中华人民共和国国家标准
GB/T11071-2018代替GB/T11071-2006
区熔锗锭
Zone-refined germanium ingot
中国国家标准化管理委员会 国家市场监督管理总局 发布
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.
本标准代替GB/T11071-2006(区熔锗锭),与GB/T11071-2006相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
一范围进一步明确为”本标准适用于以还原储锭及储单品返料为原料,经区熔提纯工艺制备得到 的区熔储锭.ZGe-0区熔储锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯单品:ZGe-1区熔储锭主要用于制备红外光学用的储单品、太阳能电池用的锗单品及各类锗-铬、储-硅合金等”(见第1章).
一增加了区熔储锭在(23土0.5)℃下电阻率的要求(见3.2).
一"同一根储锭的最大与最小截面面积之差不大于平均截面面积的15%”修改为"同一根区熔储锭的头尾两编的高度差不大于4mm"(见3.3,2006年版的3.3).
*锭长100mm~500mm”修订为“长度应不小于100mm”(见3.3,2006年版的3.3).
增加了区熔锗锭的表面应无孔润的要求(见3.4,2006版的3.4).
本标准由中国有色金属工业协会提出.
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口.
本标准起草单位:云南临沧鑫圆储业股份有限公司、有研光电新材料有限责任公司、中储科技有限公司、衡阳恒荣高纯半导体材料有限公司、广东先导稀材股份有限公司、锡林郭勒通力储业有限责任公司、云南东昌金属加工有限公司.
尹士平、王晓华. 本标准主要起草人:包文东、普世坤、李贺成、冯德伸、惠峰、范德胜、朱知国、李正美、董汝昆、朱刘、
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
=GB/T 110711989 GB/T 11071-2006
区熔锗锭
1范围
(或合同)内容. 本标准规定了区熔储锭的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单
本标准适用于以还原锗锭及锗单晶返料为原料,经区熔提纯工艺制备得到的区熔储锭.ZGe-0区熔储锭主要用于制备半导体及高纯锗探测器用的高纯锗单晶:ZGe-1区熔锗锭主要用于制备红外光学和太阳能电池用的储单品及各类储-铬、诸-硅合金等.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件.凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括的修改单)适用于本文件.
GB/T4326非本征半导体单品霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
YS/T602区熔锗锭电阻率测试方法两探针法
3要求
3.1产品分类
区熔储锭按电学性能分为两个牌号:ZGe-0、ZGe-1.
3.2电学性能
区熔锗锭的电学性能应符合表1的规定.电阻率可选择采用在20C或23C的条件下进行测试,并满足表1的规定.
表1电学性能
电阻率/(Ωcm) 检测单品的参数(77K)牌号 (20±0.5) (23±0 5) 载流子浓度 载流子迁移率≤1.5×10² cm²2/(V S)ZGe-0 ZGe-1 >50 ≥47 ≥47 3.7×10
3.3尺寸外形
区熔锗锭的横截面应为梯形,同一根区熔锗锭的头尾两编的高度差应不大于4mm,区熔锗锭的
GB/T 11071-2018
上宽应不小于26mm,下宽应不小于21mm,高度应不小于23mm,长度应不小于100mm
3.4表面质量
区熔储锭的表面应呈银灰色光泽,无氧化膜、裂纹、孔洞和浮渣.
3.5其他
需方如对产品电学性能和尺寸外形等有其他特殊要求,可由供需双方另行商定.
4试验方法
4.1区熔储锭的电阻率检验按YS/T602的规定沿区熔储锭底面的中心线纵向进行检验,点间距不大于30 mm.4.2错单品的载流子浓度和载流子迁移率的检验按GB/T4326的规定进行,测试样品从头部切取.4.3区熔锗锭的横截面尺寸用游标卡尺进行测量,长度用直尺进行测量.4.4区熔锗锭的表面质量用目视检查.
5检验规则
5.1检查和验收
5.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定,并填写质量证明书.时,应在收到产品之日起1个月内向供方提出,由供需双方协商解决.如需钟裁,仲裁取样按5.4进行.
5.2组批
区熔储锭应成批提交验收.每批应由同一牌号的产品组成,每批不大于100kg.
5.3检验项目
5.3.1每批产品应对电阻率、尺寸外形、表面质量进行检验.5.3.2ZGe-0牌号的产品需制成错单品后对载流子浓度,载流子迁移率进行检验.
5.4取样和制样
5.4.1尺寸外形和表面质量的检验应逐根进行.5.4.2电阻率的检验取样按总根数的10%抽取.5.4.3ZGe-0牌号产品的载流子浓度和载流子迁移率的取样按每批随机抽取1根,并按附录A规定的方法将其制备成储单品.
5.5检验结果的判定
5.5.1尺寸外形或表面质量的检验结果不合格时,判该根产品不合格.5.5.2电阻率的检验结果不合格时,判该批产品不合格.需双方协商确定. 2
6标志、包装、运输、贮存和质量证明书
6.1标志
6.1.1每根区熔错锭应密封于聚乙烯薄膜袋中,并在袋上贴上标签,注明供方名称、商标、牌号和批号.
b)产品名称和牌号: a)供方名称:c)批号.
6.2包装
6.2.1将密封于聚乙烯薄膜袋中的区熔储锭放在泡沫塑料垫的凹精内,然后叠放人符合环保要求的包装箱内,并用填料塞紧,以防区熔错锭审动.每箱区熔锗锭质量不大于50kg.包装箱外用包扎带捆率,箱外应有“防震”防潮”防腐蚀”字样或标志.
6.2.2ZGe-0牌号区熔储锭装箱时,若客户有需求,可在其中放人按附录A制备的锗单品及检测样品.锗单品和检测样品分别密封装在聚乙烯薄膜袋内,并计人批重,并在箱外注明”内有检测样品”字样.
6.3运输、贮存
区熔储锭在运输和贮存过程中要防止机械损伤、防腐蚀、防潮、防震动.
6.4质量证明书
每批产品应附有质量证明书,其上注明:
a)供方名称、地址、电话、传真:b)产品名称和牌号;c)批号; d)分析检验结果和技术监督部门印记;e)本标准编号;f)出厂日期(或包装日期).
7订货单(或合同)内容
本标准所列材料的订货单(或合同)应包括下列内容:
a)产品名称:b)牌号; c)尺寸外形、电阻率及其他特殊要求:d)数量;e)本标准编号:f)其他.