中华人民共和国国家标准
GB/T47089-2026
蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的 测定方法
Test method for determining geometrical parameters of patterns onpatterned sapphire substrate
国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布
前言
本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
化技术委员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）共同提出并归口. 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC203）与全国半导体设备和材料标准
电股份有限公司、天通银厦新材料有限公司、松山湖材料实验室、南京同深品体材料研究院有限公司.
本文件主要起草人：张能、米波、肖桂明、朱品、王子荣、朱广敏、康凯、鲁雅荣、王新强、徐军、袁冶.
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蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数的 测定方法
1范围
本文件描述了蓝宝石图形化衬底表面图形儿何参数的测定方法.本文件适用于蓝宝石图形化衬底表面单个图形和图形阵列几何参数的测定.
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款.其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件：不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T14264半导体材料术语GB/T25915.1-2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气活净度等级GB/T43662蓝宝石图形化衬底片
3术语和定义
GB/T14264和GB/T43662界定的以及下列术语和定义适用于本文件.
3.1
点位point position
蓝宝石图形化衬底测试位置按照儿何中心定义原点坐标，依据不同位置的坐标所定位的测试点.
4原理
4.1反射率测定法
利用蓝宝石图形化衬底表面不同图形大小对应反射率数值的差异，获取反射率平均值、反射率最大值、反射率最小值、反射率变异系数、反射率极差等特征值，对整体区域多个图形组成的阵列进行量测表 征，全面性评估.
4.2原子力显微镜测定法
通过收集待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究样品表面的结构及性质，可直接测定蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数中确定位置的图形高度、图形底宽.
4.3扫描电子显微镜测定法
用聚焦的很窄的高能电子束扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，从而测定蓝宝石图形化衬底表面图形几何参数中单个图形的周期、高度、底宽、间距、图形底部夹角和图形弧间距.
