SJ 中华人民共和国电子行业标准 FL6190 SJ21319-2018 涂胶设备工艺验证方法 Technological verification methods for spin-coating platform 2018-01-18发布 2018-05-01实施 国家国防科技工业局发布 SJ21319-2018 前言 本标准的附录A为资料性附录. 本标准由中国电子科技集团公司提出. 本标准由工业和信息化部电子第四研究院归口. 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第 二研究所 本标准主要起草人：王卫华、 INDUSTR HO XHISIN NFORMATION TECHNO SJ STANDARDS I SJ21319-2018 涂胶设备工艺验证方法 1范围 本标准规定了涂胶设备工艺性能的验证条件、验证方法等内容. 本标准适用于涂胶设备（以下简称涂胶机）工艺性能的验证. 2规范性引用文件 下列文件中的条款通RV AND INFORM 标准的引用而成为本标准的条款.凡是注期的引用文件，其随后的 修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这坚文件的最新版本凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用亦本标准. GB/T2591512010 清净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3术语和定 3.1 TECHNO 涂胶spin coating 利用高速正转的方式，通过控制转速、加速度、时间等关键要素在晶圆片上获取所需厚度的光刻胶 涂层. 4一般要求 A90 4.1验证试验前受试涂胶机状态控制 应通过以下措施保证式验前受试涂胶机的技术状态： a)送验方应提前向承试方提交产品规范和受试涂胶机 b)受试设备主要技术性能必须达 到 品规范所规定的要求 c)承试方对受试设备进行相应的调整和校准： d)承试方检查并记录受试设备的有关技术参数和工作状态，记录格式参见附录A中的表A.1. 4.2验证试验过程中受试涂胶机状态控制 应通过以下措施保证试验过程中受试涂胶机的技术状态： a)受试旋涂机移交后，由承试方负责组织实施涂胶机的验证试验工作； b)未经承试方同意，不得随意更改、调试受试涂胶机的工作状态： c)试验期间受试涂胶机的使用、维护和保养，应按送验方提供的涂胶机使用说明书巾的有关规定 执行； d) 应记录试验期间受试涂胶机所发生的故障及其检查排除情况，应予以记录，记录格式参见附录 A中的表A.2: 1 ...
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