ICS29.045 H82 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T31854—2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的 电感耦合等离子体质谱测量方法 Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry 2015-07-03发布 2016-03-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T31854-2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC2)共同提出并归口. 本标准起草单位：信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、江苏中能硅 业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、国家电子功能与辅助材料质量监督检验中心、天津市 环欧半导体材料技术有限公司. 本标准主要起草人：褚连青、王奕、徐静、王鑫、何秀坤、裴会川、冯亚彬、鲁文峰、余慧茹、张雪囡. S4c I GB/T31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的 电感耦合等离子体质谱测量方法 警告一使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验.本标准并未指出可能的安全问 题.使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件. 1范围 本标准规定了利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质 含量的方法. 本标准适用于光伏电池用硅材料中痕量体金属杂质铁、铬、镍、铜、锌含量的测定.各元素的测量范 围见表1. 表1体金属杂质含量测量范围 单位为纳克每克 元素名称 元素符号 测量范围 Cr 1~2X103 铁 Fe 2~2X103 镍 Ni 1~2X10 铜 Cu 2~2X103 锌 Zn 2~2X103 注：在实验室综合条件允许的情况下，检测下限可进一步降低. 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件. GB/T25915.1一2010洁净室及相关受控环境第1部分：空气洁净度等级 3方法提要 将试样用硝酸和氢氟酸的混合物溶解，加热使溶液蒸干，溶液中的硅以SF的形式挥发.然后用 硝酸溶液溶解残渣，用超纯水定容后利用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定溶液中待分析金属元 素的含量. 4干扰因素 4.1实验室的洁净度、容器和仪器进样系统的洁净度、试剂和水的纯度以及操作过程等因素直接影响 测量结果的准确度，应严格控制. ...
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