ICS19.08 CCS K 80 T/GVS 团 体 标准 T/GVS007—2022 射频电源动态阻抗测试方法 Test method for dynamic impedance of RF generator 2022-07-11发布 2022-07-11实施 广东省真空学会发布 T/GVS007—2022 目 次 1范围. 3 2规范性引用文件. 3 3术语和定义 3 4原理.， 3 5测试环境条件， 4 6仪器设备..... 4 6.1测试仪器设备 4 6.2网络分析仪. .. 4 6.3射频功率测量仪...... 4 7测试方法... 4 7.1射频电源工作状态..... 4 7.2测试负载工作状态..... ....4 7.3测量步骤.. 6 8测试报告...... .7 附录A(资料性)射频功率测量值与负载设备阻抗测量值记录格式.8 附录B(规范性)射频电源动态阻抗系数的计算方法. 9 B.1反射系数（Γ）计算 .........9 B.2等功率图绘制 .10 B.3动态阻抗系数（增益和最大梯度角）计算. 11 附录C(规范性)最佳电缆长度计算方法15 C.1应用场合 .....15 C.2等离子体阻抗轨迹角计算. .15 c4最佳电缆长度计算示何 C.3额外线缆长度计算. ......16 . . ..16 I ...
T/GVS 007-2022 射频电源动态阻抗测试方法.pdf
