中国腐蚀与防护学会团体标准
T/CSCP 0059.3-2025
微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传 感器
第3部分：测试方法Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) material corrosion chipand sensorPart 3:Test method
中国腐蚀与防护学会 发布
目 次
1范围2规范性引用文件.3术语和定义.4测试项目及方法4.1腐蚀速率测试4.2电学性能测试4.3光学性能测试4.4长期稳定性测试4.5温度稳定性测试 105测试条件.105.1环境条件... 105.2腐蚀介质条件. 115.3电磁干扰条件，116性能评估指标. 116.1腐蚀速率准确性. 116.2灵敏度符合性，116.3长期稳定性. 126.4温度稳定性 126.5综合性能指标 127判定准则 127.1腐蚀速率准确性判定 127.2灵敏度符合性判定 137.3长期稳定性判定 13
7.4温度稳定性判定 137.5产品合格判定 13附录A. 14腐蚀大数据分析方法 14A.1累计腐蚀积分电量计算方法14A.2累计腐蚀量与腐蚀速率转换规则 14A.3标准差计算方法 15A.4数据收集要求 15
前言
本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草.
T/CSCP0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》已经发布了以下部分： 本文件是T/CSCP0059-2025《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》的第3部分.
第1部分：通用要求；第3部分：测试方法； 第2部分：选材与评价；第4部分：元器件选型及测试；第5部分：电路设计及测试.
请注意本文件的某些内容可能涉及专利.本文件的发布机构不承担识别专利的责任.
本文件由中国腐蚀与防护学会提出.
本文件由中国腐蚀与防护学会归口.
有限公司、广州天韵达新材料科技有限公司、北京材料基因工程高精尖创新中心、广州市 本文件起草单位：中国电力科学研究院有限公司、北京科技大学、南方电网科学研究院南沙区贝科耐蚀新材料研究院、中国铁道科学研究院集团有限公司.
陈云、郝文魁、孙雷、李清、徐迪、杨丙坤、黄路遥、朱仁政、杨国威、张达威、刘超、 本文件主要起草人：卢壹梁、张强、杨小佳、王晓芳、李晓刚、程学群、韩钰、黄增浩、杨体绍、杨吉可、杜翠薇、刘智勇、张博威、骆鸿、马宏驰.
本文件为首次发布.
引言
《微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器》涵盖了微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片（以下简称MEMS材料腐蚀芯片）及传感器的设计、选材、测试及芯片电路、元器件选型设计方法.目前，该标准由五个部分构成：
一一第1部分：通用要求.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器通用要求，包括MEMS材料腐蚀芯片及传感器的设计要求、选材要求、制造要求及测试要求.
一第2部分：选材与评价.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器各部分材料的选材与评价方法，包括选材原则、常用材料类型及其性能指标、评价与验证方法.
一第3部分：测试方法.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器测试方法，包括测试项目及方法、测试条件、性能评估指标及判定准则.
第4部分：元器件选型及测试，目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的元器件选型及测试，包括元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存.
一一第5部分：电路设计及测试.目的是规定MEMS材料腐蚀芯片及传感器的电路设计及测试方法，包括电路设计要求、性能要求及测试方法.
