ICS31.030 L90 备案号：50564-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11507—2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 Oxide coating etching buffer for integrated circuit 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11507—2015 前 言 本标准是按照GB/T1.1一2009之规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院. 本标准主要起草人：戈士勇、何珂 周腹、王首、装会川. AND INDUSTRY TECHINOL SJ STANDARDS 1 SJ/T11507—2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 1范围 本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、 标志、储存、运输等. 本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液 本标准不涉及使用安全性问题.本标准的使 应负责建适当的安全健康条款及使用范围的限 制. 2规范性引用文件 STRY 下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引 用件，仅所日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期 用文件，其最新版本（包指的修改单）适用于本文件 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 601 学试剂标准滴定溶液的制各 GB/T 602 化学试剂杂服测定用标准溶波的制备 GB/T 603 化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂色度定通用方法 GB/T6678化工产品采样总则 GB/T6682分实验室用水规格和试验方法 GB/T9727 化学试剂磷酸盐测定通用方法 ECHNOLOGY GB/T9728 化学剂硫酸盐测定通用方法 GB/T9729化学试秒氯化物测定通用方法 GB/T9742化学试剂硅酸盐测定通用方法 B50472电子工业洁净广房设计范VDARDS GB/T11446.1电子级 水 GB15258化学品安全标签编写规 SJ/T11510一2015液晶显示器用铝腐钟 3术语和定义 超纯硝酸ultrapure nitric acid 金属离子含量不大于1μg/L的硝酸. 1 ...
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