GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性.pdf

ICS17.040.20 CCS J04 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T33523.603-2022/ISO25178-603:2013 产品几何技术规范(GPS) 表面结构区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式 仪器的标称特性 Geometrical product specifications (GPS)-Surface texture:Areal- Part 603:Nominal characteristics of non-contact (phase-shifting interferometric microscopy)instruments (ISO25178-603:2013 IDT) 2022-12-30发布 2023-04-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发布 GB/T33523.603-2022/ISO25178-603:2013 目次 前言 引言……… 1范围……………………………………… 2规范性引用文件………… ……………1 3术语和定义…………………………………………………1 4影响量的描述……………………………… ………11 附录A(资料性)相移干涉(PSD)显微镜的组件…… ………………14 附录B(资料性)相移干涉(PSI)显微镜的工作原理………………15 附录C(资料性)相移干涉(PS1)显微镜的误差和修正……………… 18 附录D(资料性)与GPS矩阵模型的关系 21 参考文献 22 I ...