中华人民共和国国家标准
GB/T 47097-2026
氮化铝单晶抛光片
Polished monocrystalline aluminum nitride wafers
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
snc
目次
前言1范围2规范性引用文件3术语和定义4分类与牌号5技术要求6试验方法 7检验规则8标志、包装、运输、贮存及随行文件9订货单内容附录A（规范性）氮化铝单晶抛光片位错密度测试方法
sh
前言
本文件按照GB/T1.1-2020（标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准
本文件起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、奥趋光电技术（杭州）有限公司、北京中材人工晶体研究院有限公司、江苏第三代半导体研究院有限公司、北京大学、深圳大学、北京大学东莞光电研究院、中电晶华（天津）半导体材料有限公司.
本文件主要起草人：张丽、何短坤、程红娟、王英民、贺东江、李素青、姚康、吴亮、周振翔、王琦琨、齐海涛、于彤军、武红磊、王新强、李明达.
