中华人民共和国国家标准化指导性技术文件
GB/Z 43684-2024/IECTS62622:2012
Nanotechnologies-Description，measurement and dimensionalquality parameters of gratings
（IEC TS 62622:2012，Nanotechnologies-Description，measurement anddimensional quality parameters of artificial gratings IDT)
国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
目次
前言引言1范围2规范性引用文件3术语和定义3.1基本术语3.2光栅相关术语3.3光栅的种类 3.4光栅质量参数术语3.5表征光栅的测量方法类别4缩略语 105光栅校准和质量表征方法 105.1 概述 105.2全局方法 105.3局部方法. 115.4混合方法 115.5各种方法的对比 125.6光栅特征的其他偏差 125.7光栅质量表征的滤波算法 146光栅表征结果的报告 6.1通则 146.2光栅规格 146.3校准程序 15 146.4光栅质量参数 15附录A（资料性） 背景信息和示例附录B（资料性）布拉维格子 24参考文献
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
本文件等同采用IECTS62622：2012《纳米技术人造光栅的描述、测量和尺寸质量参数》，文件类型由IEC的技术规范调整为我国的国家标准化指导性技术文件.
本文件做了下列最小限度的编辑性改动：
将标准名称改为（纳米技术光栅的描述、测量和尺寸质量参数》；
将IECTS62622：2012中未被引用的术语特征位置的相对偏差”和特征位置的相对线性度
请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国科学院提出.
本文件由全国纳米技术标准化技术委员会（SAC/TC279）归口.
本文件起草单位：中国计量科学研究院、北京大学、清华大学、苏州苏大维格科技集团股份有限公司、广纳四维（广东）光电科技有限公司.
本文件主要起草人：李伟、李适、朱振东、李群庆、陈林森、李晓军、高思田、李琪、施玉书、黄鹭、史瑞、乔文、华鉴瑜.
