ICS31.030 L90 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T10553—2021 代替SJ/T10553一1994 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分 析方法 Method of emission spectrochemical analysis of impurities in ZrO2 for use in electron ceramics 2021-03-05发布 2021-06-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 e SJ/T10553-2021 前言 本标准按照GB/T1.1一2009制定的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准代替SJ/T10553一1994《电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法》，本标准与SJ/T 10553一1994相比，主要有如下变动： —按GB/T1.1一2009规定的格式进行了修改. 删除了“米吐尔——海德路显影液和定影液”中的“米吐尔——海德路”.（见3.10，SJT 105531994的3.j) 将光谱干板由国产型改为国产型， 型号为9区24规格.（见3.9，SJ/T10553一1994的 3.i) 1 一“交流电弧发生 修改为“直流电弧发生器”. (见4.2SJT10553一1994的4b) —仪器设备中增加了马弗炉、烘箱.（见4.9 4.10） 一 分析步骤中增加了预曝光时间.（见6.2） 6 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会(SAC/IC203)提出并归四 Su 本标准起草单位中国电子技术标准化研究院. 本标准主要起草人：张旭、张理、裴会川 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： SJ/T10558 1994 STANDARDSI ...
SJ/T 10553-2021 电子陶瓷用二氧化锆中杂质的发射光谱分析方法.pdf
