ICS31.030 L90 备案号：52023-2015 SJ 中华人民共和国电子行业标准 SJ/T11555—2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中 金属元素的含量 Determination of the metals'concentration of nitric acid by ICP-MS 2015-10-10发布 2016-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 SJ/T11555—2015 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草. 请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任. 本标准由全国半导体设备与材料标准化技术委员会.(SAC/TC203)归口. 本标准起草单位：苏州晶瑞化学有限公司、同济大学、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中 国电子科技集团公司第四十六研究所. 本标准主要起草人：刘兵、钱森林 匡春 樊志杰、王香、何秀坤. AI OF INDUSTRY RMATION TECHINO SJ STANDARDS SJ/T11555-2015 用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中 金属元素的含量 1范围 本标准规定了采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定硝酸中金属元素的试验方法. 本标准适用于电子工业用硝酸中痕量金属元素钠a)镁(Mg)、铝(A1)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、 钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、(Co)Ni) 锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅Pb)的测定 IPOR 锌(Zn)砷(As)、银(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、 本方法标准适用于痕量测推荐测定元素的浓度范围为 g10og/L. 应用本标准时，感合等离子体质谱仪(ICP-MS)应放在不低G50472中规定的10000级的 洁净室内，推荐1000级的洁净室 本标准不涉及使用安全性间本标准的使用人应负责建直当的实全健康条款及使用范围的限 制. 2规范性引用文 TECE 下列文件对下本文件的应用是必不可少的凡是期的引月文件，仅注日期的版本适用于本文件. 凡是不注日期的标准，其最版本（包括历有的修改单）适用于本文件. GB/T11446. 997电子级水 GB50472 电2业洁净厂房设计规范 MDOTO 3原理方法 样品由载气（氩气）引入雾化系统进行雾化后，以气溶胶的形式进 人等离子体中，在高温和惰性气 体氛围中，元素被电离成电的 离子，质谱仪根据各元素质荷比的同进行分离测定；硝酸中各元素 含量的测定采用标准加入法 ANDAR 4仪器和设备 4.1电感耦合等离子体质谱仪(1CP-MS) 配置动态反应池或其他类型的碰撞反应池. 4.2精密移液器及洁净的PP吸头 100uL 1000uLo 5试剂及材料 1 ...
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