ICS31.220 CCS L95 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T40577-2021 集成电路制造设备术语 Terminology for integrated circuit(IC)manufacturing equipment 2021-10-11发布 2022-05-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T40577-2021 目 次 前言 Ⅲ 1范围 1 2规范性引用文件1 3基础术语 .1 4晶体生长加工设备 2 5掩模制造设备 5 6光刻与刻蚀设备 8 7掺杂设备 15 8薄膜淀积设备 17 9清洗设备 23 10封装设备 .24 11检测设备 27 12公用部件34 参考文献3 索引 .38 GB/T40577-2021 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口. 本文件起草单位：中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团 有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备 (集团)股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司. 本文件主要起草人：张军华、冯亚彬、曹可慰、曹建伟、裴会川、朱亮、周哲、武小娟、杜若听、唐彩红、 丁晓民、傅林坚、魏唯、田涛、刘英斌、李国平、王宏智. ...
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