中华人民共和国国家标准
GB/T29190-2012
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
前言引言1范围 规范性引用文件3 术语和定义、缩略.4测量方法5要求5.1仪器要求5.2环境要求6测量步骤7测量报告附录A（规范性附录） 图像相关分析法附录B（规范性附录） 特征点法 非周期光栅法附录C（规范性附录） 附录D（资料性附录） 原子光棚法附录E（资料性附录） 测量方法比较 12参考文献 15
前言
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草本标准由中国科学院提出并归口.本标准由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口.本标准起草单位：中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院.本标准主要起草人：黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一.
引言
一.对于具有纳米级以至原子级分辨力的SPM，其时间稳定性与仅器的设计、操作环境和使用等密切 扫描探针显微镜（ScanningProbe Microscope，以下简称SPM）是纳米科学与技术中的主要工具之相关.作为SPM的重要规格参数，漂移速率的大小直接关系着SPM的使用性能，例如，无失真图像的连续获取、样品局域物化特性的测量、样品表面动态特性的实时观测、微纳装配和操纵等.此外，漂移速率的大小对于评价仪器也有重要指导意义.目前，许多SPM配置漂移补偿模块或闭环控制模块：尽管漂移速率大幅降低，但漂移依然存在.因此，SPM在r、y和：方向漂移速率的定义和漂移速率测量 方法的规范化具有重要意义.
本标准给出了SPM在x、y和方向漂移速率的测量方法，以便于制造商在仪器规格中提供漂移数据，帮助用户表征仪器漂移特性.
扫描探针显微镜漂移速率测量方法
1范围
图像的漂移速率测量基本方法. 本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描
本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量.本标准中的漂移测量不适用于图像校正.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T15000.3标准样品工作导则（3）标准样品定值的一般原则和统计方法：
JF1001通用计量术语及定义；
JF 1059测量不确定度评定与表示（ISOGUM：1995，IDT）；
ISO18115表面化学分析名词，第2部分：扫描探针显微镜适用术语（Surfacechemicalanalysis-Vocabulary- Part 2; Terms used in scanning-probe microscopy)
3术语和定义、缩略语
GB/T20000.1界定的以及下列术语和定义、缩略语适用于本文件.
3.1术语和定义
3. 1. 1
SPM仪器中探针相对于样品的实际位置与设定位置的偏差.注：参数设置均可能产生漂移，如x、y、2方向的位移、激光光斑在悬臂梁上的位置，扫近场光学显微镜的光源强度等.本标准中，漂移限定为x、y和：方向上探针相对于样品设定位置的改变.
3. 1. 2
漂移速率drift rate
一定时间间隔内的漂移与该时间间隔之比.注1：时间阿隔通常选定为连续扫描得到的相邻图像间的时间.注2：漂移速率可给定为x、y和：方向的漂移速率，或相应矢量的合成幅值.
3.1.3
设定时间settling time
从选定待测量的样品区域或样品上的点开始至漂移测量的时间间隔.注：设定时阿通常选为5 min~60min.
3.2缩略语
下列缩略语适用于本文件.
