ICS29.045 CCS H 80/84 CASA 第三代半导体产业技术创新战略联盟 China advanced semiconductor industry innovation alliance 111 团 体 标 准 T/CASAS 026—2023 碳化硅少数载流子寿命测定 微波光电导衰减法 Test method for minority carrier I ifetime in silicon carbide- microwave photoconductive decay 版本：V01.00 2023-06-19发布 2023-06-19实施 第三代半导体产业技术创新战略联盟发布 T/CASAS026—2023 目 次 前言 III 引言 IV 1范围 ..1 2规范性引用文件 3术语和定义 4方法原理 5干扰因素 3 6仪器设备 3 7试样. 4 8测试环境. 4 9测试注意事项 4 9.1仪器校准. 4 9.2测量点分布 4 4 10全片扫描 11试验报告 4 参考文献 5 1 T/CASAS026—2023 前言 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任. 本文件由北京第三代半导体产业技术创新战略联盟标准化委员会(CASAS)制定发布，归CASAS ，未经CASAS许可不得随意复制；其他机构采用本文件的技术内容制定标准需经CASAS允许；任何 单位或个人引用本文件的内容需指明本文件的标准号. 本文件主要起草单位：山东大学、广州南砂晶圆半导体技术有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有 限公司、广东天域半导体股份有限公司、泰科天润半导体科技（北京）有限公司、杭州海乾半导体有限 公司、安徽长飞先进半导体有限公司、中国科学院半导体研究所、中电化合物半导体有限公司、北京第 三代半导体产业技术创新战略联盟. 本文件主要起草人：杨祥龙、崔心、彭燕、徐现刚、来玲玲、于国建、冯淦、丁雄杰、秋琪、林 云昊、赵海明、钮应喜、金向军、徐瑞鹏. ...
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