中华人民共和国国家标准
GB/T 34177-2017
光刻用石英玻璃晶圆
Quartzglass wafer for lithography
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准由中国建筑材料联合会提出，
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会（SAC/TC447）归口.
本标准起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、中建材衢州金格兰石英有限公司、长沙部光络版有限公司、中国建筑材料科学研究总院、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心.
本标准主要起草人：吴洁、王京侠、王友军、李式舟、花宁、刘焕敏、肖颂华、聂兰舰、张浩运、杨晓会、杨学东、孔敏、张应语.
光刻用石英玻璃晶圆
1范围
本标准规定了光刻用石英玻璃品圆（以下简称石英玻璃晶圆）的术语和定义、分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存.
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS）、光电器件和发光二极管（LED）等光刻工艺中用做衬底的石英玻璃晶圆.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T3284-2015石英玻璃化学成分分析方法GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线试验方法JC/T185光学石英玻璃 GB/T32189氮化单晶衬底表面租糙度的原子力显微镜检验法JC/T655石英玻聘制品内应力检验方法JC/T2205石英玻璃术语
3术语和定义
JC/T2205界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1
总厚度变化total thicknessvariation;TTV
石英玻璃晶圆厚度的最大值和最小值间的差.
3.2
平整度flatness
石英玻璃品圆一个表面为理想平面时，例如，石英玻璃晶圆一个表面由真空吸盘吸附在一个理想、平坦的吸盘上，其另一表面相对于规定的基准面的偏差，以测量范围内总的示值读数（TIR）表示.
3.3
弯曲度bow
自由无夹持的石英玻璃晶圆中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离.注：中位面基准平面是由指定的属周上的三个等距离点决定的平面，该阅周的直径小于石英玻璃品属标称直径.3.4
自由无夹持的石英玻璃晶阅中位面相对于参照平面的最大和最小距离之差.
4分类
石英玻璃晶圆按纯度分为高纯石英玻璃晶圆（GC）和普通石英玻聘晶圆（PT）.
5要求
5.1规格尺寸及尺寸偏差
5.1.1石英玻璃晶圆的形状如图1a）和图1b）所示，常规直径为50.80mm.76.20mm、100.00mm、125.00mm、150.00mm、200.00mm、300.00mm.直径偏差应不超过±0.25mm.
a）带定位直边的石英玻璃晶圆外形示意图
b）带定位角的石英玻璃晶圆外形示意图
说明：
质量区：d-石英玻璃品团直径； 2 非质量区；-石英玻璃品团定位直边长度.
图1石英玻璃晶圆外形示意图
5.1.2常规定位直边长度为22.5mm32.5mm 42.5mm、47.5mm、57.5mm，定位直边长度偏差应不超过±2.0mm.5.1.4石英玻聘晶圆常规厚度为0.525mm.0.550mm、0.625mm.0.675mm.1.000mm、1.100mm、1.200mm.厚度偏差不超过±0.020mm.5.1.5石英玻聘晶圆总厚度变化应符合表1的规定.
5.1.3定位角为90*，深度为1.00mm，定位角顶角为圆弧状.
表1总厚度变化（TTV）
直径a 总厚度变化（TTV）mm50 80 76.20100 00 125 00 150 00200 00 ≤10300 00 供需双方商定
5.2外观质量
5.2.1石英玻聘晶圆正表面、背表面、圆周边部与定位直边边部应抛光.
5.2.2高纯石英玻璃品圆质量区的外观质量应符合表2的规定.非质量区边角崩落的长度、宽度、深度应不大于0.3mm，其他要求由供需双方商定.
表2高纯石英玻璃晶圆质量区的外观质量要求
缺陷名称 指标气泡、透明杂质、不透明杂质 直径大于0.03mm不准许裂纹、波纹、麻点 不准许划伤 最大宽度不得超过0.06mm，长度不得超过0.6mm，划伤总长度不准许超过质量区半径的一半凹坑 直径不得超过0.04mm.凹坑的直径总和不得超过0.08mm钻污、手指印 不准许
5.2.3普通石英玻聘晶圆的外观质量由供需双方商定.
5.3平整度、弯曲度、翘曲度
石英玻璃晶圆平整度、弯曲度、翘曲度由供需双方商定.
5.4表面粗糙度
石英玻璃晶圆表面粗糙度Ra应不大于1.0nm.
