/T42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率 非接触测试方法 1范围 本文件描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法. 本文件适用于测量电阻率范围为1×1050cm~1×10120cm的半绝缘碳化硅单晶片. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB/T30656碳化硅单晶抛光片 3术语和定义 GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件. 4原理 非接触式电阻率测试采用电容充放电原理.首先对样品进行瞬时充电,再利用仪器实时监测放电 过程中的电量,从而得到其变化的弛豫曲线,之后对该曲线进行数学分析得到弛豫时间(),最后通过 弛豫时间(r)计算出半绝缘碳化硅单晶的电阻率. 5试验条件 5.1测试过程中用的测试机台应无振动、无电磁干扰且良好接地. 5.2温度:(23士3)℃;相对湿度(RH):60%士20%. 6干扰因素 6.1不同的光强,对电阻率的测试结果有影响,在测试过程中应关闭设备的遮光罩. 6.2静电、振动测试环境对电阻率的测试结果有影响,测试过程中应采取严格的屏蔽措施. 6.3样品表面、吸附载物台及测试探头上的颗粒沾污会影响半绝缘碳化硅单晶片的电阻率,测试前应 确认样品表面、吸附载物台及测试探头无肉眼可见的大颗粒沾污. 6.4样品厚度的变...
GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法.pdf
ICS77.040 CCS H 17 G 中华人民共和国国家标准 GB/T42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法 Determination of nitrogen content in silicon single crystal-Secondary ion mass spectrometry method 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T42263-2022 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口. 本文件起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任 公司. 本文件主要起草人:马农农、何友琴、李素青、陈潇、刘立娜、何炬坤. I GB/T42263-2022 硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法 1范围 本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法. 本文件适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×102ocm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定,测定 范围不小于1×1014cm-3. 注:硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计. 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于 本文件. GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T32267分析仪器性能测定术语 3术语和定义 GB/T14264、GB/T22461和GB/T32267界定的术语和定义适用于本文件. 4原理 在高真空(真空度优于5×10-7Pa)条件下,铯离子源产生的一次离子,经过加速、纯化、聚焦后,轰 击硅单晶样品表面,溅射出多种粒子.将其中的离子(即二次离子)引出,通过质谱仪将不同质荷比的离 子分开,记录不同速率条件下样品中氮硅复合离子(11N28Si)与主元素硅(28Si或者29Si或者Si一)的 离子强度.利用相对灵敏度因子法定量分析并计算出硅单晶中氮元素的含量以及仪器的背景氮含量. 5干扰因素 5.1样品表面硅氧化物中的氮可能影响氮含量测试结果的准确度. 5.2从二次离子质谱仪(SIMS)仪器样品室和固定装置上吸附到样品表面的氮可能影响氮含量测试结 果的准确度. 5.3测试氮的时候采用质量数为42的14N28Si离子,碳会以12C8Si形式干扰氮含量的测试,从而影响 ...