中华人民共和国国家标准
GB/T32653-2016
微机械系统加速度检波器
Microelectro mechanical system acceleration geophone
中国国家标准化管理委员会 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布
目 次
前言1范围3术语和定义 2规范性引用文件4标记5要求5.1外观5.3单分量MEMS加速度检波器技术参数 5.2环境适应性5.4三分量MEMS加速度检波器技术参数6试验方法.6.1试验条件6.2外观检查6.3环境适应性试验 6.4单分量MEMS加速度检波器技术参数测试 ......:6.5三分量MEMS加速度检波器技术参数测试 7检验规则 137.1出厂检验. 137.2型式检验 138标志、包装、运输、贮存 8.1标志 148.2包装. 14 148.3运输 148.4贮存 15
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草.本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出. 请注意本文件的某些内容有可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任.本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会（SAC/TC153）归口.本标准起草单位：威海双丰电子集团有限公司、北京大学、哈尔滨工业大学，本标准主要起草人：田殿仓、杨仲华、牛德芳、唐晓刚、高成巨、陈伟平、丛方圆.
微机械系统加速度检波器
1范围
本标准规定了微机械系统加速度检波器的术语和定义、标记、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存.
本标准适用于地震勘探用微机械系统加速度检波器.
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的.凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件.凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括的修改单）适用于本文件.
GB/T191包装储运图示标志GB/T6587-2012电子测量仪器通用规范 GB/T2829-2002周期检验计数抽样程序及表（适用于对过程稳定性的检验）
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件.
3.1微机械系统加速度检波器 microelectro mechanical system acceleration geophoneMEMS加速度检波器由微电子机械系统构成的，能检测振动加速度的地震传感器.
3.2
三分量MEMS 加速度检波器MEMS three ponents acceleration geophone
由三个MEMS加速度检波器芯体组成，能接受同一物理点上三个不同方向振动加速度的地震传感器.
灵敏度温度系数sensitivity thermal coefficient
满量程条件下，MEMS加速度检波器灵敏度随单位温度的相对变化量.
asjejndno甲期
加速度为零时，MEMS加速度检波器的输出.
单位温度变化所引起的MEMS加速度检波器输出漂移的变化.
3.6
失真度distortion
特定频率的标准正弦波，用规定的速度驱动MEMS加速度检波器，MEMS加速度检波器输出信号谐波分量的均方根值与基波分量有效值之比的百分数.
3.7
绝缘电阻isolationresistance
MEMS加速度检波器输出端与壳体之间的电阻值.
3.8
矢量保真度vectorfidelity
《MEMS单分量加速度检波器）单位加速度垂直于工作轴方向激励时检波器输出电压与工作轴方向灵敏度的比，用分贝数表示.
Y、Z方向）的输出信号分别与该输向输出信号之比. （三分量MEMS加速度检波器>受到来自一个坐标轴向（如X方向）的振动时，另外两个轴向（如
注：矢量保真度用分贝表示.
3.9
极性polarity
表示MEMS加速度检波器激励方向与输出电信号方向的参数.
4标记
规格型号表示方法如下：
示例：
量程为士2g（峰值）的MEMS 加速度检波器表示为：MEMS-002.
5要求
5.1外观
MEMS加速度检波器外观要求如下：
--MEMS加速度检波器表面应无毛刺、腐蚀或其他变形现象，型号、规格、制造年月应标识清晰；护壳及密封件应表面光滑，无明显缺陷：紧固件和尾锥无锈蚀，无松动：引出线的表面无破损，连接器无变形、牢固可靠；MEMS加速度检波器和插头应有明显的极性标记，MEMS加速度检波器单元应有清晰的型 号、规格及编号；一三分量MEMS加速度检波器顶盖应有矢量标记、水平指示、调节装置，引出线上应有轴向标志.
5.2环境适应性
MEMS加速度检波器经受表1的条件试验后，应能正常工作.
