JJF
中华人民共和国工业和信息化部 电子计量技术规范
JJF（电子）0060-2021
半导体工艺用安时计现场 校准规范
Field Calibration Specifications for Ampere -hourMeters ofSemiconductor Process
中华人民共和国工业和信息化部发布
半导体工艺用安时计现场 校准规范
Field Calibration Specifications forAmpere-hour Meters ofSemiconductor Process
归口单位：中国电子技术标准化研究院主要起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所
本规范技术条文委托起草单位负责解释
本规范主要起草人：
参加起草人：
乔玉娥（中国电子科技集团公司第十三研究所）吴爱华（中国电子科技集团公司第十三研究所）荆晓冬（中国电子科技集团公司第十三研究所）
翟玉卫（中国电子科技集团公司第十三研究所）任宇龙（中国电子科技集团公司第十三研究所）张立飞（中国电子科技集团公司第十三研究所）
目
引言 (125)1范围 (126)2术语和计量单位 (126)3概述. (126)4计量特性 (127)4.1 安时 (127)4.2 直流电流 (127)4.3 校准条件 直流电压 (127) (127)5.1 环境条件 (127)5.2 校准用设备 (127)6校准项目和校准方法 (128)6. 1 校准项目 (128)6.2 外观及工作正常性检查 (128)6.3 校准方法 (128)校准结果表达 (131)8复校时间间隔 (131)9附录 (131)附录A (132)附录B (133)附录C (134)
引 言
本规范依据JJF1071-2010《国家计量校准规范编写规则》、JF1059.1-2012《测量不确定度评定与表示》编写.
本规范为首次发布.
