ICS71.100.20 G86 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮 Gases for electronic industry-Nitrogen trifluoride 2007-12-14发布 2008-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T21287-2007 目次 前言Ⅲ 1范围1 2规范性引用文件 3要求 1 4试验方法 5包装、标志、贮运及安全5 附录A(资料性附录)切割气路流程示意图 附录B(资料性附录)测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图8 附录C(规范性附录)可水解氟化物和总酸度的测定 9 附录D(资料性附录)三氟化氮的化学性质和物理参数12 I GB/T21287-2007 前言 本标准根据SEM1(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮>(SEM1C3.39一0304)2004年版标 准，并结合我国三氟化氮生产的实际情况制定， 本标准的附录C为规范性附录，附录A、附录B、附录D为资料性附录. 本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口， 本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草. 本标准参加起草单位有：核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究 院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等， 本标准主要起草人：余启富、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠. 本标准为首次发布. ...
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